ISO 13067:2011
Микропучковый анализ. Дифракция отраженных электронов. Измерение среднего размера зерна

Настоящий международный стандарт описывает методы измерения среднего размера зерна (кристаллита) на двумерных полированных шлифах с помощью дифракции отраженных электронов (ДОЭ=EBSD). Этот метод используется для определения ориентации, разориентации и коэффициента качества изображения как функции структурной локализации кристаллического образца [1].

ПРИМЕЧАНИЕ 1 Тогда как традиционные методы определения размера зерна (кристаллита) с помощью оптического микроскопа уже хорошо отработаны, методы ДОЭ предлагают ряд преимуществ над старыми методами, включая улучшенную пространственную разрешающую способность и количественное описание ориентации кристаллитов.

ПРИМЕЧАНИЕ 2 Этот метод также годится для измерения размера кристаллита материалов сложного строения, например, материалов со значительным содержанием двухфазной микроструктуры.

ПРИМЕЧАНИЕ 3 Необходимо предупредить пользователя об осторожной интерпретации результатов при попытке исследования образцов с высоким уровнем деформации