Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

16 страниц

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает метод измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения типа электропроводности, коецентрации и холловской подвижности основных носителей заряда для полупроводниковых материалов

Ограничение срока действия снято: Протокол № 4-93 МГС от 21.10.93 (ИУС № 4-94)

Оглавление

1 Сущность метода

2 Аппаратура

3 Методы отбора образцов

4 Подготовка к измерениям

5 Проведение измерений

6 Обработка результатов

Приложение (обязательное) Значение поправочного коэффициента f в зависимости от значения коэффициента

Показать даты введения Admin

Страница 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР &г АРСЕНИД ГАЛЛИЯ И ФОСФИД ТАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ г и ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И КОЭФФИЦИЕНТА ХОЛЛА ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Издание официальное ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ М о « к • а

Страница 2

РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР ИСПОЛНИТЕЛИ

А. В. Елютин. Н. Н. Coro*Lco. Н. И. Сучком. В. М. Миннг.О!

ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А. П. Сиуриинов

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного иомитета СССР по стандартам от 28 октября 1983 г. № 5178


Страница 3

УДИ 621.315.$92.093:006.354 Групп* 809 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР АРСЕНИД ГАЛЛИЯ И ФОСФИД ГАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ — Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла 25948 83 Mono crystal galliuir. ar.veiiide and gallium phosphide Measurement of sjiecific^ electric resistance jcy СЭВ 3910_82) ОК.СТУ 1772 Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 2В октябре 1983 г. М» 5178 срок действия установлен с 01.01.Ь5 до 01.01.90 Несоблюдение стандарта преследуется по закону Настоящий стандарт устанавливает метод измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения типа проводимости, концентрации и холловской подвижности основных носителей заряда для полупроводниковых материалов с удельным электрическим сопротивлением от 10~4 до 10* Ом-см монохрнсталлических арсенида галлия и фосфида галлия. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3910—82. 1. СУЩНОСТЬ МЕТОДА 1.1. Определение удельного электрического сопротивления основано на измерении продольного электрического поля Ех и плотности тока /*, выливаемого этим полем. 1.2. Определение коэффициента Холла основано на измерении поперечного электрического поля (иу), возникающего в полупроводнике, помещенном в магнитное поле индукций В, при протекании через него тока плотностью /, в направлении, перпенди« кулярном магнитному полю. 1.3. Тип проводимости полупроводникового материала устанавливают по знаку ЭДС Холла в соответствии с черт. 1. 1.4. Концентрацию и подвижность основных носителей заряда определяют расчетным путем на основании данных по нзмере- Издание официальное 2-1395 Перепечатка воспрещен» © Издательство стандартов, 1984

Страница 4

С»р 2 ГОСТ 35949—» вию удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла. 3. АППАРАТУРА 2.1. Структурная схема установки для измерения удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла представлена на черт. 2. I — и 1«»г>я»чы* с^ра-|«и: » — магнат: 5 — исгочнмк ИЛЧОЧИНОГО ток«: 4 — *>• мерительное »стройство: 5 — коммутирующее устройство Черт. 2 2.2. Требования к элементам структурной схемы в зависимости от параметров измеряемого материала приведены в табл. 1—2. 2.2.1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой иолярности, должен удовлетворять требованиям табл. 1.

Страница 5

ГОСТ 15948-83 Стр. 3 Таблица 1 Наимеионикме ыл гериала ВерхияЛ предел сюаьнжиссти ос-нсохи к яоситслсЛ ем« В-1 е" 1 Вер*имй предел ммякти«* имлуж-сия & зазоре мгпиета Ь. Т Допустимая кеодиосюдиость магикгиою по-ля в области ил мереииа, V не более Арсен и а галлия МО» 1,0 п и р —типа 5 104 0.5 7-10» о.з ±2 2-10» 0.2 \\(Р 0.05 Фосфид галлия пир — 7ипа 2 10* 110» 1.0 0.5 ±2 2.2.2. Источник постоянного тока, обеспечивающий создание в измерительной цепи электрического тока изменяемой полярности. должен удовлетворять требованиям табл. 2. Таблица 2 Верхиив предел удельного 97.r-.Tp веского солро. т* олени* »-.Ом • см ВгрзпиД вре-дел »лсктрм- ЧССКОГО Т1Ж« V. А Допустим* Й иесчбмли-хдеть элитри ческого токл зл вромп 113- мгрсмяя. % Входное глсктрмче-скос сопро-тигиеиие измерительного прибора Я. Ом. ие ие чее Ч) в. кНТГ-Льиосгь И)МГрНГ«ЛЬН1> и Прибора. В 1 кг3 5-Ю"1 ±1 т< ю-* 1 2-10-1 ±1 10« 10-* I 10^ МО"' 10' ю-4 1 10' 1 10"а ±1 10» 10~ь 110» МО"» ±1 10' 10-ь 1 10' МО"4 ±1 10' Ю-5 МО» МО"6 10' ю-4 1 ю- МО"4 ±1 № ,0-4 М *1 Ю-3 2.2.3. Прибор для измерения электрического напряжения с погрешностью не более 1%, должен соответствовать требованиям табл. 2. 2.2.4. Коммутирующее устройство должно обеслечивать проведение измерительных операций с использованием одного измери- 2*

Страница 6

Стр. 4 ГОСТ 25441—«) телыюго прибора. Значение величины электрического сопротивления изоляции контактов коммутирующего устройства не должно быть менее входного электрического сопротивления измерительного устройства. 2.3. Вспомогательные средства 2.3.1. Держатель образца должен обеспечивать: перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного ноля с отклонением от перпендикулярности не более ±3°; возможность -проведения измерений при затемнении образца; соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов 'сопротивлению измерительного прибора. 2.3.2 Микрометр или другой инструмент для измерения толщины образца с (погрешностью не более МО а см и с погрешностью не более 3-10-4 см для измерения толщины с/^О.ОО см. 2.3.3. Прибор для имерения силы электрического тока с погрешностью не более 0,5%. 2.3.4. Прибор для измерения абсолютного значения, магнитной индукции с погрешностью не более 2%. 2.3.5. Термометр с погрешностью измерения не более 0.5К- 3.1. Измерения проводят на образцах в виде плоскопараллельных пластин (черт. 3) либо на образцах крестообразной формы (черт. 4). 3.2. Измерения полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением о>10в Ом-см проводят на образцах крестообразной формы. 3. МЕТОДЫ ОТБОРА ОБРАЗЦОВ г Черт. 3 Черт 4

Страница 7

ГОСТ 25948-Ц Стр. 5 3.3. Требования х характеристикам образцов приведены в табл. 3. Таблица 3 «4 С-б- разч« Дли«» о«рая- с* Ширни образца Л. см Толщина образца Л. с» Дсоусхас v-.ee отхлопочи» от 1Р«Ан«в толщины обрама. V «г более Расстояние между контактами 1 И 7. 4 и 4 1 Отношение лиясПкых размеров киптакго» К МНИИ иалымыу расстоянию между оимг. не более Пластина ко менее 0.5 но иенег 0.5 0.02 -0.1 >0.1—0.2 ±5 ±2.5 — 0.1 0.1 Крест >3« 0,1-02 ±5 ±2,5 £ 1 т

Страница 8

Стр. 6 ГОСТ 2594»—«3 Фиксируют значение тока / и разности потенциалов и, возникающей на второй паре контактов, в следующем порядке: £/»,«( ♦ //(3) , Уз.4{ - /Л2); ♦ О.-о > -+ ; - /и) ■ 5.2.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения тока /, магнитной индукции В н разности потенциалов V в следующем порядке: + >1.з + В) • ~ '1.3 + В) ; - '1,з - т » + '1.3 - а) I и'.ч + /2,4 + в> ■ и'.Ц - '1,4 + В) > У'Л - '2,4 _ А) > «/АЗС ♦ >2.4 - Я) ■ Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3). Значения токов при измерениях в пределах одного .пункта (5.2.1. или 5.2.2) должны быть одинаковыми; значения токов при выполнении измерений по разным пунктам могут различаться в пределах требования табл. 2. 5.3. Проведение измерений на образцах крестообразной формы 5.3.1. Образец устанавливают в держатель и пропускают через него электрический ток. Фиксируют значения электрического тока в двух направлениях , —/, и разности потенциалов 1)\ и'А. + />; и>.ц - и; Ум< + л; Ул.Л-/)- 5-3.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения магнитной индукции В, электрического тока в двух направлениях +/в, — /в и разности потенциалов I): Ui.il + '. + «)• ^'Л -'.- в)\ Уг.Ч + /. + а), Уз.ц -1. - в) \ и2.4{ - 1.4 в), и3,ц * /. - В) ; и>,Ц _/, + /»>> и!,3[ + /, - в) • Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 4).

