ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ
Издание официальное
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ Москва
РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам ИСПОЛНИТЕЛИ
Л. С. Бабаджанов , канд. техн. наук (руководитель темы); Ю. Н. Николаиш-вили; В. Н. Филимонова
ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам
Член Госстандарта Л. К. Исаев
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря 1985 г. № 3859
УДК 389.14.089.6:006.354
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР mmammmsmwnm'wmammmmmm-Tuiwm шмгдгд»? тшштиятятитттштаттвшт
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В ДИАПАЗОНЕ 1-20000 мкм
State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for means measuring the co-ating thickness in the range of 1 to 20000 p,m
0КСТУ 0008
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 6 декабря 1985 г. № 3859 срок введения установлен
с 01.01.87
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне 1 -г-20000 мкм и устанавливает назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 14-30 мкм, основные метрологические характеристики установки высшей точности и порядок передачи размера единицы длины в области измерений толщины .покрытий в диапазоне 1-4-20000 мкм, при (помощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.
1. УСТАНОВКА ВЫСШЕЙ ТОЧНОСТИ
1.1. Установка высшей точности предназначена для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне 1—30 мкм и передачи размера единицы при помощи образцовых средств измерений рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве с целью обеспечения единства измерений в стране.
1.2. В основу измерений толщины покрытий, выполняемых в СССР, должна быть положена единица, воспроизводимая указанной установкой высшей точности.
1.3. Установка высшей точности состоит из комплекса следующих средств измерений:
оптический квантовый генератор по ГОСТ 25373-82;
Перепечатка воспрещена © Издательство стандартов, 1986
Стр. 2 ГОСТ 8.536-85
специальный интерферометр;
система обработки информации.
1.4. Диапазон значений единицы длины в области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности, составляет 1—30 мкм.
1.5. Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со средним квадратическим отклонением результата измерений 5, не превышающим 0,006 мкм. Неисключенная систематическая погрешность © не превышает 0,009 мкм.
1.6. Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные в установленном порядке.
1.7. Установку высшей точности применяют для передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий образцовым средствам измерений 2-го разряда методом прямых измерений.
2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
2.1. Образцовые средства измерений, заимствованные из других поверочных схем
2.1.1. В качестве образцовых средств измерений, заимствованных из других поверочных схем, применяют образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда по ГОСТ 8.020—75.
2.1.2. Образцовые плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда применяют для поверки комплекса средств для поверки мер толщины покрытий 1-го разряда и установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых измерений .
2.2. О б р а з цо в ы е средства измерений 1-го разряда
2.2.1. В качестве образцовых средств измерении 1-го разряда применяют комплекс средств для поверки мер толщины покрытий в диапазоне 1-^10000 мкм, состоящий из комплекта средств для поверки мер толщины покрытий, интерферометра и профило-графа.
2.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А образцовых средств измерений 1-го разряда составляют (0,05 + + 0,01 h) мкм, где h — толщина покрытия в мкм.
2.2.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств измерений 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.
ГОСТ 8.536-85 Стр. У
2.3. Образцовые средства измерений 2-го раз-ряда
2.3.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют образцовые меры толщины покрытий в диапазоне 1-МООО мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 1—20000 мкм.
2.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А мер толщины покрытий составляют от (0,3+0,025 h) до (0,1 + + 0,025 /г) мкм; установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне 0,001-г* +*0,05 мм — 0,6 мкм, в диапазоне 0,05+-2,00 мм — 20 мкм, в диа~ пазоне 2-^20 мм — 20 мкм.
2.3.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых из-мерений.
3. РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИИ
3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и покрытий и толщиномеры покрытий, сгруппированные по назначению в зависимости от материалов покрытий и оснований.
3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей рабочих средств измерений составляют для мер от (0,3+0,05 ft) до (0,2+ + 0,05 ft) мкм, для толщиномеров покрытий от 0,4 до 200 мкм.
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ В ДИАПАЗОНЕ
1-f-20000 мкм
|
Д'—погрешность метода передачи размера единицы.
Зак. 1675 |
Редактор В. С. Бабкина Технический редактор В. Н. Прусакова Корректор В. Ф. Малютина
Сдано в наб. 24.12.S5 Подп. в печ. 03i.02.86 0,5 усл„ печ. л. +вкл. 0,25 уел.
0,18 уч.-изд. л. +вкл. 0,31 уч.-изд. л. Тир., 16 000 Цена
Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123840, Москва, ГСП, Новопресненский пер.* 3 Тип. «Московский печатник». Москва,, Лялин пер., 6. Зак. Ш75
Цена 5 коп. |
|
|
Единица |
|
Величина |
Наименование |
Обозначение |
международное |
русское |
основны
Длина |
Е ЕДИНИ!
метр |
1Ы СИ
ш |
М |
Масса |
килограмм |
к? |
КГ |
Время |
секунда |
S |
с |
Сила электрического тока |
ампер |
А |
А |
Термодинамической температура |
кельвин |
К |
К |
Количество вещества |
моль |
mol |
моль |
Сила света |
кандела |
cd |
КД |
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЕЛ |
[ИНИЦЫ СИ |
Плоский угол |
радиан |
rad |
рад |
Телесный угол |
стерадиан |
sr |
ср |
|
ПРОИЗВОДНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ, ИМЕЮЩИЕ СПЕЦИАЛЬНЫЕ НАИМЕНОВАНИЯ |
Величина |
Единица |
Выражение через основные и до*, полнительные единицы СИ |
Наименова-
ние |
Обозначение |
междуна
родное |
русское |
Частота |
герц |
Hz |
Гц |
С”1 |
Сила |
ньютон |
N |
н |
МКГ-С-2 |
Давление |
паскаль |
Ра |
Па |
М”1 • КГС“а |
Энергия |
джоуль |
J |
Дж |
м2-кг-с~* |
Мощность |
ватт |
W |
Вт |
м2- кг-с-3 |
Количество электричества |
кугон |
С |
Кл |
с А |
Электрическое напряжение |
вольт |
V |
В |
м2-кг-с~3 • А-1 |
Электрическая емкость |
фарад |
F |
Ф |
м^кг**1 -с^А1 |
Электрическое сопротивление |
ом |
ц |
Ом |
м2-кг-с“^ * А"* |
Электрическая проводимость |
сименс |
S |
См |
м^-кг-'-с^А* |
Поток магнитной индукции |
вебер |
Wb |
Вб |
м2 • кг - с"2 А*1 |
Магнитная индукция |
тесла |
т |
Тл |
•кг с“2 * А”1 |
Индуктивность |
генри |
н |
Гн |
м2-кгс"2 * |
Световой поток |
люмен |
1т |
лм |
кд • ср |
Освещенность |
люкс |
1х |
лк |
м-2 * кд - ср |
Активность радионуклида |
беккерель |
Bq |
Бк |
С-1 |
Поглощенная доза ионизирую |
грэй |
Gy |
Гр |
м2 • с-2 |
щего излучения |
|
|
|
|
Эквивалентная доза излучения |
зиверт |
Sv |
Зв |
м2 • с“2 |
|