Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

9 страниц

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

Показать даты введения Admin

Страница 1

УДК 649.792:543.06:006.314    Группа    И59

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ И ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ М«тод определения дихлорсилана. трихлорсилана и гетрэклорида кремния

ГОСТ

Semiconductor silicon and raw materials    2    A239 8—84

for its production. .Method of diehlorsilane, uichlorsilant1    w

and silicon tetrachloride determination

ОКСТУ 1709

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. Не 2491 срок действия установлен

с 01.01.86

до 01.01.91

Несоблюдение стандарта преследуется по икону

Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана от 0,02 до 10%, трихлорсилана от 0,02 до 100 % и тетрахлорида кремния от 0.02 до 100 %. в четыреххло-ристом кремнии ректнфикационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трнхлоренланом.

Метод основан на хроматографическом разделении компонентов в изотермическом режиме с последующим детектированием по теплопроводности и расчетом массовых долей определяемых компонентов по площадям хроматографических инков с учетом коэффициентов относительной чувствительности детектора к определяемым компонентам.

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Общие требования к методу анализа — по ГОСТ 26239.0-84.

2. АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ

Хроматограф Л ХМ 8МД с детектором по теплопроводности, регистрирующим устройством, блоком осушки газа-носителя, шпри-цевой системой ввода образцов.

Хроматографические колонки стеклянные или металлические длиной 4 м, диаметром 2—4 мм.

Перепечатка воспрещена

102

1

Страница 2

ГОСТ 26239.8-84 Стр. 2

Электронный интегратор И-02.

Ловушка стеклянная (черт. 1) с гидроокисью калия, ч.д.а., таб-летированной.

Форвакууммый насос ВН 461М.

Сушильный шкаф вакуумный на температуру до 200 °С. Стаканы стеклянные вместимостью 200 см3.

Чашки фарфоровые диаметром 50 мм.

Воронка стеклянная с отростком диаметром 2—4 мм.

Весы аналитические.

Секундомер по ГОСТ 5072-79.

Шприцы хроматографические со шкалой 0—10 мкл.

Бюксы стеклянные по ГОСТ 25336-82 на 5—10 см3. Стеклоткань.

Трубка фторопластовая диаметром 5 мм.

Пробоотборник стеклянный вместимостью 50—100 см5 с фторопластовым краном (черт. 2).

Стеклянная ловушка

\

1

л

К

—А

.

г—

г/

Провсхмборннк

Черт. 2

»wi.t г*»а-ио<и-тсл»:    1—решетка:

А- выход гам-носи-тсля


Черт. 1


103

Страница 3

Стр. 3 ГОСТ J62J9.8—84

Пипетки стеклянные вместимостью 10—20 см5.

Носители твердые евлаиизнро ванные: хроматон N—AW, сферо-хром-2, цветохром 1 КДМДХС, фракции зернением 0,250—0,315 мм.

Неподвижная фаза — полиметилснлоксановый каучук SE-30.

Трнхлорсилан очищенный с массовой долей примесей не более 0,01 %.

Тетрахлорид кремния очищенный с массовой долей примесей не более 0,01 %.

Спирт этиловый ректификованный технический по ГОСТ 18300-72.

Ацетон но ГОСТ 2603-79.

Эфир днэтиловый х.ч.

Газ-носитель - гелий газообразный в. ч.    I

Азот жидкий по ГОСТ 9293 - 74.

Хлороформ медицинский по ГОСТ 20015-74.

Ангндрон.

Фосфор пятиокись.

Цеолит Na5X.

1. ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ

3.1. Приготовление сорбента и заполнение хроматографических колонок

Твердый носитель — хроматон N—AW, сфсрохром-2 или цветохром 1 КДМДХС — просушивают в сушильном шкафу при 120—

130°С в течение 5—6 ч. Высушенный носитель (~100 г) взвешивают в фарфоровой чашке с погрешностью не более 0,01 г.

Неподвижную фазу в количестве 10% от массы твердого носителя взвешивают в стакане с погрешностью не более 0.01 г и растворяют в хлороформе (10 см* на 1 г неподвижной фазы).

Заливают твердый носитель в фарфоровой чашке раствором неподвижной фазы в хлороформе и тщательно перемешивают. Затем растворитель испаряют при непрерывном перемешивании, нагревая при 50 °С на закрытой электроплитке в вытяжном шкафу.

Хроматографические колонки перед заполнением прочитают ватным тампоном на проволоке и промывают последовательно ацетоном, этиловым спиртом и днэтиловым эфиром. По окончании промывкн колонку сушат при 100—120°С при продувке газом-но-сителем в течение 30 мин.

Одни конец чистой высушенной колонки закрывают тампоном из стеклоткани и соединяют вакуумным шлангом ПХВ с линией форвакуумной откачки. Через другой конец производят заполнение колонки сорбентом с помощью воронки при непрерывной откачке и легкой вибрации колонки. Следует заполнять колонку до уровня на 3- 5 мм ниже торца По окончании заполнения второй коней колонки также закрывают тампоном из стеклоткани. Качество запол-

I

Страница 4

ГОСТ 26239.8— S4 Стр. 4

нения стеклянных колонок проверяют визуально. При наличии пустот их устраняют легким встряхиванием колонки. Металлические колонки заполняют дозированным по объему количеством сорбента.

Заполненную колонку устанавливают в термостат хроматографа и кондиционируют — продувают сухим газом-носителем в течение 5—б ч при 250 °С. Нагрев до 250 °С проводят со скоростью 10— 15 °С/мин.

Для сушки газа-носителя на линии подачи газа устанавливаются две колонки: первая по ходу газа-носителя заполняется ангид-ровом, вторая — пятиокнсыо фосфора в смеси с цеолитом Na5X (10% пятиокиси фосфора от массы цеолита). Кондиционирован* ную колонку подсоединяют к детектору.

3.2. Приготовление градуировочной смеси

Приготовление градуировочной смеси проводится смешиванием компонентов в пробоотборнике.

Градуировочная смесь содержит трихлорсилан и тетрахлорид кремния, массовая доля трихлорсилана в смеси составляет 20%, тетрахлорида кремния — 80 %.

Взвешивают пробоотборник на аналитических весах. Заливают в пробоотборник 20 см1 чистого тетрахлорида кремния. Откачивают форвакуумным насосом наружную полость крана для удаления избытка тетрахлорида кремния. Взвешивают пробоотборник с тет-рахлоридом кремния на аналитических весах и по разности масс определяют количество введенного в пробоотборник тетрахлорида кремния (mi) в граммах. Вводят в пробоотборник 5 см3 трихлорсилана и также весовым методом определяют его количество (ш2) в граммах. Массовые доли компонентов (Q,) в процентах вычисляют по формуле

<?<• 100,

где nt{ — масса i-ro компонента в смеси, г.

Градуировочную смесь хранят в пробоотборнике, не допуская длительного контакта смеси с атмосферой.

3.3 Определение коэффициентов относительной чувствительности

Определение коэффициентов относительной чувствительности производится по хроматограмме градуировочной смеси.

Включают хроматограф и выводят хроматограф на рабочий режим в соответствии с инструкцией но эксплуатации прибора.

Рабочий режим хроматографа:

Параметр    Номинальное

значение

Ток детектора

90-100 мА 120—130 °С 60 °С

Температура термостата детектора Температура колонки

105

Страница 5

Ctp. S ГОСТ 26239.8—S4

Температура испарителя    120°C

Объемная скорсхггь газа-носителя (гелия) 20—40 см3/мин Скорость ленты потенциометра    600 ым/ч.

Время выхода прибора на режим — 2 ч. После выхода на режим перед началом работы проводят тренировку колонки посредством 7—10-кратного введения дозы градуировочной смеси объемом 2.10"3 см3.

Введение доз осуществляется с помощью шприца.

В колонку готового к работе прибора с помощью шприца вводят 1 мкл градуировочной смеси и регистрируют хроматограмму.

Идентификацию пиков хроматограммы проводят по порядку выхода компонентов. В принятых условиях анализа первым из колонки элюируется трихлорсилан, затем — тетрахлорид кремния.

Площади хроматографических инков (S* ) трнхлоренлана и тет-рахлорнда кремния в вольтах на секунду определяют с помощью электронного интегратора.

Коэффициент относительной чувствительности для трихлорсила-на (/Csmci, ) по тетрахлорнду кремния вычисляют по формуле

г.    Qs-HCI,    'SSiC.,

Asihci, :^-я-—- ,

где Qsihci,» QsiC!, — массовые доли трихлоренлана и тетрахлорида кремния в градуировочной смеси, % •SsiHCi,, -Ss-cu —• площади хроматографических пиков грнхлор-силана и тетрахлорнда кремния на хроматограмме градуировочной смеси, В/с. Процедуру снятия хроматограммы градуировочной смеси, определения площадей хроматографических пиков и расчета Ksihci, повторяют трижды. Затем вычисляют среднее арифметическое результатов трех определений /Tsihci, .

Допустимое расхождение крайних значений Ksmci, составляет 3 %. В случае больших расхождений определение коэффициента относительной чувствительности следует провести заново.