Страница 9

ГОСТ 2}*4В—»3 Стр. 7 6. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ 6.1. Обра ботка результатов измерений на образце в форме илоскопарал л ельной пластины 6.1.1. Значения напряжений О'^, С/„, , и коэффи- циенты "I, а2 вычисляют по формулам: Ц Us.1l 4. /) + - О + + 1У+ и1.Ч - » . _ + и'Ч - /) + и2Л - п + - п , ^2) 1 и2,3{ + /)+ а, — + п ~ 0 (3) (4) При определении коэффициентов а> и а2 делят большую сумму нз меньшую, чтобы получить результат более I. (5) у _ ^'.-.Л +_/. *• й) - /. * Я) + и1.Ц - /. - Д) ~ 'Л.-Ч + /. * В) ^ При определении значений иу, и иу, алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях. 6.1.2. Определяют поправочные коэффициенты \\ и в соответствии с обязательным приложением. 6.1.3. Средние значения напряжений £/? н вычисляют по формулам: и, = . (7) (8) 6.1.4. Удельное электрическое сопротивление о, Ом см, вычв. сляют ло формуле (9) где / — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 5.2.1,А;

Страница 10

Стр. 8 ГОСТ 21948-83 (I — толщина измеряемого образца, см; I), — среднее значение напряжения при измерении удельного электрического сопротивления, В. 6.1.5. Коэффициент Холла (/?ц), см3/Кл, вычисляют по формуле Л.-Ю«^.//,. (Ю) где В— значение индукции магнитного поля, Т: /— значение электрического тока, при котором проводились измерения ио п. 5.2.2.А; Vу — среднее эначенне ЭДС Холла. В. 6.1.6. Концентрацию основных носителей заряда .V, см3, вычисляют по формуле (и, где /— заряд электрона: /=1,602« Ю-1® Кл; г— холловский фактор, принимаемый равным 1. 6.1.7. Холловскую подвижность основных носителей заряда см2*В-1-с-1, вычисляют по формуле = (12) 6.2. Обработка результатов измерений на образце крестообразной формы 6.2.1. Значения напряжений , Vу,, иу, вычисляют по формулам: . и . I + п\+ I -/)'+! +р1 + 1 Щ.ц .I . (13) Ц — (':, 3( + '■ * 10 ~ • '< v 0) ~ + " и) + 4 ~ '■ ~ в) • (|4) а ^ и'-4< ^ I и*.Ч I т 4 I. - т+ий.41 - I. - II) ^ 6.2.2. Средние значения II/} , 1Ц вычисляют по формулам; _ и+ ЦУ, . ' 2 1 + /Л-1-/.1 иу= и* +:и>' ; (16)

Страница 11

ГОСТ 25941-43 Стр. 9 6.2.3. Удельное электрическое сопротивление р, Ом-см, и коэффициент Холла /?„, см3/Кл, вычисляют но фрмулам: где , Гв — значения электрического тока, вычисленные но формулам (17) и (18), А; 5 — площадь поперечного сечения образца, см2:5

Страница 12

Стр. 10 ГОСТ 25948-85 ПРИЛОЖЕНИЕ Обямгельное 'Значение поправочного коэффициента I в зависимости от значение коэффициента « / « / • / 1.0 1.000 17.0 0,612 90.0 0.413 1.5 0.985 18.0 0,604 95.0 0,40в 2,0 0,960 19,0 0.596 100.0 0.403 2.5 0,932 20.0 0.588 110,0 0,395 3,0 0,9(16 22,0 0.574 120.0 0.388 3.5 0,882 24.0 0.562 130.0 0.382 4,0 0.860 26,0 28.0 0,551 140.0 0.376 4.5 0.839 0.541 150.0 0.371 5,0 0.821 29.0 0.536 160.0 0.366 5.5 0.804 30.0 0,532 170,0 0.361 6.0 0.789 32,0 0,524 180.0 0.357 6.5 0.774 34.0 0.516 190.0 0.353 7.0 0.761 36.0 0.509 200.0 0.350 7.5 0.750 0.738 38.0 0.503 250.0 0.335 8.0 40,0 0.496 300,0 0.324 Н 0.727 45.0 0.4&3 350,0 0.315 9,0 0.717 50.0 0.471 400,0 0.307 9.5 0.708 55.0 0.461 460.0 0,301 10.0 0.699 60.0 0.452 500.0 0.295 П.О 0.682 65.0 0.444 600,0 0,286 12,0 0.668 70.0 0,436 700.0 0.279 13.0 0.655 75.0 0.430 800,0 0.273 14.0 0.64.4 80,0 0,423 900,0 0.268 15.0 0.632 85,0 0.418 1000,0 0.263 16.0 0.622 Редактор И. В. Винырадская Технический редактор В. И. Тушена Корректор В. И. Варенцова Слан» И И 11.83. Поли. к печ. 21.0Й.ВГ О.'З уел п .1 О.'В уел ир отт О.Ы уч «»д. а. Тир. 80X1 Цена 5 *оа. Ордии» «Змз*Потег>» И 1Длтел*:тао стандартов, 123ЫС. М.х-им, ГСП. НонопреснепсхиА пер.. 1 Тип. «М.:с*о»и.а6 печатник». Моек»«. Лилгн пер. Ь Зэк. 1385

Страница 13

Изменение Л I ГОСТ 25948 83 Лрсеиид и фосфид галлия моиокрмсталлмчес-ние. Измерение удельною электрического сопротивления и коэффициента Холла Утверждено и »велено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 22.03.89 /6 «06 Дата введении 01.01.90 Цводная часть, пункт 1.3. Заменить слова «тип приводимое™» на «тип электропроводности». Пункт 1.4 Черге* | под словами 0|; «я-ткп> - обозначением <0). Раздел 2 дополнить пунктами — 2.1.1, 2.1.2 «2 1.1. Измерительная установка дсижна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцом с удельным электрическим сопротивлением />< I(Г- Ом-см ие должна превышать оря измерении удельною электрического сопротивления ±5 % и коэффициента Холла ±8 Ч»: при контроле обратив с удельным электрическим сопротивлением 10* Ом-см не должна пиепышзть соответственно ±12 % и г. 15 %. 2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автомат крайни но алгоритмам, изложенным в настоящем стандарте. и частности использование установок типа «Холл 100», «Холл 200» при условии соблюдения требований п. 2.1.1». Пункт 22.1. Таблицу I наложить в новой редакции Таблица I .Н»нме-«1в»и1|< ч» тернам Пот» л»о< к. осиоп ■ их носителей »»!'» к и. <и*-В '-с не Мягиитааа ияаукцая п >>м?г «инки В, Тл, ее более Допустимая пси но-роиаость магивтио-го пили в евзаетн н.тмерени», но более Арсен ид галлия л-и /»•типа электропроводности 3-10» 7-10' 1-10« 1.0 0.7 0.5 2.3 Фосфид галлия л- и р-тнпа алектропро-водности 2-10» 1.0 ±3 Примечание Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия /»-типа электропроводности с концентрацией основных носителей наряда более МО • см-1 выполняют при значении В не менее 0.7 Тл. Пункт 2.2 2 дополнить словами «Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать I % при измерении материала с удельным электрическим сопротивлением р <Г 10я Ом-см и 3 Ч) при измерении полуитолнрующето материала с удельным жчектричсскнм сопротивлением р;»10* Ом-см»; таблицу 2 изложить в новой редакции (Продолжение см. с. 60) 59

Страница 14

(Продолжение изменения к ГОСТ 25944-83) Т з б л н ц а 2 У.юаьног трическо* солро- Т*ИЛ*НИ» 0. Он си, не бол«» 3на*ер*те*».иит"> прибора Лвх. Ом. но м«ьге ЧуаетАиклиносж измерительного пр'6->|». В 510 « 5-Ю-1 10» 10-т 3-10-» 2-10-' 10« ю-« 1-10" МО-' ± 1 10« 10-* МО' МО"» 1 1 10^ КН МО* МО-' 10е 10-5 1-10' М0-* ±1 10Г ю-1 110« 1-10-5 -.1 10" 10-» МО» МО-« *1 10» ю-' МО" 5-10-' 10»® 10-» 1-10' 5-10-* ГО ю» ю-> МО* 5-10-* 10" 10-» М(Р 5-Ю-'4 =5 1013 ю-» Пункт 2.2.3 изложить н новой редакции: «2 2 3 Прибор для измерении электрического напряжения должен удоолспк>рнть требованиям табл 2. Погрешность измерения заектрического напряжения не должна превышать. 1 '-!, при кон/риле материала с удельным *лектрнч«скнм сопротивлением р:« Ю' Оном» Пункт 2.2 4 после слов «должно обеспечивать» дополнить словами «при контрило одного образца* Пункт 2.3.3 исключить. Пункт 3.1 Заменить слов»: «(черт 3)> га «в форме квадрат« (черт 3> иди произвольной формы*. Раздел 3 дополнить пунктам -311: «>1.1. Допускается проводить измерения на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам к{кч:т'..*;Сра(нн!1 фирмы (табл 3|> Пункт 3.2 дополнить словами: «'либо п форме параллелепипеда)». Пункт 3.3 Таблица 3 Графа «Длин» 1.Лра-ц-з» Заменить значение ,">3йг ил >0.3. дополнить ;-Л\ацен (после табл. >) «11.«и пластин произвольной фирм»* поперечный размер образца должен быть не менее 0.7 см». Пункт 4 2 л

Страница 15

(Продолжение изменения к ГОСТ 26948~«9) Пункт 6.М. Формулы 1—4 изложить в новой редакции: ир — у 1> ~ "з,и- л+ ~ ^а.а(-п ^1.31-/1 -^о.и-г дополнить абзацем (после первого) «Прн вычислении значений напряжений . и коэффициентов Я|. а; алгебраически учитмиаюг зигки «ели» чин, полученных прн измерениях* Пункт 6.1.6. Заменить обозначение- / на с (3 раза). Пункт 6 2.1. Формулу 13 изложить в новой редакции: ' 4 (13); дополнить абзацем: «При определении значений ир , О^ , ир> алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях» Пункты 6.3—6.9 исключить. Раздел 6 дополнить пунктами — 6 2.5—6.2 10: <6.2.5. Зна-гення удельного- электрического сопротивления н концентрации основных носителей заряда в-полунюлируюших материалах (р>10® Ом-см) могут быть приведены х температуре I, по формулам е ы(т> (22). (Продолжение см. с 62)

Страница 16

(Продо.икение изменения к ГОСТ 25948-83) 10® Ом-см. 6.2.8. Интервйья, к котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения концентрации основных носителей заряда с доверительной вероятностью Я—0,95, составляет + 8 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р< 10" Омсм; ±!5 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р>106 Ом-см 6.2.9 Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной пог решности измерения подвижности основных носителей заряда с доверительной вероятностью (\95, составляет г8 для образцов с удельным электрическим сопротивлением р<10* Ом-см; ±10 % для образцов с удельным электрическим сопротивлением р>10* Омсм. 6 2 10. Наличие в контролируемом образце посторонних включений, неоднородности распределения электрофизических параметров приводит к увеличению суммарной погрешности измерений, которую устанавливают при метрологической агтссгации метода применительно к конкретной продукции». (МУС «V» б 1989 г )