ISO/TS 20175:2018
Вакуумная техника. Вакуумметры. Определение характеристик квадрупольных масс-спектрометров для измерения парциального давления

 

30 страниц

Опубликован 03.05.2018

Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement