Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

19 страниц

396.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане

Ограничение срока действия снято: Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС № 11-95)

Оглавление

1 Общие требования

2 Аппаратура, материалы и реактивы

3 Подготовка к анализу

4 Проведение анализа

5 Обработка результатов

Показать даты введения Admin

Страница 1

УДК 669.782:S4}.06:006.354    Группа    859

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ. ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ Метод определения примесей

Semiconductor silicon, raw materials (or its production and quartz Method of impurities determination

ОКСТУ 1709

ГОСТ

26239.1-84


Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. № 2490 ером действия установлен

с 01.01.86

до 01.01.91

Несоблюдение стандарта преследуется по миону

Настоящим стандарт устанавливает химико-снектралышн метод определения примесей в интервалах значении массовых долей, приведенных в табл. I, в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлоренлане.

Таблица 1

Интервалы определяемых значений массовой доли примесей

Ощи-.мласми прпж-сь

Лмфраьци 'luiuis <псцгр-->||ы4> ДФС 8

CntKip -i pi>Ji «ucjvcR /ципуреми ИСП-Як

В полупроводниковом кремнии

Алюминий

Or

2-10 f

до

<И0-«%

Or

210

ДО

2 1C

Висмут

От

0-10 »

до

6-10 -«%

От

6-10

7

до

в* 10

Ъ

Желмо

От

2!0-«

до

2-10-»%

От

210-’

ДО

2-IO-*

Золото

От

2-:o '

До

2-10- %

От

2-10—4

ло

2-10 *

‘Ь

Кадмий

От

6-IO-*

ло

в-ю-*%

От

210-

.7

до

2-10

Ъ

Кальций

Or

S.JO

Д11

Ь-!0- 1 %

Or

5-10

ДО

МО

%

Кобальт

От

210 ■

ло

210- - %

От

010—«

ло

2-10

%

Магвай

От

5-10 e

до

2-10—J %

От

510

4

до

2-IC-*

*!>

Марганец

Or

1-10

до

2 -10 <•%

От

мо-

-J

до

2-10 1

%

Медь

Or

1-10- ;

Ди

Д-10-1 %

От

мо

-1

до

6-10-'

%

Никель

Or

2-10-'

до

6-10 »%

От

210—*

до

2- 1C ‘

Ч,

Олово

От

2-10 r

до

«-10-» %

Or

2-10

*

до

2-10- ‘

%

Свйгец

От

2-10 7

до

0-10 »%

От

2-10

Л

до

210

%

Серебри

Or

2-10 »

до

010—’ %

От

6-10

1

до

6-HI—

°о

Сурьча

Or

2-10 •’

до

6-10-»%

От

6-10-»

до

210 ■

%

Титан

Or

310 ;

до

Ci-10 —с %

Or

5-10-

-7

до

2 10-

•V

Хром

Or

210

до

15-10 -»%

От

2-! С—*

до

2-10-'

Цинк

Or

2-lfl—>

ДО

2-10—4 %

От

г-ю

ло

210 5

%

Издание официальное ★

Перепечатка воспрещена

Страница 2

Стр. 2 ГОСТ 26219.1—М

Продолжение табл. I

Сп«ктр«гр*ф срсхией ЛИ'Переяи. ИСП 3*


Дифракционный спежтрпграф ДФС-8


Определяема* примесь


В двуокиси кремний, кварце

Алюминий

Висмут

Желе.-ю

Золото

Кадмий

Кальвий

Кобальт

Магний

Марганец

Медь

Никель

Олово

Свинец

СсреОро

Сурьма

Тигаи

Хром

Цинк

От MOOT 310 * От МО--* От МО 7 От 3-10—1 От 310 • От МО-7 От 510 ’ От 5-lOJ От МО ' От МО—* От МО-Ог MOOT МО-4 Or I SO-* От 310 7 От М0-' От МО- • до 3-10 1 % до 3’10—* % до М0-» % до 110—» % до 3-10 “ Ч, до 3-10-*% до М0- ‘% до 1-10—* % до МО *% до 3-10—' % до 3-10~* % до 310 *4, до 3-10 «% до З-Ю-7 «Ь до 3-10 »% до 3-10-" % до 310"*% до МО -«%

Or 5-10-7 до Or 3-10 -7 до От 1-10 «до Ог 1-10 до От 1-10—7 до Or 3-10-® до Or 3-10—* до Ог 5-10—т до Ог МО—7 до Ог МО- т до От 110 4 до От 110 в до От МО- ь до От 3-10—*1 до От З-Ю-8 до От 3-10 1 до От 1-10—• до Ог 1-10 • до

МО—4 % 3-10—1 % 1-10 «% М0-*% М0-аЧ»

мо-4 % МО-4* [•10-*%

1-10-а% 310—* ъ 1-10 *% мо-ч

МО- * 4) З-Ю-МО *% М0-*% МО—* % 1-10 •*'%


В четырех хлористом кремнии, трихлорсилане

От 2-10-* до 1-10—* % От 1-10 * до 110 От 1-10-т до 1-10 4% От 4-10 ’ до 4-10—7 & От 110 * до МО-7 % От 4-10" * до 4-IO-^‘J, От 1-10—• до 4-10-7 % Oi 210 л до 4-10—> % От МО—11 до 4-10-»% От 410 • до Ы0-*% Oi S-10—9 до 1-10 7 % От 5-10 -9 до М0-7«Ь От 5-10-'° до 1-10-*% От 4-10-* до М0-*% От 2-10—' до 1-10-т % От 5 *0 * до М0“7% От 4-10-7 до 1-10-*% до 4-10-“% до 1-10 до 4-30 «% до 4-10 •'% до 4-10—: % до 410 * ‘Ь до М0-* % до 410 до 4-10—т % до М0-7% до 410 •>% до 4 -10 «% до МО f ^ до 4-10 до 4-10— Чв до 4-'0 до 4-IO- •' %

От 2-10 * От МО-» От МО-Oi 4-10—" Ог 4-10 * Oi 4-10 7 Ог МО -7

ога-ю *

От 4-10 * От М0- » От 4-10 « Ol 4-10-» Or МО н Ol МО-7 От 2-10-" Oi МО * От 4-10 8

Алюминий

Внемуг

Жедето

Золою

Кадмий

Кальций

Кобальт

Магний

Марганец

Медь

Никель

Свинец

Серебро

Сурьми

Титан

Хром

Нинк


Метод основан на предварительном концентрировании примесей путем удаления основного элемента — кремния в виде тетрафтори-да при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, киарца, и в виде тетрахлорида—'тетрафторнда при анализе четы-реххлорнстого кремния и трихлоренлана, получении концентрата примесей на графитовом порошке н последующем спектральном анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.

Страница 3

ГОСТ 26239.1—М Стр. 3

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Обишс требования к методу анализа- по ГОСТ 26239.0-84.

2. АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ

Спектрограф дифракционный типа ДФС-8 с решеткой 600 штр/мм с двухлинзовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с трехлинзовой системой освещения.

Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджига дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.

Выпрямитель 250 300 В. 30—50 А.

Микрофотометр типа МФ 2.

Спектроироектор типа СПП-2.

Весы аналитические.

Весы торсионные.

Станок для заточки графитовых электродов.

Электроды графитовые, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7—3 диаметром 6 мм. заточенные на конус с углом при вершине 15° и с площадкой диаметром 1.5 мм на конце, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.

Электроды графитовые диаметром 6 мм, с каналом глубиной 3 мм и диаметром 4 мм, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7- 3. обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.

Очистке обжигом подвергают каждую пару электродов непосредственно перед анализом (электрод, заточенный на конус • катод, электрод с каналом — анод).

Графит порошковый по ГОСТ 23463-79. ОСЧ-8—4.

Лампа инфракрасная типа ИКЗ-500 с регулятором напряжения типа Р1Ю-250—0,5.

Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вместимостью 20—25 см5 и 75 80 см3.

Чашки с крышками из стсклоуглерода и фторопласта вместимостью 25—30 см3.

Чашки фторопластовые вместимостью 20 и 100 см3.

Цилиндры из органического стекла на 10 и 50 см3.

Ступка и пестик из органического стекла.

Бокс из органического стекла типа 8БП1-ОС для подготовки проб к спектральному анализу.

Бокс из органического стекла типа 2БП2 ОС для химической подготовки проб с очищенным через ткань Петрянова воздухом.

Приспособления из органического стекла для подготовки проб к спектральному анализу (подставки для графитовых электродов, шпатели, набивалки).

7

Страница 4

Стр. Л ГОСТ J6i3*.1-«4

Насадка с прорезью высоток 5 мм, надеваемая на щель спектрографа ДФС-8.

Электроплитки с терморегулятором, покрытые кварцевыми кюветам» или другим покрытием, исключающим загрязнения.

Шкаф сушильный на температуру до 150°С.

Алюминий первичный по ГОСТ 11069-74 марки Д99 или окись алюминия безводная для спектрального анализа.

BuCMVt ПО ГОСТ 10928--75 марок ВиО, ВнОО или окись висмута по ГОСТ 10216 - 75.

Железо карбонильное радиотехническое но ГОСТ 13610- 79 марки Г)с или окись железа по ГОСТ 4173-77, ч.д.а.

Золото но ГОСТ 6835 80 марки Зл 999.

Кадмий по ГОСТ 1467-77 марки К д-2 или окись кадмия по ГОСТ 11120-75.

Кобальт по ГОСТ 123- 78 марки К 1 или закись-окись кобальта, ч. или ч.д.а.

Кальций углекислый по ГОСТ 4530-76. х.ч.

Магний первичный по ГОСТ 804-72 марки Мг-90 или окись магния по ГОСТ 4526-75, ч.д.а.

Марганец металлический по ГОСТ 6008-82 марки Мр 0 или Мр 00 или двуокись марганца безводная, ос.ч.

Медь по ГОСТ 859-78 марки М3 или окись меди но ГОСТ 16539 —79, порошкообразная.

Никель по ГОСТ 849 70 марки Н-2 или окись никеля черная по ГОСТ 4331-78, ч.

Олово двуокись по ГОСТ 22516-77, ч.д.а.

Свинец по ГОСТ 3778-77 марки СЗ или окись свинца по ГОСТ 9199-77. ч.д.а.

Серебро по ГОСТ 6836-80 марки Ср 999.0 или Ср 999.9 или азотнокислое серебро по ГОСТ 1277-75, ч.

Сурьма (III) окись, ос.ч.

Титан губчатый по ГОСТ 17746-79 марки ТГ • 90.

Хром по ГОСТ 5905-79 марки Х00.

Цннк го ГОСТ 3640-79 или цинка окись по ГОСТ 10262 -73.

Кислота соляная по ГОСТ 3118 77, х.ч.. или кислота соляная особой чистоты по ГОСТ 14261-77 перегнанная во фторопластовом приборе или дважды перегнанная в кварцевом приборе (перед пе регонкой соляную кислоту разбавляют деионизованной водой в соотношении 1:1), 6 М раствор.

Кислота азотная особой чистоты по ГОСТ 11125-78, или кислота азотная по ГОСТ 4461-77, х.ч., дважды nepei манная в кварцевом приборе.

Кислота фтористоводородная ос.ч. 27—5.

Вода деионизованная с удельным электросопротивлением 10— 20 МОм-см.

Страница 5

ГОСТ 26239.1-84 Стр. 5

Стандартные растворы, содержащие по 1 мг/см3 определяемых элементов (алюминия, висмута, железа, золота, кадмия, кальция, кобальта, магния, марганца, меди, никеля, свинца, серебра, титана, хрома и цинка).

Для приготовления стандартных растворов висмута, железа, кадмия, кобальта, магния, марганца, меди, никеля, свинца и серебра берут по 100 мг одного из перечисленных металлов (или указанные ниже навески одного из окислов: 111,7 мг окиси висмута, 143,0 мг окиси железа. 114,2 мг окиси кадмия. 136,2 мг закись-окн-си кобальта, 165,8 мг окиси магния, 158,3 мг двуокиси марганца, 125,2 мг окиси меди, 140,9 мг окиси никеля черной. 107,7 мг окиси свинца). растворяют в минимальном объеме азотной кислоты, раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см3, доводят до метки водой и перемешивают.

Для приготовления стандартных растворов алюминия, тнгана, хрома н цинка берут по 100 мг одного из перечисленных металлов (или указанные ниже навески одного из окислов: 189,0 мг окиси алюминия безводной, 124,4 мг окиси цинка), растворяют в минимальном объеме 6 М раствора соляной кислоты, раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см®, доводят до метки водой и перемешивают/

Стандартный раствор золота готовят растворением 100 мг металла в минимальном объеме царской водки (1 часть азотной кислоты и 3 части соляной кислоты), раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см3, доводят до метки водой и перемешивают.

Стандартный раствор кальция готовят растворением 250,0 мг предварительно высушенного до постоянной массы при 100    110°С

углекислого кальция в минимальном объеме 6 М раствора соляной кислоты, раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см3, доводят до метки водой к перемешивают.

Стандартный раствор серебра допускается готовить растворением 157,5 мг азотнокислого серебра в воде. Раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см1, доводят до метки водой и перемешивают.

Пластинки фотографические тип 2 (при фотографировании спектра на спектрографе типа ИСП-281 и тип 2 или тип ЭС (при фотографировании спектра на спектрографе типа ДФС-8). обеспечивающие нормальные почернения аналитических линий и близлежащего фона в спектре.

Проявитель:

2.2 г 96 г 8.8 г 48 г 5 г

ло 1000 см’

мм о л......

натрий ссрннстоккслый по ГОСТ 195-77 гидрохинон по ГОСТ I9CV 74 натрий углекислый по ГОСТ 83-79 калий бромистый по ГОСТ 41С0-74 вода.......

9

Страница 6

Стр. 6 ГОСТ MJM.I — и

Фиксаж-

тиосульфат натрия кристаллический

но ГОСТ 244-76......

300 г 20 г

ло 1000 см3.

аммоний хлористый по ГОСТ 3773-72 вода    ........

Натрий хлористый, О.С.Ч 10—3.

Стандартный раствор, содержащий 5 мг/см* натрия хлористого, готовят растворением 500,0 мг натрия хлористого в воде, раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см3, доводят до метки водой и перемешивают.

Спирт этиловый ректификованный технический по ГОСТ 18300-72 и дважды перегнанный в кварцевом приборе.

3. ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ

3.1.    Приготовление образцов сравнения (ОС)

Готовят две серии образцов сравнения:

серия ОС на основе графитового порошка при использовании спектрографа средней дисперсии типа ИСП-28 и серия ОС на основе графнтоного порошка, содержащего 0,5 % хлористого натрия при использовании дифракционного спектрографа типа ДФС-8 (необходимо предварительно подобрать партию графитового порошка, в которой массовая доля примеси меди и марганца не превышает М0-«%).

Смесь графитового порошка с 0,5 % хлористого натрия: 25 г графитового порошка помещают во фторопластовую чашку вместимостью 100 см3, приливают туда 25 см3 стандартного раствора хлористого натрия, содержащего 5 мг/см* хлористого натрия, и высушивают сначала на плитке, а потом иод инфракрасной лампой. Полученную смесь хранят в плотно закрытых банках из органического стекла,

3.1.1.    Приготовление основного образца сравнения (ООС) наос-нове графитового порошка

Готовят основной образец сравнения (ООС) с массовой долей каждой из определяемых примесей но 0.1 %: во фторопластовую чашку вместимостью 100 см3 помещают 9,820 г графитового порошка и приливают по 10 см3 стандартных растворов хлоридов (нитратов) алюминия, висмута, железа, золота, кадмия, кальция, кобальта. магния, марганца, меди, никеля, свинца, титана, хрома и цинка, содержащих по I мг/см8 определяемого элемента. Смесь высушивают и перемешивают в чашке. Затем приливают 10 см3 стандартного раствора серебра, содержащего 1 мг/см3 серебра. Смесь высушивают и перемешивают сначала в чашке, а затем в ступке из органического стекла. После этого вводят олово в виде двуокиси и сурьму в виде трехокиси. Для равномерного распределения олова и сурь-

10

Страница 7

ГОСТ 24239.1-94 Стр. 7

мы берут около I г только что приготовленной смеси графитового порошка, добавляют J2,7 мг двуокиси олова, 12,0 мг трехокиси сурьмы и перетирают с этиловым спиртом в ступке из органического стекла в течение 40 мин. Затем добавляют оставшийся (массой около 9 г) графитовый порошок с примесями и перетирают с этило вым спиртом, смесь сушат под инфракрасной лампой. Затем ООС подвергают обработке фтористоводородной кислотой. Для этого I г ООС помещают во фторопластовую чашку вместимостью 25— 30 см3, приливают 5 см5 фтористоводородной кислоты и вымаривают на электроплитке при температуре от 95 до 100°С досуха.

ООС на основе графитового порошка допускается также готовить, вводя определяемые элементы в виде окислов (см. ГОСТ 13637.1 -77).

3.1.2.    Приготовление основного образца сравнения (ООС) наос-нове графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0,5 %

Основной образец сравнения (ООС ) с массовой долей каждой из определяемых примесей 0.1 % готовят, как указано в н. 3.1.1, но берут навески графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0,5 %.

3.1.3.    Образцы сравнения (OCI—ОС9) готовят последовательным разбавлением основного образца сравнения, а затем каждого последующего образца сравнения графитовым порошком или графитовым порошком с массовой долей хлористого натрия 0,5%.

.Массовые доли каждой из определяемых примесей н образцах сравнения (в процентах, в расчете на содержание металлов в смеси металлов и углерода) и вводимые в смесь графитового порошка или графитового порошка с 0.5 % хлористого натрия и разбавляемого образца, смешиваемые для получения данного образца, приведены в табл. 2.

Таблица 2

Об*»яачспис чбралвл

Массы навески. г

Мдссопая дол* «аждой из определяем** прижч-сй. *4

графитового пороиьд НДК 1 рафИТОВОсО DO-

рмгхл, < дллей «дористого катрт 0.5 %

разбавляемого

обрадпа

OCI

мо—

1.800

0,205 (ООС)

ОС2

3-10—а

1,400

0,601 (ОСП

ОСЗ

М0-»

1.333

0.667 (ОС2)

ОС4

3-10—«

1.4О0

0,600 (ОСЗ)

ОС 5

1-10—4

1,333

0.667 (ОС4)

OCG

3-10—’

1.400

0,600 (ОС5>

ОС7

М0-*

1.333

0,667 <ОС6>

ста

3-1(Ьв

1,400

0.600 (ОС?)

ОС9

М0-*

1.333

0,667 (ОС8)

II

Страница 8

Стр. 8 ГОСТ 26239.1-84

Указанные в табл. 2 навески графитового порошка или графитового порошка с 0.5 % хлористого натрия и разбавляемого образца помещают в ступку из органического стекла, тщательно перетирают в присутствии этилового спирта (образцы сравнения ОС4—ОС9 перетирают с этиловым спиртом, дважды перегнанным в кварцевом приборе) в течение 50 мни и высушивают под инфракрасной лампой.

Образцы сравнения хранят в плотно закрытых банках из органического стекла.

Все операции по приготовлению образцов сравнения проводят в боксе из органического стекла, тщательно протирая стенки бокса кусочками бязи, смоченными этиловым спиртом

3.2. Подготовка проб кремния и кварца к анализу

Пробы кремния или кварца промывают концентрированной соляной кислотой при нагревании, затем деионизованной водой и просушивают. Промытые куски заворачивают в чистую полиэтиленовую пленку и разбивают завернутым в полиэтиленовую пленку молотком на кусочки размером 1—3 мм.

4. ПРОВЕДЕНИЕ АНАЛИЗА

4.1.    Концентрирование примесей

4.1.1.    Получение концентрата примесей при анализе полупроводникового кремния

Навеску кремния массой 1 г помещают во фторопластовый стакан с завинчивающейся крышкой вместимостью 20—25 см5, приливают 9 см3 фтористоводородной кислоты и добавляют на холоду осторожно по каплям 3,5 см3 азотной кислоты. Добавление каждой последующей капли азотной кислоты ведут после прекращения бурного выделения окислов азота, прикрывая каждый раз стакан крышкой. При этом основная масса кремния растворяется. После этого стакан закрывают завинчивающейся крышкой, помешают в другой фторопластовый стакан с завинчивающейся крышкой вместимостью 75-80 см3, закрывают крышкой и ставят в сушильный шкаф на 1 ч при температуре от 95 до 100 °С (за это время навеска кремния полностью растворяется). Растворение кремния допускается также проводить в чашках с крышками из стеклоуглерода на электроплитке при температуре от 95 до 100°С. После полного растворения раствор количественно переносят во фторопластовую чашку вместимостью 20 см5, добавляют 20 мг графитового порошка или графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0.5 % и выпаривают досуха на электроплитке при температуре от 95 до 100 X. К сухому остатку добавляют два раза по 0,5 см3 смеси фтористоводородной и азотной кислот (1:1), выпаривая каждый раз досуха. В конце сухой остаток нагревают в течение 15 мин при

If

Страница 9

ГОСТ 26219.1-84 Стр. 9

температуре от 180 до 200 °С. Сухой остаток из чашки переносят в пакет из кальки с помощью шпателя.

Полученный сухой остаток представляет собой концентрат примесей, подвергаемый спектральному анализу.

Все работы, связанные с концентрированием примесей, проводят в боксе из органического стекла с очищенным через ткань Пстря-ного воздухом, протирая стенки бокса кусочками бязи, смоченными этиловым спиртом

Анализ каждой пробы кремния проводят из трех параллельных навесок.

Одновременно через все стадии анализа проводят три контрольных опыта на загрязнение реактивов и получают три сухих остатка — три концентрата примесей контрольного опыта.

4.1.2.    Получение концентрата примесей при анализе двуокиси кремния и кварца

Навеску двуокиси кремния или кварца массой 2 г помешают во фторопластовый стакан с завинчивающейся крышкой вместимостью ‘20—25 см3 (при анализе двуокиси кремния навеску смачивают 0.5 см3 деионизованной воды), приливают 8 см3 фтористоводородной кислоты, закрывают стакан завинчивающейся крышкой и помешают в другой фторопластовый стакан с завинчивающейся крышкой вместимостью 75—80 см3. Закрывают стакан завинчивающейся крышкой и ставят в сушильный шкаф на 1—2 ч при температуре от 95 до 100 X (за это время навеска двуокиси кремния или кварца полностью растворяется). Растворение двуокиси кремния (кварца) допускается проводить также во фторопластовых чашках с крышками на электроплитке при температуре от 95 до Ю0°С. После полного растворения раствор количественно переносят во фторопластовую чашку вместимостью 20 см3, добавляют 20 мг графитового порошка или графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0,5 % и выпаривают досуха на электроплитке при температуре от 95 до 100 °С. К сухому остатку добавляют два раза по 0,5 см3 фтористоводородной кислоты, выпаривая каждый раз досуха.

Далее анализ проводят, как указано в п. 4.1.1.

4.1.3.    Получение концентрата примесей при анализе четырех-хлористого кремния и трихлорсилана

33 см8 (50 г) четыреххлористого кремния или 37 см3 (50 г) трихлорсилана, отобранного полиэтиленовым мерным цилиндром, помещают во фторопластовую чашку вместимостью 100 см3, находящуюся в боксе с очищаемым через ткань Петрянова воздухом. Удаляют основную часть кремния естественным испарением в виде тетрахлорнда-трнхлоренлана.

Образовавшуюся в результате частичного гидролиза, за счет влаги воздуха, двуокись кремния растворяют в 5—7 см1 фтористоводородной кислоты, добавляют 20 мг графитового порошка или

13

Страница 10

Стр. 10 ГОСТ J62J9.1—84

графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0.5 % и выпаривают досуха на электроплитке при температуре от 96 до 100°С. К сухому остатку добавляют 0,5—1,0 см3 фтористоводородной кислоты п выпаривают досуха. Эту операцию проводят euie два раза, выпаривая каждый раз досуха.

Далее анализ проводят, как указано в п. 4.1.1.

4.2. Спектральный анализ концентратов 4.2.1. Фотографирование спектра концентратов примесей с помощью спектрографа ДФС-8 Каждый концентрат, полученный из анализируемой пробы или при проведении контрольного опыта, помешают в канал графитового электрода диаметром 4.мм и глубиной Змм, тщательно протирая набивалку и шпатель после каждой операции кусочками бязи, смоченными этиловым спиртом. В каналы таких же графитовых электродов помешают по 20 мг каждого из образцов сравнения ОС1 — ОС9 на осноне графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0,5 %. Таким образом получают: три электрода с концентратами одной пробы, три электрода с концентратами трех контрольных опытов, три электрода с образцом сравнения ОС! и т. д. Электрод с концентратом примесей или образцом сравнения служит анодом (нижний электрод). Верхним электродом является графитовый электрод, заточенный на конус. Между электродами зажигают дугу постоянного тока силой 10 Л. Спектры фотографируют на спектрографе типа ДФС-8. На щель спектрографа надевают’насадку с прорезью высотой 5 мм. Шкалу длин волн устанавливают на 280 нм. Ширина щели спектрографа 15 мкм. Время экспозиции 15 с. Во время экспозиции расстояние между электродами поддерживают равным 3 мм. В кассету заряжают фотопластинки типа 2 или типа ЭС.

4.2.2. Фотографирование спектра концентратов примесей с помощью спектрографа ИСП-28 К каждому концентрату, полученному из анализируемой пробы и контрольных опытов, и к 20 мг каждого из образцов сравнения ОС1—ОС8 на основе графитового порошка добавляют по 1 мг хлористого натрия и перемешивают слегка шпателем на кусочке кальки, тщательно протирая набивалку и шпателыюсле каждой пробы кусочками бязи, смоченными этиловым спиртом. Таким образом получают: три электрода с концентратам» одной пробы, три электрода с концентратами трех контрольных опытов, три электрода с образцами сравнения ОС 1 и т. д. Каждую смесь помещают в канал графитового электрода диаметром 4 мм и глубиной 3 мм. Электрод с концентратом примесей или образцом сравнения служит анодом (нижний электрод). Верхним электродом является графитовый электрод, заточенный на конус. Между электродами зажигают дугу постоянного тока силой 10 Л. Спектры фотографируют на спектрографе средней дисперсии тина ИСП-28. Про-

Страница 11

ГОСТ 26239.1-84 Стр. 11

межуточная диафрагма 5 мм. Ширина щели спектрографа 15 мкм. Время экспозиции 30 с. Во время экспозиции расстояние между электродами поддерживают равным 3 мм. В кассету заряжают фотопластинки типа 2.

4.2.3. В одинаковых условиях фотографируют по три раза спектр концентратов анализируемых пробы, сисктр концентратов, полученных из контрольных опытов, и спектр каждого из образцов сравнения.

Экспонированную фотопластинку проявляют, промывают водой, фиксируют, промывают в проточной воде в течение 15 мин и сушат.

S. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

5.1.    За окончательный результат анализа принимают среднее геометрическое результатов трех параллельных определений, выполненных каждое из отдельной навески полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца, четыреххлористого кремния или трихлоренлана.

5.2.    В каждой спектрограмме фотометрируют почернения аналитической линии определяемого элемента S.T (табл. 3) и близлежащего фона 5,|, (минимальное почернение рядом с аналитической линией определяемого элемента с любой стороны, но с одной и той же во всех спектрах, снятых на одной пластинке) и вычисляют разность почернений AS-^S.,—S^.

Таблица 3

ОпреЛ«.1ССМЫЙ ЭЛСМСК1

Лднми КПЛМ 1HMUIII4KKH1 ЛИНИЙ, ни

ИСП-Я

Д4-С-8

Алюминий

308,22; 257.51

266.01, 257,51

Висмут

306,77

306.77

Желсчо

248.33; 259.99; 305.91

259.84; 302,11, 305.9!

Золото

267.59

267.59

Кадмий

шло

т. 80

Кальций

317.93

300.69; 317.93

Кобальт

304,40; 242.49

252.14; 304.40

МагяиП

280.26; 277.98; 279,55

277.67; 277.9$; 279.55

Марганец

257.61; 279.48

260.57; 279,48

Медь

327.40; 324.75

327.40

Никель

305.08, 300,25

300.25

0.5 (ЛЮ

284.00

284.00

Свинец

283.31

283.31

Серебро

328.07

32S.07

Сурьма

259,80

259.80

Титан

308.S0; 323.45; 261,11

308,80; 261,11

Хром

283,56

302.16

11ннк

213.86

307.59

По трем значениям AS,, ДSj, AS3, полученным по трем спектрограммам. снятым для каждого образца, находятсрсднсс арифметическое ДS. От полученных средних значений AS переходят к соот-

15

Страница 12

Стр. «2 ГОСТ 26239.1-84

ветствующим значениям логарифмов относительной интенсивности Igp- , используя обязательное прнложенне ГОСТ 13637.1- 77.

/

По значениям IgC и lg -А- для образцов сравнения строят

/

градуировочный график в координатах (IgC— Ig i£-); по зна-/

чснню lg y~ для концентратов контрольных опытов определяют

среднее значение массовой доли принеси С„ в концентратах контрольных опытов. Соответственно по значению Ig U- для концеи-

«Ф

гратов анализируемой пробы находят по градуировочному графику среднее значение массовой доли С определяемой примеси в концентрате анализируемой пробы.

5.3.    Массовую долю примеси (X) в процентах вычисляют по формуле

где ш, — масса навески графитового порошка или графитового порошка с массовой долей хлористого натрия 0,5%—коллектора, г;

rnt— масса навески кремния, двуокиси кремния, кварца, четы-реххлорнстого кремния или трихлорснлана, г;

С — среднее значение массовой доли иримесн в концентратах навесок анализируемой пробы, %;

С к —среднее значение массовой доли примеси в концентратах контрольного опыта, %.

Величина Ск- не должна превышать установленной для метода нижний предел определяемых значений массовой доли примеси более чем в два раза. При невыполнении этого условия, необходимо тщательно поэтапно очистить помещение, рабочие места, применяемую аппаратуру, реактивы и материалы.

5.4.    При контроле сходимости результатов параллельных опре

делений из трех значений Д5|, Д5*, Д03, полученных по трем спектрограммам, снятых для грех концентратов анализируемой пробы, выбирают наибольшее (AS)a и наименьшее    значения, переходят от них к значениям (lg ^)л и ( lg у-    , используя обя

зательное приложение ГОСТ 13637.1-77, и находят соответствующие значения массовой доли примеси в пробе Л'п и Хч. %.

5.5.    Отношение наибольшего из трех результатов параллельных определений Х0 к наименьшему X „ с доверительной вероятностью Р--0.85 не должно превышать значений допускаемых расхождений трех результатов параллельных определений, приведенных в табл 4

16

Страница 13

ГОСТ 26139.1—М Стр. 13

Таблица 4

Определяемая

ир|1М«СЬ

М>СС91Ш1

ДОЛ»

примеси. %

Допускаемо*

расхождение

Определяема* примесь

Массовая

оси*

прямвеа, %

Д..цу, нимос picnntflllt


5-10-7

6-10-6 210-'-2-10—т 6-I0-" 2-10 * 2-10—6 210 4 2-I0-4


3.5

3.2

3.0

3.6

3.2

3.0

3.2

3.0

3.0


При анализе полупроводникового крем^ кия


210— 2-10—1 210 •« 6*1<М 6-10-е 6-10-* 2-10-* 210-» 2-10—* 2-10-1 210-s 2-10-* 610—» 2-10 » 2-10-*

5-10—0

6-10-» 210-' 2-10—? 2-10 -210-«

5-10° 2*10 -* 2-10—* 1-10—т 2-10—*• 2-10—5 МО 7

6-10-7 6-10—* 2-10 -7 6-10—* 2-Ю • 2-10—* 6-IQ—4 2-10-' 2-10 -т 6-10-» 2-10- • 2-10-* 6-10 т 6-10—14 210-‘ 2-10—^ 2-10“*


4.1

лм

3.5

3.2

3.0 2.8

4.2

4.0

3.0

3.0

2.7

2.1

3.0

2.8

2.6

4.0

3.0

3.2

3.0 2.8

2.4

4.1

3.6

3.0

4.0

3.4

3.0

4.0

3.8

3.4

4.0

3.2

2.8

3.2 2.Й

2.6

3.7

3.2

3.0

3.5

3.0

2.8

3.0 2.8

2.6


При анализе двуокиси кремния и кварца


510-’ 3-10—* 110—4 3-10-* 3-10-* 310-1 110—* I10-S 1-10—• 1-10—' I-I0-* М0-* 3-10 * 1-10—* 1-10-* 3-10—6 3-10-л МО •* МО—1 1-10-» МО—4 5-10—7 МО-ь МО-' 5* О—* МО-* МО—1

мо-5

3-10 7 3-10-* МО 7 310-« 110-' МО-7 3-ю-4 МО-4


4.0

3.9

3.5

3.2

3.0 2,8

4.2

4.0

3.6

3.0

2.7

2.4

2.8 2.6

2.4 4.D

3.6

3.2

3.0 2.8

2.4

4.2

4.0

3.6

4.0

3.6

3.0

4.0

3.8

3.4

4.0

3.2

2.8

3.2

3.0

2.6


Алюминий

Висмут

Железо

Золото

Кадмий

Кальций

Кобальт

Магний

Марганец

Медь

Никель

Олово

Свинец

Серебро

Сурьма


Алюминий

Висмут

Железо

Золою

Кадмий

Кальций

Кобальт

Магний

Марганец

Медь

Никель

Олоао


Титан

Хром

Цнкк


17

Страница 14

Стр. 14 ГОСТ 26239.1—М

Продолмение табл. 4

Определена!

Шсс-'.иии

доли

Попускаемое

Оаределяемаа

Массов»

Лопускаекое

(1|>ИМ<СЬ

"•'‘ЯП

примеси. *4

расхождение

примесь

ДОЛЛ

примени. %

расхождение

Свинец

МО-’

3,2

Кальций

4-10—1

4.8

3-10—^

3.0

М0-»

4.0

Серебро

мо-4

2.7

4-10-*

3.8

МО—3

3.5

Кобальт

МО-*

3.0

3-10—г

3.0

4-10—'

2.»

Сурьма

3-10—*

2.8

4-10—«

2.4

мо-е

3.0

Магний

2-10 *

4.2

мо-*

2.8

5-10—'

3.3

МО *

2.6

4-10—»

3.0

Титан

3-10—7

з-ю—•

3.5

3.2

Марганец

4-10 ® 4-10-'

4.0

3.6

Хром

МО-5

3.0

4-IO-'

3.2

МО-

3.2

Медь

4-10—"

4.0

3-10 *

3.0

М0-*

3.6

Цинк

МО—4

2.8

МО-'

3.2

МО-4

3,2

Никель

5-10-»

4.0

МО-4

3.0

5-10—7

3.8

МО—*

2.8

4-10—*

3.6

При анализе четыреххлористого

Свинец

5-10-* 5-10—г

3.8

3.6

кремния и трихлорсилана

4-10—*

3.2

Алюминий

Висмут

2-10-' 4-10—? 4-10—4 МО 4

4.0

3.6

3.2

3.2

Серебро

Сурьма

МО» М0-* 1-10—т 4-10—* 4-10-7

4.0

3.8 3.6

3.0

2.8

Железо

1-10—г МО-4 1-10—т

3.0 2.8

4.0

Титан

4-10—* 2-10—» мо—т

4-10—т

5-10    * 5-10“» 4-10—®

2.6

3.8 3.4 3.0

3.8 3.6 32

Золото

5-10-т 4-10—* 4-10-3 4-10—7

3.8

3.6 3.0

2.6

Хром

Кадмий

4-10—* I-10-* 4-10—4 4-10—т

2.4 2.8 2,6

2.4

Цинк

4-10-* 4- 1C-1 4-10—*

3.4

3,2

3.0

5.6. Контроль правильности результатов анализа проводят методом добавок. Для этого в растворы трех параллельных навесок полупроводникового кремния (или три параллельные навески двуокиси кремния, кварца, четыреххлористого кремния или трихлор-силана) с минимальным значением массовой доли примеси вводят добавки определяемых элементов в виде их растворов, из которых готовят основной образец сравнения (ООС). Добавки вводят и таком объеме, при котором значение массовой доли каждого определяемого элемента в пробе с добавкой было не меньше утроенной

18

Страница 15

ГОСТ 24239.4—М Ctp.

величины нижней границы определяемого значения массовой доли данного элемента, не меньше утроенного значения массовой доли каждого определяемого элемента в пробе и не больше верхней гра-ницы определяемого значения массовой доли. Пробы с добавками анализируют, как указано в разд. 4 и 5.

Результат анализа считают правильным с доверительной вероятностью Я = 0,95, если допускаемые расхождения между результатами анализа пробы с добавкой и ее вычисленным значением Сор -1-Сд0б ( где Спр— результат анализа пробы, С л0б— массовая доля добавки) не превосходят величин, указанных в табл. 5.

Таблица 5

Эпрсаслксмая

срнмссь

М«'Ч'»Й*И

долч прямее*. %

допускаемое

расхождение

рмудьгатов

ЛВУХ ЯИЙ.1И 1011

Определяема-!

примесь

Массовая

зол»

ПрИЧССК. %

Лоаугкаем»е

ра<Х(1ЖА«ИИ*

результатов

ДВУХ аВ1ЛНЭО«

При анализе

Олово

2-ю-7

1.8

6-10-*

1,7

полупроводникового кремни*

2-10-'

1.5

Алюминий

2-10~‘

2.0

Свинец

2-10-7

1.9

2-10-»

1.9

6-I0-4

1.8

2-10—•

1.8

2-10—*

1.7

Висмут

610—»

1.8

Серебро

2-10-»

1.8

6-10-’

1.7

G-10-1

1.7

6Ю-‘

1.6

6-10—*

1.7

Железо

2-10-*

2.1

Сурьма

2-10-*

1.7

210 *

2.0

2-10 5

1.7

2* 10 ‘

1.9

2-10-'

1,5

Золото

2-10-7

1.7

Тита»

5-10 7

1.8

2-10 4

1.6

6*10—6

1.8

2-10 *

1.5

2-10—5

17

Кадмий

6-10-»

1,7

Хром

2-Ю-’

1.9

2-10-»

1.6

6-10-®

1.8

2-10-4

1.5

2-10-*

1.7

Кальций

5-10—4

2.0

Цинк

2-10-*

1.8

6-IC—*

1.9

2-10 6

1.7

2-10 *

1,8

2-I0-*

1.7

Кобальт

2-10—т

1.7

2-10—6

1.6

При аиалвм двуокиси кремния и кварца

2-10-*

1.5

Магний

5-10-11

2.0

Алюминий

5-10 7

2.0

2-10 4

1.9

3-10—1

1.9

2-10—*

1.7

110 -«

1.8

Марганец

1-10 г 2-10—в

2.0

1.8

Висмут

310—»

3-10^»

1.8

1.7

2-10—'»

1.7

3-10-»

1.6

Медь

1-10 f

2.0

Железо

1,10-*

2.0

6-10—7

1.9

1-10—

1.9

6-10-*

1.8

1-10—

1.8

Никель

2-10—*

2.0

Золото

1-10—т

1.7

fi-10~*

1.8

1-10—ь

1.6

2-10—•

1.6

МО 4

1.5

19

Страница 16

Стр. 16 ГОСТ 2623V.1-M

Продолжение табл. 5

0врсасл«*14**

Массорм

• а |.а

Лову‘скаемп* рихождгине

Опрскгляемл

M«cc?Daii

Ловускасмос

рэсхожасикн

арим«сь

прсмсси. %

р: )« .1.1 41-п

а»у* JMa.tHioB

ирммгеь

доля

иркмеси. %

реэуаыатон а»ух *щакэ<>п

Кадмий

3-10-*

1.7

Висмут

мо-»

1.8

М0-*

1.6

110 ?

1.7

М0-*

1.5

МО *

1.6

Кальций

3-10-»

2.0

Железо

110—г

2.0

3-10-s

1.9

6*10 7

1.9

МО-4

1.8

4-I0-*

1.9

Кобальт

МО-’

1.7

Золото

4*10-»

1.7

М0-»

13

4-10—7

13

мо-4

13

4-10—•

1.4

Магний

610—7

2.0

Кадмий

М0-»

1.6

МО—5

1.9

•но-»

13

МО-4

1,7

4-10—7

13

Марганец

МО-'

2.0

Кальций

410-'

22

М0-*

1.8

НО-*

2.0

М0-»

1.7

4-10—4

1.9

Медь

но-1

2.0

Кобальт

НО-*

1.7

3-10 -*

1.9

4-10—т

1.7

3-I0-*

1.8

4-10 -*

1.4

Никель

мо-»

2.0

Магний

2-10—•

2.0

310-‘

1.8

510—7

1.8

Олово

МО-4

1.6

4-10—*

1.7

МО-7

1.8

Марганец

4-10

2.0

3-10—•

1.7

4-10-»

1.9

МО-4

1.5

4-10-f

1.8

Свинец

1 10-7

I-8,

Медь

4-10-»

2.0 •

3-10—ь

1.7

НО *

1.9

МО-4

1.5

НО-7

1.8

Серебро

мо-*

1.8

Никель

5-10—*

2.0

310-7

1.7

6-10—т

1.9

Сурьма

3-10—®

1,6

4-10-»

1,9

МО-*

1.7

Свинец

5-10—®

1.9

110-»

1.7

5*10—т

1.9

но—4

13

4-10—*

1.8

Титан

3-10—7 3-10-*

1.8

1.7

Серебро

5-10- ^ М0-»

2.0

1.9

Хром

МО—5

1.6

но—?

1.9

МО—f

1.9

Сурьма

4-10—4

1.7

3-10—6

1.8

4-10—т

13

Цинк

МО—4

1.7

4-10—*

13

М0-*

1.8

Титан

2.10 •»

1.9

М0-»

1.7

НО-7

1.8

МО-4

1.7

4-10-'

1.7

При анализе четырсххлорис-

Хром

5-10-’ 5-10—7 4-10-®

1.9

1 Л

то<о кремния и трихлорси.мма

1.9

1.8

Алюминий

2-10—’

2.0

Цинк

4-10-*

1.8

4-10—7

1,9

4-10 7

1.8

4>10—*

• »* 13

4-10-4

1.7

20

Страница 17

Измененне № 1 ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый. Исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения примесей

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 26.06.96 Д 1847

Дата введения 01.01.91

Вводная часть. Заменить слова: «химико-спектральный» на «химико-атомно-эмиссионный».

Раздел 2. Заменить слова: «Шкаф сушильный на температуру 156 ив «Шкаф сушильный, обеспечивающий температуру нагрева 260*С»;

дополнить абзацем: «Автоклав аналитический М 167 с |>еакционвой камерой М206; С 3551 с реакционной камерой С 3552 в соответствии с приложением»;

заменить ссылки: ГООТ 9199—77 на ТУ 6-09-^382—88. ГОСТ 11125-78 на ГОСТ 11125-84, ГОСТ 18300-72 на ГОСТ 18300-87; исключить ссылку: ГОСТ 4173-77.

Пункт 4.1.1. Второй абзац. Заменить слово: «спектральному» на «атоино-эмиссионному»;

дополнить абзацами: «Допускается получение концентрата примесей в аналитическом автоклаве непосредственно в кратере графитового электрода.

Анализ каждой пробы кремния проводят из трех параллельных навесок. Для этого в кратеры трех графитовых электродов с насадками помещают навески кремния массой 0,5 г (или в 1 электрод навеску кремния массой 1,5 г), смешанные с 20 мг графитового порошка, содержащего 0,5 % хлористого натрия.

Одновременно через все стадии анализа проводят три контрольных опыта на загрязнение реактивов.

Электроды с пробами и контрольными опытами помещают во второпластовый держатель электродов. Держатель электродов помещают в реакционны* стакан камеры, содержащий 35 см3 фтористоводородной н 5 см3 азотной кисло» (количества, достаточно для растворения до 1,5 г кремния).

Реакционную камеру помещают в корпус автоклава, герметизируют аго, ставят в сушильный шкаф и выдерживают в течение четырех часов при температуре 200—220 °С.

После этого автоклав вынимают из сушильного шкафа н оклаждают (можно при помощи вентилятора и контактного холодильника) до комнатной темпера.-ту,ры.

Открыв автоклав, реакционную камеру протирают снаружи ватным тв«-поном, смоченным спиртом. Вынимают электроды и при необходимости поде у* шивают их под инфракрасной лампой.

Концентраты примесей в электродах подвергают атоняо-эмксснонноиу анализу».

Пункт 4.L3. Первый абзац дополнить словами: «(при анализе четыреххлористого кремния и трихлорсилана технической чистоты допускается брать 6,5 см3 (10 г) четыреххлористого кремния или 7,5 см3 (10 г) трихлорсилана с соответствующим изменением интервала определяемых значений массовых долей определяемых примесей в 5 раз)».-

Пункт 4.2. Заменить слово: «Спектральный» на «Атомяо-эмиссионяыЛ».

Пункт 4.2.2 после слое* «добавляют по 1 мг хлористого натрия» дополнить словами: «(I мг хлористого натрия в концентратах из анализируемой пробы а контрольных опытов можно ввести также в виде 0,5 %-вого раствора в количестве 0,2 см3 при получении концентрата примесей на 20 мг графитового порошка)».

Пункт 5.2 дополнить примечанием (после табл. 3): «Примечание. Для определения цинка (при фотографировании спектра на спектрографе типа ИСП-28) можно использовать линию цинка 328,23 нм при условии, если массовая доля титана в концентрате пробы менее 3-10-4 %».

Стандарт дополнить приложением:

(Продолжение см. с. 102)

Страница 18

(Продолжение изменения к ГОСТ 26239.1-84)

ПРИЛОЖЕНИЕ

Обязательное

Двухкамерный автоклав М 167 н С S551

1 — корпус автоклава; 2 — реакционная емкость; S — сборник; 4 — крышка реакционной емкости; 5 — крышка корпуса автоклава; 6 — sanopHoe устройство; 7 — натяжная гайка; в — донный холодильник

Черт. 1

(Продолжение см. с. 103)

Страница 19

(Продолжение изменения к ГОСТ 26239.1-84) Камеры для концентрирования М 206    С    3552    <

/ — реакционная евхость] 2 — держатель    I — реавцнонная емкость; 2 — держатель

электродов; з — графитовые электроды;    электродов и сборников; 3 — графитовый

4 — крышка реакционной емкости    электрод; 4 — сборник; 5 — крышка реак

ционной емкости

Черт. 2 (ИУС № 10 1900 г.)