Коэффициент относительной чувствительности для днхлорсила-на но тетрахлориду кремния К&h.ci, вычисляют по формуле

Ks:h£i — 1 — 2 (1 — AbjICl, )•

3.4. Подготовка анализируемой пробы Пробоотборник откачивают до остаточного давления 10-1 тор (13 Па). К откаченному пробоотборнику присоединяют фторопластовую трубочку диаметром 5 мм Свободный конец трубочки погружают в емкость с пробой и открывают кран проб<к>тборника. Проба засасывается в пробоотборник. Закрывают кран и откачивают наружную полость крана пробоотборника форвакуумным насосом для удаления избытка пробы. Отобранную пробу переливают в бюкс.

106

Страница 6

ГОСТ 26239.1-84 Стр. 6

4. ПРОВЕДЕНИЕ АНАЛИЗА

Рабочий режим хроматографа при проведении анализа должен быть идентичен режиму, установленному при регистрации хроматограмм градуировочной смеси для расчета коэффициентов относительной чувствительности. Параметры режима приведены в п. 3.3.

Перед началом анализа проводят тренировку колонки хроматографа посредством 7—10-кратного введения доз пробы объемом 5 мкл. Дозирование производится с помощью шприца.

Дозирование пробы при анализах производится с помощью шприца. Объем вводимой шприцем дозы должен -составлять 5— 10 мкл

Регистрацию пиков хроматограммы проводят в положении аттенюатора, обеспечивающем нахождение максимума пика в оптимальном интервале шкалы потенциометра. Площади хроматографических пиков (S I ) всех компонентов пробы определяют с помощью электронного интегратора.

Запись хроматограммы и определение значений S/ всех компонентов повторяют трижды.

5. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

5.1. Идентификация компонентов пробы проводится по порядку выхода и по относительным удерживаемым объемам, указанным в табл. 1.

Таблица 1

Относитель

Компоиси;

ны* тдержи ллсыий оЗьсм

Дкхлорснлаи

0.71

Трихлорсилан

1.0

ТУтрахлорнд кремния

2.31

5.2. .Массовые доли компонентов в пробе (Х( ) в процентах вычисляют по формуле

X,—^-100, x*,.s,

где К, — коэффициент относительной чувствительности для i-ro компонента по тстрахлориду кремния;

S( —площадь хроматографического пика t-ro компонента, В/с; п — число компонентов в пробе.

107

Страница 7

Стр 7 ГОСТ 26239.8—$4

За результат анализа принимают среднее арифметическое результатов трех параллельных определений.

5.3. Разность между наибольшим и наименьшим из результатов трех параллельных определений с доверительной вероятностью Р-0,95 не должна превышать значений абсолютных допускаемых расхождений трех результатов параллельных определений, указанных в табл. 2.

Таблица 2

Компонент

.Ч*ссо»ая доли хомэохеи-га. Н

Абсолютное допускаемо; расхождение, Ж

Днхлорсидан

0.02

0.02

0.1

0.03

0.5

0.09

1.0

0.13

5.0

0.3

10.0-

0.8

Трнхлорсилан

0.02

0.01

0,1

0.02

1.0

0,12

5.0

0.2

10

ОД

50

1.8

100

2.6

Т«трахлорид кремния

0,02

0.01

0.1

0.01

0.5

0.05

5.0

0.2

10

0.5

30

0.8

50

1.2

100

1.9

5.4. Правильность результатов анализа контролируют по синтетическим смесям. Для этого по п. 3.2 готовят две смеси состава, близкого к приведенным в табл. 3.

Таблица 3

Массовая доля кои^онсьта п (Меси. S

Кокер смесв

ТрИМОрСЫИ

тетра v.ioptu »ремиия

1

20

80

2

5.0

95.0

108

Страница 8

ГОСТ 26239.8-31 Стр. 8

Определяют коэффициент относительной чувствительности для трихлорснлана по тетрахлориду кремния по н. 3.3 с использованием смеси I. Затем по разд. 4 проводят анализ смеси 2 и по разд. 5 вычисляют содержание в ней трихлорснлана и тетрахлорида кремния, используя при расчете коэффициент относительной чувствительности. полученный на смеси I.

Анализ считается правильным, если абсолютная величина разности между результатами определения н массовой долей компонентов в смеси 2 с доверительной вероятностью Р-0,95 не превышает 0,1 % для трихлорснлана и 0.7% для тетрахлорида кремния.

109

Страница 9

Изменение № 1 ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метвд определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 26.06.90 № 184$

Дата введения 01.01 .ft 1

Раздел 2. Заменить ссылку: ГОСТ 18300-72 на ГОСТ 18300-87.

Пункт 3.2. Второй абзац. Заменить значения: 20 % на «около 20 %», 80 % на «около 80 %».

(ИУС К* 10 1090 г.)