ISO 13095:2014 Химический анализ поверхности. Атомно-силовая микроскопия (AFM). Методика определения на месте характеристик профиля хвостовика зонда AFM, используемого при измерении наноструктуры
Surface Chemical Analysis -- Atomic force microscopy -- Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement