ISO 13083:2015
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты на определение и калибровку пространственной разрешающей способности электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации примесей и других целей