Термин

Определение

58 Адсорбционный вакуумный насос

D Adsorptionspumpe Е Adsorption vacuum pump F Pompe a vide a physi-sorption

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре

59 Геттерный вакуумный насос

D Getterv akuumpumpe E Getter л acuum pump F Pompe a ude a sorbeur

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером

60 Испарительный геттерный вакуумный насос

D Sublimations getter vaku-umpumpe E Sublimation vacuum pump F Pompe a vide a sublimation a sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера

61 Геттерно-ионный вакуумный насос

D Ionengetter\ akuumpumpe E Getter ion vacuum pump F Pompe a vide lonique a sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера

62 Испарительно-ионный вакуумный насос

D Ionenverdampfervakuum-pumpe

E Sublimation ion vacuum pump

F Pompe a vide lonique a sublimation

Геттерно ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодичес кого испарения

63 Магнитный электроразряд-ный вакуумный насос

D lonenzerstauberpumpe Е Sputter ion pump F Pompe lonique a pulverisation

Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле

64 Конденсационный вакуумный насос

D Kondensationspumpe E Condenserpump F Pompe condenser

Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях

65 Вакуумный крионасос

D Kryovakuumpumpe E Cryopump F Pompe cryostatique

Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур

Tt р мин

Определение

66 Комбинированный вакуум-ный насос

D Vakuumpumpkombmation Е Combined vacuum pump Г Pompe a \ide combinee

Комбинации геттерного вакуумного на-* coca, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных а одном корпусе

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК

67 Конденсационная вакуумная ловушка

D Kuhlfalle Е Cold trap F Piege refroidi

Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхнос* тях

68 Сорбционная вакуумная ловушка

D Sorptionsfalle E Sorption trap F Piege a sorption

Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента

69 Ионная вакуумная ловушка

D Ionisierungsfalle E Ion trap F Piege lonique

Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

70 Быстрота откачки

D Saug\ermogen Е Pumping rate F Debit volumetncjue

Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении

71 Быстрота действия вакуумного насоса

D Pfurderleichtung Е Volume flow rate of vacuum pump F Debit volume d’une pompe a vide

Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе

72 Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

D Startdruck Е Starting pressure F Pression d’amorcage

Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать

3 Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса

D Maximal zulassiger Vor-vakuumdruck E Maximum backing pressure F Pression maximale de refoulement

Наибольшее давление в выходном се-» чении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку

ВАКУУММЕТРЫ

79. Вакуумметр

D.    Vakuummeter

E.    Vacuummeter

F.    Manometre a vide

По ГОСТ 8.271-77

Термин

Определение

80 Абсолютный вакуумметр

D Absolutes Vakuummeter Е Absolute \acuum gauge

F Manometre absolu

Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для в^ех газов н может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам

81 Дифференциальный вакуумметр

D Differenzdruck\ akuum-

meter

E Differential vacuum gauge

F Manometre difference!

Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента

82 Измерительный преобразователь давления

D Druckmessunformer E Gauge pressure transducer F Transducteur de mesure pression

По ГОСТ 8 271—77

83 Измерительный блок вакуумметра

D Betnebs und Anzeigerat ernes VakuumeBgerates E Gauge control unit F Coffret d’alimentation et de mesure

Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра

84 Отсчетное устройство вакуумметра

D Anzeigegerat ernes V akuummeflgerates E Gauge indicating unit F Dispositif mdicateur

Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины

85 Вакуумметр полного давления

D Totaldruckvakuummeter E Total pressure \acuum gauge

F Manometre de pression

totale

Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси

86 Жидкостный вакуумметр

D Flussigkeitsvakuummeter E Liquid level manometer F Manometre a liquide

Вакуумметр полного давления, действие которого основано ыа уравновешивании измеряемого давления или разности дав* лений давлением столба жидкости

87 U-образный вакуумметр

D U-Ieitung Vakuummeter E U-tube vacuum gauge F ^vec unetube en U manometre

Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

Термин

Определение

88 Компрессионный вакуумметр

D Kompressions\ akuum meter

Е Compression gauge F Manometre a compression

Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию

89 Деформационный вакуумметр

D Federelastisches Vakil unimeter E Elastic element gauge F Manometre a deformation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой нм силы от измеряемого давления

90 Мембранный вакуумметр

D Membram akuummeter E Diaphragm gauge F Manometre a membrane

Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка

91 Грузопоршневый вакуумметр

D Druckwaage E Pressure balance F Manometre a piston

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения

92 Вязкостный вакуумметр

D Reibungsv akuummeter E Viscosity gauge F Manometre a viscosite

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления

93 Тепловой вакуумметр

D Warmeleitungsvakuum-meter

E Thermal conductivity gauge

F Manometre a conduction thernuque

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теп лопроводности разреженного газа от давления

94 Термопарный вакуумметр

D Thermokreuz E Thermocouple gauge F Manometre a thermo* couple

Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления

95 Вакуумметр сопротивления

D Thermistor Vakuummeter E Thermistor gauge F Manometre a thermistance

Тепловой вакуумметр, действие которо го основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа

Термин

Определение

96 Термомолекулярный вакуумметр

D Molekularvakuummeter Е Thermo-molecular gauge F Manometre thermomolecu-laire

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувстви тельному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверх ностей, имеющих различную температуру

97 Ионизационный вакуумметр

D Iomsationsv akuummeter E Ionisation \acuurn gauge F Manometre a ionisation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионно го тока, образованного в газе в результа те ионизации молекул разреженного газа, от давления

98 Радиоизотопный ионизационный вакуумметр

D Ionisationsvakuummeter nut radioaktiver Strahl-ungsquelle

E Radioactive ionization gauge

F Manometre a source radioactive

Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников

99 Магнитный электроразряд-ный вакуумметр

D Ionenzerstaubervakuum-meter E Sputter ion gauge F Manometre lomque a pulverisation

Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном по ле от измеряемого давления

100 Вакуумметр Пеннинга

D Penningv akuummeter E Penning gauge F Manometre de Penning

Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами

101 Электронный ионизационный вакуумметр

D Elektronemomsations Vakuummeter E Electronic type ionization \ acuum F Manometre a ionisation a faisceau electromque

Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуще ствляется электронами, ускоряемыми электрическим полем

102 Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором

D Elektronemomsations Vakuummeter nut Axialkollek-tor

E Twin wire oscillator gauge

F Manometre a electrons oscillants

Электронный ионизационным вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

Термин

Определение

103. Экстракторный вакуумметр

D.    Ionisationsvakuummeter mit Extraktor—System

E.    Extractor gauge

F.    Manometre a extracteur

Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации

104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем

D.    Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

E.    Cold cathode magnetron gauge

F.    Manometre magnetron a cathode froide

Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов

105. Индикатор с разрядной трубкой

D.    Hochfrequenzvakuumprufer

E.    Discharge tube indicator

F.    Tube temoin

Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа

106. Вакуумметр парциального давления

D.    Partialdruckv'akuummeter

E.    Partial pressure vacuum gauge

F.    Analyseur de pressions partielles

Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы олнн из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры.

Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы

107. Масс-спектрометр

D.    Massenspektrometer

E.    Mass spectrometer

F.    Spectrometre de masse

По ГОСТ 15624-75

108. Диапазон измерений

D.    MeBbereich

E.    Pressure range

F.    Etendue de mesurage

По ГОСТ 16263-70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота.

Термин

Определение

109. Чувствительность

D.    Empfindlichkeit

E.    Sensitivity

F.    Sensibilite

По ГОСТ 16263-70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота

110. Относительная чувствительность вакуумметра

D.    Relative Vakuummeter-empfindlicnkeit

E.    Relative sensitivity factor

F.    Facteur de sensibilite relative

Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при "том же давлении и идентичных условиях измерения

111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра

D.    Vakuummeterkonstante eines Ionisationsvakuum-meters

E.    Ionization gauge coefficient

F.    Coefficient d’un manometre a ionisation

Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления

112. Эквивалентное азотное давление

D.    Stickstoffaquivalent-druck

E.    Equivalent nitrogen pressure

F.    Pression equivalente d’azote

Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом

113. Фоновое давление вакуумметра

D.    Untergrunddruck

E.    Background pressure

F.    Pression residuelle

Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления

ГОСТ 5197—85 Стр. 3

2 Зак 3687

Термин

Определение

24 Высоковакуумный насос

D Endvakuumpumpe Е High \ acuum pump F Pompe a \ide secon-daire

Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов

25 Форвакуумный насос

D Vor\akuumpumpe E Backing \ acuum pump F Pompe primaire pour le vide

Вакуумный насос предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки

26 Бустерный вакуумный насос

D Booster\ akuumpumpe E Booster \ acuum pump F Pompe a \ide mterme-diaire

Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением фор-вакуумного насоса

27 Вакуумный насос предварительного разрежения

D Vor\ akuumpumpe E Roughing \ acuum pump F, Pompe prehmmaire pour le vide

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов

газоперекачивающие вакуумные насосы

28 Газоперекачивающий вакуумный насос

D Gastransfer\ akuumpumpe Е Pump for gas transpor ting

F. Pompe a \ide du transport gazeus

Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата 1аза или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля

29 Механический вакуумный насос

D Rotations\ akuumpumpe E Vacuum mechanical pump F Pompe mecanique a vide

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса

30 Вакуумный насос объемного действия

D Verdrangen akuumpumpe E Positive displacement vacuum pump F Pompe a vide volumetri-que

2*

Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу

Термин

Определение

31 Поршневой вакуумный на сос

D Hubkolbem akuumpumpe Е Piston vacuum pump F Pompe a \ide a piston alternate

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс 1аза происходят в результате возвратно поступательного движения поршня

32 Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением

D Ulgediehtete (flussigkeits gedichtcte) Vakuumpumpe E Oil sealed (liquid sealed) vacuum pump F Pompe a \ide a bain d hulie (a bain de liquid?)

Вакуумный насос объемною действия, в котором для заполнения шзоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость

33 Газобалластный вакуумный насос

D Gasballastvakuumpumpe E Gas ballast \acuum pump

F Pompe a vide a injection de gaz

Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе

34 Вакуумный насос с сухим уплотнителем

D Trockenlaufende Vakuumpumpe

Е Dry sealed vacuum pump F Pompe a \ide seche

Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостною) уплотнения

35 Вращательный вакуумный насос

D Rotatins\ erdranger\ akuum pumpe E Rotary vacuum pump F Pompe a vide tournant

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора

36 Пластинчато-роторный вакуумный насос

D Dreihschiebervakuumpumpe E Sliding vane rotary -vacuum pump F Pompe a \ide a palettes

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом

Термин

Определение

37 Пластинчато-статорный вакуумный насос

D Drehkolbenv akuumpumpe Е Rotary piston vacuum pump

F Pompe a \ide a piston tournant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом

38 Плунжерный вакуумный насос

D Sperrschiebervakuumpumpe E Rotary plunger vacuum pump

F Pompe a \ide a piston oscillant

Вращательный вакуумный насос, в ко-тором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стен-ки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора

39 Жидкостно-кольцевой вакуумный насос

D Flussigkeitsrmgvakuum pumpe

E Liquid ring vacuum pump F Pompe a vide a anneau liquide

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом

40 Двухроторный вакуумный насос

D Walzkolbenvakuumpumpe E Roots vacuum pump F Depresseur roots

Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях

41 Трохоидный вакуумный насос

D Kreiskolbenvakuumpumpe E Trochoid pump F Pompe trochoide

Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды

42 Кинетический вакуумный насос

D Kinetische Vakuumpumpe E Kinetic vacuum pump F Pompe a vide cinetique

Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса

43 Вакуумный турбонасос

D Turbovakuumpumpe E Turbine vacuum pump F Depresseur a turbine

Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей

Термин

Определение

44 Осевой вакуумный турбонасос

D Axialische Turbovakuum-pumpe

Е Axial flow turbine vacuum pump F Depresseur a turbine a flux axial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения

45 Центробежный вакуумный турбонасос

D Radiahsche Turbovakuum-pumpe E Radial flow turbine \acuum pump F Depresseur a turbine a flux radial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении

46 Струйный вакуумный насос

D Treibmittelvakuumpumpe E Jet kinetic vacuum pump F Pompe a \ ide a jet cinetique

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа

47 Жидкостно-струйный вакуумный насос

D Flussigkeitsstrahh akuum pumpe

E Liquid jet \acuum pump F Pompe a vide a anneau liquide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости

48 Газоструйный вакуумный насос

D Gasstrahlvakuumpuinpe E Gas jet vacuum pump F Ejecteur a gaz pour le vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа

49 Пароструйный вакуумный насос

D Dampfstrahlvakuumpumpe E Vapour jet vacuum pump F Ejecteur a v apeur pour le vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара

50 Эжекторный вакуумный насос

D Treibmittelstrachh aku-umpumpe E Ejector vacuum pump F Pompe a vide a ejecteur

Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей