Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

16 страниц

304.00 ₽

Купить ГОСТ 25948-83 — официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает метод измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения типа электропроводности, коецентрации и холловской подвижности основных носителей заряда для полупроводниковых материалов с удельным электрическим сопротивлением от 10 в степени -4 до 10 в степени 9 Ом•см монокристалических арсенида галлия и фосфида галлия.

  Скачать PDF

Ограничение срока действия снято: Протокол № 4-93 МГС от 21.10.93 (ИУС 4-94)

Оглавление

1 Сущность метода

2 Аппаратура

3 Методы отбора образцов

4 Подготовка к измерениям

5 Проведение измерений

6 Обработка результатов

Приложение (обязательное) Значение поправочного коэффициента f в зависимости от значения коэффициента

Показать даты введения Admin

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

АРСЕНИД ГАЛЛИЯ И ФОСФИД ГАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ

ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И КОЭФФИЦИЕНТА ХОЛЛА

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82)

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москва

РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР ИСПОЛНИТЕЛИ

Л. В. Елютин, Н. Н. Соловьев, Н. И. Сучкова, В. М. Михайлов

ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А. П. Снурников

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 28 октября 1983 г. № 5178

ГОСТ 25948-83 Стр. 9

6.2.3. Удельное электрическое сопротивление q, Ом*см, и коэффициент Холла RHi см3/Кл, вычисляют но фрмулам:

(19)

(20)

Р =

U9'S

7Р

10 t-Uyd IB-B *

где Ip, Iв — значения электрического тока, вычисленные по формулам (17) и (18), А;

5—площадь поперечного сечения образца, см2: S = a-dt где d— толщина образца, см;

а— ширина образца, см;

Up ,Uy — значения напряжений, вычисленные по формулам (13), 16), В;

В— значение индукции магнитного поля в зазоре магнита, Т;

I— расстояние между контактами 1 и 2, 3 и 4, см (черт. 4).

6.2.4. Концентрацию и подвижность основных носителей заряда вычисляют по формулам (11) и (12).

6.3.    Результатом измерения удельного электрического сопротивления является величина, вычисленная по формулам (9) или (19):

6.4.    Случайная погрешность измерения удельного электрического сопротивления, характеризующая сходимость результатов измерений, не превышает ±2% с доверительной вероятностью 0,95.

6.5.    Суммарная погрешность измерения удельного электрического сопротивления не превышает ± 12% с доверительной вероятностью 0,95.

6.6.    Результатом измерения коэффициента Холла является величина, вычисленная по формуле (10) или (20).

6.7.    Случайная погрешность измерения коэффициента Холла, характеризующая сходимость результатов измерений, не превышает ±4% с доверительной вероятностью 0,95.

6.8.    Суммарная погрешность измерения коэффициента Холла не превышает ±15% с доверительной вероятностью 0,95.

6.9.    Суммарная погрешность определения подвижности основных носителей заряда не превышает ±15% с доверительной вероятностью 0,95.

Стр. 10 ГОСТ 25948-83

ПРИЛОЖЕНИЕ

Обязательное

Значение поправочного коэффициента f в зависимости от значения коэффициента

а

J

а

f

а

/

1,0

1,000

17,0

0,612

90,0

0,413

1,5

0,985

18,0

0,604

95,0

0,408

2,0

0,960

19,0

0,596

100,0

0,403

2,5

0,932

20,0

0,588

110,0

0,395

3,0

0,906

22,0

0,574

120,0

0,388

3,5

0,882

24,0

0,562

130,0

0,382

4,0

0,860

26,0

0,551

140,0

0,376

4,5

0,839

28,0

0,541

150,0

0,371

5,0

0,821

29,0

0,536

160,0

0,366

5,5

0,804

30,0

0,532

170,0

0,361

6,0

0,789

32,0

0,524

180,0

0,357

6,5

0,774

34,0

0,516

190,0

0,353

7,0

0,761

36,0

0,509

200,0

0,350

7,5

0,750

38,0

0,503

250,0

0,335

8,0

0,738

40,0

0,496

300,0

0,324

8,5

0,727

45,0

0,483

350,0

0,315

9,0

0,717

50,0

0,471

400,0

0,307

9,5

0,708

55,0

0,461

460,0

0,301

10,0

0,699

60,0

0,452

500,0

0,295

11,0

0,682

65,0

0,444

600,0

0,286

12,0

0,668

70,0

0.436

700,0

0,279

13,0

0,655

75,0

0,430

800,0

0,273

14,0

0,643

80,0

0,423

900,0

0,268

15,0

0,632

85,0

0,418

1000,0

0,263

16,0

0,622

Редактор И. В. Виноградская Технический редактор В. И. Тушева Корректор В. И. Варенцова

Сдано в наб. 11.11.83.    Подп.    в    печ.    21.02.84.    0,75    уел.    п.    л.    0,75    уел.    кр.-отт.

0,58 уч.-изд. л.    Тир.    8000    Цена    3    коп.

Ордена «Знак Почетз» Издательство стандартов, 123840, Москва, ГСП, Новопресненский пер., 3 Тип. «Московский печатник». Москва, Лялин пер., 6. Зак. 1395

Изменение № 1 ГОСТ 25948-83 Арсенид и фосфид галлия монокристалличес-кие. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 22.03.89 № 606

Дата введения 01.01.90

Вводная часть, пункт 1.3. Заменить слова: «тип проводимости» на «тип электропроводности».

Пункт 1.4. Чертеж 1 под словами «p-тип» дополнить обозначением: (^н>0); «/г-тип» — обозначением: (RH <0).

Раздел 2 дополнить пунктами — 2.1.1, 2.1.2: «2.1.1. Измерительная установка должна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением р<106 Ом-см не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления ±5 % и коэффициента Холла ±8 %; при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением р>106 Омсм не должна превышать соответственно ±12 % и ±15 %.

2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящем стандарте, в частности использование установок типа «Холл-100», «Холл-200» при условии соблюдения требований п. 2.1.1».

Пункт 2.2.1. Таблицу I изложить в новой редакции:

Таблица 1

Наименование

материала

Подвижность основных носителей заря-

2 П-'1 - 1

да см2 - В -с ) не более

Магнитная индукция в зазоре магнита В, Тл, не более

Допустимая неоднородность магнитного поля в области измерения, %, не более

Арсенид галлия п-и

3-103

1.0

p-типа электропро-

7-103

0,7

±3

водности

МО4

0.5

Фосфид галлия п- и p-типа электропроводности

2-102

1,0

±3

Примечание. Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия р-типа электропроводности с концентрацией основных носителей заряда более ЫО19 см-5 выполняют при значении В не менее 0,7 Тл.

Пункт 2.2.2 дополнить словами: «Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать 1 % при измерении материала с удельным электрическим сопротивлением р<106 Ом-см и 3 % при измерении полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см»; таблицу 2 изложить в новой редакции:

(Продолжение см. с. 60)

59

(Продолжение изменения к ГОСТ 25948—83)

Таблица 2

Удельное электрическое сопротивление р, Ом*см, не более

Значение электрического тока I, А, не более

Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, %, не более

Входное электрическое сопротивление измерительного прибора /?вх* Ом, не менее

Чувствительность измерительного прибора, В

5-10"3

5-10—1

±1

104

10-7

3-1 о-2

2-10-1

±1

104

ю-6

1-10°

МО"1

±1

104

ю-5

МО1

мо-2

±1

105

10"5

МО2

мо-3

±1

106

10“5

МО3

мо-4

±1

107

ю-5

МО4

МО-5

10®

10-5

МО5

мо-6

±1

ю9

ю-4

МО6

5-10“7

±5

1010

10-3

МО7

5-10-8

±5

10“

ю-3

МО8

5-10-9

±5

10“

ю-»

МО9

5-10"10

±5

1012

ю-3

Пункт 2.2.3 изложить в новой редакции: «2.2.3. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям табл. 2.

Погрешность измерения электрического напряжения не должна превышать 1 % при контроле материала с удельным электрическим сопротивлением р<106 Ом-см и 2,5 %—при контроле полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см».

Пункт 2.2.4 после слов «должно обеспечивать» дополнить словами:    «при

контроле одного образца».

Пункт 2.3.3 исключить.

Пункт 3.1. Заменить слово: «(черт. 3)» на «в форме квадрата (черт. 3) или произвольной формы».

Раздел 3 дополнить пунктом — 3.1.1: «3.1.1. Допускается проводить измерения на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам крестообразной формы (табл. 3)».

Пункт 3.2 дополнить словами: «(либо в форме параллелепипеда)».

Пункт 3.3. Таблица 3. Графа «Длина образца». Заменить значение: 7>3а на >0,3.

дополнить абзацем (после табл. 3): «Для пластин произвольной формы поперечный размер образца должен быть не менее 0,7 см».

Пункт 4.2 после слов «располагая их на» дополнить словами: «торцовой поверхности или»;

второй абзац исключить.

Раздел 4 дополнить пунктами — 4.4, 4.4.1, 4.4.2: «4.4. Перед выполнением измерений электрофизических параметров измеряют геометрические размеры образца.

4.4.1.    Толщину образца в виде плоскопараллельной пластины измеряют в трех точках: одной в центре и двух на периферии пластины. Если поперечный линейный размер образца превышает 5 см, толщину образца измеряют в 5 точках: одной в центре и четырех на периферии образца. За результат измерения толщины принимают среднее арифметическое полученных значений.

4.4.2.    Геометрические размеры образцов крестообразной формы измеряют два раза в противоположных концах образца. За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений».

Пункт 5.2.1. Заменить слова: «используя одну из двух пар контактов» на «используя соседнюю по периметру образца пару контактов».

(Продолжение см. с. 61)

60

(Продолжение изменения к ГОСТ 25948—83) Пункт 6.1.1. Формулы 1—4 изложить в новой редакции:


и4М+П ~~ У4.И-/) + *Л,2(+/)


и


1 »2(—/)


си=


У3,4(+/) ~из,М~1)


и


2,3 (+/)


а» =


(1);

(2);

(3) ;

(4) ;


дополнить абзацем (после первого): «При вычислении значений напряжений UPi , С7рг и коэффициентов' cti, сс2 алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях».

Пункт 6.1.6. Заменить обозначение: / на е (3 раза).

Пункт 6.2.1. Формулу 13 изложить в новой редакции:


иР -


(13);


дополнить абзацем: «При определении значений £/р , V^ , £/ра алгебран~

чески учитывают знаки величин, полученных при измерениях».

Пункты 6.3— 6.9 исключить.

Раздел 6 дополнить пунктами — 6.2.5—6.2.10: «6.2.5. Значения удельного электрического сопротивления и концентрации основных носителей заряда в полуизолирующих материалах (р>106 Ом*см) могут быть приведены к температуре То по формулам

р(7-„) =9(Г) ■ р(п;

N(T0) =9(Г) 'N(T)<


(21)

(22)

(Продолжение см. с. 62)


(Продолжение изменения к ГОСТ 25948—83) Q(r)=exp[£/A'(±-±)],    (23)

где

К — постоянная Больцмана; £ = 8,62-10-5 эВ К~!

Т — температура измерения, К;

Е — энергия активации глубокого примесного центра, определяющего полу-изолирующие свойства материала, эВ.

Для GaAs ft-типа электропроводности £ = 0,8 эВ.

Для GaP<Fe<p-THna электропроводности £ = 0,7 эВ.

6.2.6.    Результаты измерений представляют числом с тремя значащими цифрами с указанием порядка величины. Результаты измерений и вычислений округляют в соответствии с правилом: если первая (справа налево) из отбрасываемых цифр более или равна 5, то последнюю цифру увеличивают на 1; если менее 5, то оставшиеся цифры не изменяют.

6.2.7.    Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения удельного электрического сопротивления с доверительной вероятностью Я=0,95, составляет ±5 °/о для образцов с удельным электрическим сопротивлением р<106 Ом-см; ±12 %для образцов с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см.

6.2.8. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения концентрации основных носителей заряда с доверительной вероятностью £=0,95, составляет ±8 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р<106 Ом-см; ±15 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см.

6.2.9.    Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения подвижности основных носителей заряда с доверительной вероятностью Р — 0,95, составляет ±8 % Для образцов с удельным электрическим сопротивлением р< 106 Ом-см; ±10 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см.

6.2.10.    Наличие в контролируемом образце посторонних включений, неоднородности распределения электрофизических параметров приводит к увеличению суммарной погрешности измерений, которую устанавливают при метрологической аттестации метода применительно к конкретной продукции».

(ИУС № 6 1989 г.)

Группа В09

УДК 621.315.592.083:006.354 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСТ

25948-83

(СТ СЭВ 3910—82)

АРСЕНИД ГАЛЛИЯ И ФОСФИД ГАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ

Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла

Monocrystal gallium arsenide and gallium phosphide Measurement of specific electric resistance and Hall-coefficient

ОКСТУ 1772

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 28 октября 1983 г. № 5178 срок действия установлен

с 01.01.115 до 01.01.90

Несоблюдение стандарта преследуется по закону

Настоящий стандарт устанавливает метод измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения типа проводимости, концентрации и холловской подвижности основных носителей заряда для полупроводниковых материалов с удельным электрическим сопротивлением от 10-4 до 109 Ом-см монокристаллических арсенида галлия и фосфида галлия.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3910—82.

1. СУЩНОСТЬ МЕТОДА

1.1.    Определение удельного электрического сопротивления основано на измерении продольного электрического поля Ех и плотности тока jx, вызываемого этим полем.

1.2.    Определение коэффициента Холла основано на измерении поперечного электрического поля Еу {Uy), возникающего в полупроводнике, помещенном в магнитное поле индукций Вг при протекании через него тока плотностью jx в направлении, перпенди* кулярном магнитному полю.

1.3.    Тип проводимости полупроводникового 1материала устанавливают по знаку ЭДС Холла в соответствии с черт. 1.

Издание официальное

1.4.    Концентрацию и подвижность основных носителей заряда определяют расчетным путем на основании данных по измере-

Перепечатка воспрещена

Издательство стандартов, 1984

2—1395

Стр. 2 ГОСТ 2J948—83


нию удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла.


2. АППАРАТУРА


2.1. Структурная схема установки для измерения удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла представлена на черт. 2.


J

5

I—П

Ч



Z

ZZI


1 — измеряемый образец; 2 — магнит;

3 — источник постоянного тока; 4 — измерительное устройство; 5 — коммутирующее устройство

Черт. 2

2.2. Требования к элементам структурной схемы в зависимости от параметров измеряемого материала приведены в табл. 1—2.

2.2.1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой полярности, должен удовлетворять требованиям табл. 1,


ГОСТ 25948--83 Стр. 3

Таблица 1

Наименование

материала

Верхний предел подвижности основных носителей заряда М-, сма-В“1-с“ *

Верхний предел магнитной индукции в зазоре магнита В, T

Допустимая неоднородность магнитного поля в области измерения, %, не более

Арсенид галлия

МО*

1,0

п и р — типа

5-И)3

0,5

7-Юз

0,3

±2

2-Ю*

0,2

МО»

0,05

Фосфид галлия

2-I02

1,0

-4-9

пир — типа

МО*

0,5

2.2.2. Источник постоянного тока, обеспечивающий создание в измерительной цепи электрического тока изменяемой полярности, должен удовлетворять требованиям табл. 2.

Таблица 2

Верхний предел удельного электрического сопротивления р,Ом • см

Верхний предел электрического тока Л А

Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, %

Входное электрическое сопротивление измерительного прибора R, Ом, не менее

Чувствительность измерительного прибора, В

1

1(Г3

5

Ю”1

±1

10*

10~6

1

КГ2

2

10~1

±1

10*

ю

1

О

I

100

I

10“1

±1

10*

О

1

сл

1

101

1

сч

!

о

±1

105

10~5

1

10а

1

о

1

со

±1

10*

10~5

1

10*

I

!

о

±1

107

кг5

1

ю<

I

о

1

сл

±1

108

10~5

1

10^

1

10~ь

±1

109

10-4

1

10G

1

h-

1

О

±1

1019

10-4

1

107

1

со

О

±1

104

TJ*

1

О

1

108

1

О

1

со

±1

10*9

1(Г3

1

109

1

о

т

О

±1

1013

10~3

2.2.3.    Прибор для измерения электрического напряжения с погрешностью не более 1 %, должен соответствовать требованиям табл. 2.

2.2.4.    Коммутирующее устройство должно обеспечивать проведение измерительных операций с использованием одного измери-

2*

Стр. 4 ГОСТ 25948-83

тельного прибора. Значение величины электрического сопротивле-* ния изоляции контактов коммутирующего устройства не должно быть менее входного электрического сопротивления измерительного устройства.

2.3.    Вспомогательные средства

2    3.1. Держатель образца должен обеспечивать:

перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного поля с отклонением от перпендикулярности не более ±3°;

возможность проведения измерений при затемнении образца;

соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов сопротивлению измерительного прибора.

2.3.2 Микрометр или другой инструмент для измерения толщины образца с погрешностью не более 1 * 10-3 см и с погрешностью не более 3-10-4 см для измерения толщины 0,06 см.

2.3.3.    Прибор для имерения силы электрического тока с погрешностью не более 0,5%.

2.3.4.    Прибор для измерения абсолютного значения, магнитной индукции с погрешностью не более 2%.

2.3 5. Термометр с погрешностью измерения не более 0,5К.

3. МЕТОДЫ ОТБОРА ОБРАЗЦОВ

3    1. Измерения проводят на образцах в виде плоскопараллельных пластин (черт. 3) либо на образцах крестообразной формы (черт. 4).

3.2. Измерения полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением q>106 Ом-см проводят на образцах крестообразной формы.

Черт. 3

Черт. 4

ГОСТ 25948-83 Стр. 5

3.3. Требования к характеристикам образцов приведены в табл. 3.

Таблица 3

Форма образца

Длина образца L, см

Ширина образца а, см

Толщина образца d, см

Допускаемое отклонение от средней толщины образца, %, не более

Расстояние между контактами 1 и 2,

3 и 4 1

Отношение линейных размеров контактов к минимальному расстоянию меэвду ними, не более

Плас-

не менее

не менее

0,02—0,1

±5

_

0,1

тина

0,5

0,5

>0,1-0,2

±2,5

0,1

L

1

L

Крест

>3 а

<—

0,02—0,1

±5

3

>0,1—0,2

±2,5

4

2

4. ПОДГОТОВКА К ИЗМЕРЕНИЯМ

4.1.    На образец крестообразной формы наносят шесть электрических контактов.

4.2.    На образец в виде плосконараллельной пластины наносят четыре электрических контакта, располагая их на периферии пластины.

Рекомендуется располагать электрические контакты на боковой поверхности пластины (черт. 3).

4.3.    Электрические контакты должны обладать:

линейной вольт-амперной характеристикой (результаты измерения не должны зависеть от конкретных режимов измерений);

малым переходным сопротивлением (рекомендуемые методы оценки устанавливаются в зависимости от вида полупроводниковых монокристаллических материалов).

5. ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ

5.1.    Измерения проводят при фиксированной температуре. Допускаемое отклонение температуры за время измерения не более 0,5 К.

5.2.    Проведение измерений на образцах в виде плоскопараллельных пластин.

5.2.1. Образец устанавливают в держатель и пропускают через него электрический ток, используя одну из двух пар контактов,

Стр. 6 ГОСТ 25948-83

Фиксируют значение тока I и разности потенциалов U, возникающей на второй паре контактов, в следующем порядке:

£/м<+/^2) > ^М( ~//,2) »

+ I3%2) )    *

^.*( + Am) , Ult2{-i3t4) ;

U2,3{+h,4) ;    и2Л-*1,4)    *

5.2.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения тока /, магнитной индукции В и разности потенциалов U в следующем порядке:

U2’4( + 11,3 + В) > U2J{ ~Ijt3-ft) *

&1,3( + I2f4 + fi) »

- I2t4 _ в) >


&2,4{ — j + в) > &2,4{ -f IIt3 _ В) ; Ult3{ -    +    В)    ;

^Л-?( + 12>4 __ В)


Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3). Значения токов при измерениях в пределах одного пункта (5.2.1. или 5.2.2) должны быть одинаковыми; значения токов при выполнении измерений по разным пунктам могут различаться в пределах требования табл. 2.

5.3. Проведение измерений на образцах крестообразной формы

5.3.1. Образец устанавливают в держатель и пропускают через него электрический ток. Фиксируют значения электрического тока в двух направлениях + /р, —/р и разности потенциалов U:

+ /);

Ui.2{ -п;

Уз,4( + о;

U3,4{ -/)•

5.3.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения магнитной индукции В, электрического тока в двух направлениях +/в, — /в и разности потенциалов U:

Ult3{ + /, + в), Ui,2{ - /, - в);

U2,4( + /, + В) , Us,4{ - I, - В) ;

£/г,4( - Л + В) , и2>4{ + Л - В) ;

£//.,?( —/, + £)) ^7,3( + /, — В) •

Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 4).

6. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ



6.1.    Обработка результатов измерений на образце в форме плоскопараллельной пластины

6.1.1.    Значения напряжений    U9l1    UVi    ,    UVl    и    коэффи

циенты аь а2 вычисляют по формулам:


и,


U3,4( 4-/)+ иЗ,Ц - 1) + U2,3( + /)+ и2,3{ - /)    ,


Pi


(1)

II —    +    /)    +    Ul,4{    -    I)    +    U2,l{    +    /)    +    U2,l{    -    /)    #


(2)

a1 = ^L±


/) + из,ц - 1) _


и2,3( + /)+ U2,3( - I)

иМ( + /) + и1,Ц - /)

&2 — - - . U2,l{ + I)+U2,l( - I)


(3)

(4)

При определении коэффициентов си и аг делят большую сумму на меньшую, чтобы получить результат более 1.


и


2,Ц + 1, + В) — U2,4( - /, + В) + и2,Ц - /, - В)~ U2,4{ + /,


В)


(5)

Л5( + /, + В)


— £/


«?(+/» + 5)


.(6)

При определении значений i7yi и UУл алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

6.1.2.    Определяют поправочные коэффициенты f\ и f2> в соответствии с обязательным приложением.

6.1.3.    Средние значения напряжений U и Uy вычисляют по формулам:


(J —    ^Ра'/з .

р    2

/ г _    ^уа

2


(7)

(8)

6.1.4. Удельное электрическое сопротивление q, Ом*см, вычисляют по формуле


Л 4,53‘d j j Р **    ,    Ор    ,


(9)

где I— значение электрического тока, при котором проводились измерения по я. 5.2.1 ,А;



d— толщина измеряемого образца, ем;

Up — среднее значение напряжения при измерении удельного электрического сопротивления, В.

6.1.5.    Коэффициент Холла (^?н)> см3/Кл, вычисляют по формуле

Яа= 10*7- -иу,    (10)

где В— значение индукции магнитного поля, Т;

I— значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 5.2.2,А;

Uу—среднее значение ЭДС Холла, В.

6.1.6.    Концентрацию основных носителей заряда N, см3, вычисляют по формуле


г _ 6,25-Ю18


(11)


где заряд электрона; /= 1,602* 10~19 Кл;

г— холловский фактор, принимаемый равным 1.

6.1.7. Холловскую подвижность основных носителей заряда цш см2 ■ В~~] • с-1, вычисляют по формуле

!*«=—■ 02)

Р


6.2. Обработка результатов измерений на образце крестообразной формы

6.2.1. Значения напряжений Up , UУ1, I/Уа вычисляют по формулам:


U,в


__ I Uj,2{ + /)1+ 1 U1.2( - /) I + I U3,4{ +/)! + ! U3t4{ - /) 1    ,


Г у    ^1,3(    +    /.    +    В)    ~~    U},3(    —    /,    4-    В)    и2%ц    +    /,    _    в)    + Uj Ц _ /, _ В) л

иУ\~~    4

71    —    Us'4(    +    ^»    +    В)    ‘    и2,4{    -    /■    +    В)"    и2,4(    +    и    -    В)+и2,4(    —    —    В)


УЧ


(13)

(14)

(15)


6.2*2. Средние значения £/у, /Р , /в вычисляют по формулам;


1г.


I+/J+I-/J


(16)

(17)



1+/* 1 + 1-/* I


2


(18)