ISO/TR 16268:2009
Поверхностный химический анализ. Предлагаемая процедура сертификации оставшихся в рабочем стандартном образце areic доз, производимых имплантацией ионов

 

26 страниц

Опубликован 24.09.2009

Surface chemical analysis -- Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation