ISO 14606:2000
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве стандартных образцов

Заменен на ISO 14606:2015
 

20 страниц

Завершение срока действия 01.12.2015
Опубликован 01.10.2000

Surface chemical analysis. Sputter depth profiling. Optimization using layered systems as reference materials