ISO/TR 22335:2007
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра

 

26 страниц

Опубликован 02.07.2007

Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer