ISO/TR 14999-3:2005
Оптика и фотоника. Интерферометрическое измерение оптических элементов и систем. Часть 3. Калибровка и валидация оборудования для интерферометрического испытания и измерений

 

52 страницы

Опубликован 16.03.2005

Optics and photonics -- Interferometric measurement of optical elements and optical systems -- Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements