ISO 12406:2010
Поверхностный химический анализ. Масс-спектрометрия с вторичным ионом. Метод профилирования глубины местонахождения мышьяка в кремнии

 

20 страниц

Опубликован 08.11.2010

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of arsenic in silicon