ISO 11952:2014
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия (SPM). Определение геометрических размеров с использованием SPM. Калибровка измерительных систем

Заменен на ISO 11952:2019
 

66 страниц

Завершение срока действия 21.05.2019
Опубликован 12.05.2014

Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems