ISO 14237:2000
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов

Заменен на ISO 14237:2010
 

28 страниц

Завершение срока действия 09.07.2010
Опубликован 01.02.2000

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials