Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

8 страниц

244.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия

Показать даты введения Admin

Страница 1

ГОСТ 25663-83

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ

МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

Издание официальное

Л    Москва

II Стандартииформ

I    2010

Страница 3

УДК 621.521:006.354    Группа    Г82

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Оборудование вакуумное НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ Методы испытаний

ГОСТ

25663-83

Vacuum equipment. Mcchanical vacuum pumps. Test methods

M КС 23.160 ОКП 62 9448

Дата введения 01.01.84

Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее КИЮ Па. и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409—81.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и ГОСТ 26790.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

1.1.    Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из специальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в камере через равные промежутки времени при постоянной температуре.

1.2.    Испытательная установка представлена на черт. I.

1.3.    Измерительная камера представлена на черт. 2.

/ — направление потока raja: 2 — напускная |руб-ка: 3 — место подсоединения измерительного ире-обраюван'ля давления

/ — испгиуемып насос: 2 — измерительная камера: 3 — измерительные преобраюватели давления: 4 — натекатель; 5— напускная трубка

Черт. 2

Черт. I

Перепечатка воспрещена

Нзланне официальное

© Издательство стандартов. 1983 © СТАНДАРТИНФОРМ, 2010

Страница 4

С. 2 ГОСТ 25663-83

Объем измерительной камеры, дм3, определяют по формуле

Ч*ы. (Кс=—>-    (О

я/

где S — ожидаемая быстрота действия испытуемого насоса, дм*/с; п — число оборотов в минуту, мин-1;

/ — число циклов в каждом обороте;

Уис — объем газа, всасываемого за один цикл компрессии, дм5.

1.3.1. Объемы и диаметры измерительных камер приведены в таблице.

Уж. дм’

Ук. дм’

D. мм

До

0.26

1,3

100

Св. 0,26

»

1.10

5.5

160

• 1,10

»

4,20

21,0

250

. 4.20

17,00

85.0

400

. 17.00

»

65.00

325,0

630

. 65.00

»

260.00

1300.0

1000

1.3.2.    Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса.

1.3.3.    Поток газа, напускаемого в измерительную камеру, должен быть направлен строго по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

1.3.4.    Измерительные преобразователи давления должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

1.3.5.    Соединение измерительной камеры с испытуемым насосом допускается осущестатять с помощью переходника, представленного на черт. 3.

1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной погрешностью не более:

± 7 % — при измерении давлений свыше 1 11а;

•    15 %    »    *    *    в    диапазоне    1    —    10    6    Па.

/- диаметр входного ошерсшя испшуе-    1-5.    Измерители потоков газов должны обеспечивать изною насоса    мерение    с допускаемыми погрешностями:

*    3 % — для потоков более 1 Вт;

Черт. з    .5%    *    *    от 1 до 10 4 Вт;

± 10 %    »    *    менее 10 4 Вт.

1.6.    В качестве газа для испытаний следует применять сухой воздух или другой сухой газ.

1.7.    Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены и обезжирены.

1.8.    Перед началом измерения должна быть проверена герметичность испытательной установки. Допускаемый поток натекания из атмосферы не должен превышать значения

Qaan ^ 5 • I0-1 • Р„ ■ Sp,    (2)

где Ра — предельное остаточное давление, Па;

^р— номинальная быстрота действия насоса, дм5/с;

Олоа ~ допускаемый поток натекания, Вт.

1.9.    Измерение должно быть проведено при следующих климатических условиях: температура окружающей среды 15 ‘С—25 "С с колебаниями не более ± 1 "С; относительная влажность не более 80 % при температуре 25 ‘С; атмосферное давление 8 • Ю4—I • 10s Па.

1.10.    Проведение измерения

Предельное остаточное давление следует измерять в последовательности, приведенной ниже:

Страница 5

ГОСТ 25663-83 С. 3

включить испытуемый насос (черт. I) и вывести его на рабочий режим согласно инструкции по эксплуатации:

откачать из измерительной камеры газ при закрытом натекателе до установления в ней предельного остаточного давления.

Предельное остаточное давление считают установленным, если в течение ! ч давление на входе в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора (п. 1.4).

Давление следует измерять измерительными преобразователями давления не реже чем через каждые 30 мин.

1.11. Оформление результатов измерения

Результаты измерения оформляют протоколом, в который заносят: объект, условия и метод испытаний, аппаратуру, результаты измерений и заключение.

2. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ БЫСТРОТЫ ДЕЙСТВИЯ

2.1.    Метод основан на установлении некоторого постоянного давления на входе в насос при создании определенного потока газа через натекатель в измерительную камеру, измерении значения этого потока и давления на входе в насос и вычислении быстроты действия насоса.

2.2.    Аппаратура — по пп. 1.2, 1.3. 1.4. 1.5.

2.3.    Подготовка к измерению — по пп. 1.7. 1.8.

2.2. 2.3. (Измененная редакция, Изм. № 2).

2.4.    Быстроту действия насоса следует измерять при постоянном давлении на входе в насос, создающемся при определенном потоке газа, в последовательности, приведенной ниже:

включить испытуемый насос (черт. 1) и откачать из измерительной камеры газ до предельного остаточного давления (п. 1.10);

если необходимо измерить быстроту действия насоса только для одного значения да&чения, из измерительной камеры откачивают газ до давтения. равного 0,05 Р„ (где Ра — давление на входе в насос, при котором требуется измерить быстроту действия испытуемого насоса);

не прекращая откачки, установить в измерительной камере с ломошью натекателя давление /’„. Давление считают установленным, если результаты трех последовательных измерений, проведенных с интервалом не менее 60 с, не отличаются более чем на 10 %\

одновременно с измерением давления Ря необходимо измерять поток газа Q. поступающий в измерительную камеру через натекатель;

вычислить значение быстроты действия насоса, дм3/с. при заданном давлении по формуле

s=o_    (3)

р.

Быстроту действия насоса следует измерять при различных значениях давления, проводя не менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2.5; 5; 10). Измерение следует начинать с самого низкого да&тения.

2.5.    Обработка результатов измерения

Зависимость быстроты действия насоса от давления следует изобразить графически: на логарифмическую ось абсцисс нанести значения давлений, а на линейную ось ординат — соответствующие значения быстроты действия.

2.6.    Протокол испытаний — по п. 1.11.

ПРИЛОЖЕНИЕ. (Исключено, Изм. № 2).

Страница 6

С. 4 ГОСТ 25663-83

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1.    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 № 1068

2.    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

3.    Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409—81

4.    ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Обозначение НТД. на коюрий лама ссылка

Номер пункта

ГОСТ 5197-85

Вводная часть

ГОСТ 26790-85

Виолная часть

5. Ограничение срока действия снято по протоколу № 4—93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 4—94)

6. ИЗДАНИЕ (май 2010 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в апреле 1984 г., ноябре 1988 г. (ИУС 8-84, 2-89)

Страница 7

Редактор II.В. Таланова Технический редактор В. П. Пруса кола Коррскюр Р.Л. Ментола Компьютерная верстка В.И. Грищенко

Слано и набор 27.04.2010. Подписано п печать 05.07.2010. Формат 60x84'/4. Бумага офсетнап. Гарнитура Таймс. Печать офсетная. Уел. печ. я. 0.93. Уч.-им. я. 0,45. Тира* 89 экз. Зак. 546.

ФГУП «СТАИДЛРТИНФ0РМ*, 123995 Москва. Гранатный пер.. 4. www.goxtinro.ruinfo0goktinfo.ru Набрано то ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ. на ПЭВМ.

Отпечатано и филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ* — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер.. 6

Страница 9

Изменение M 2 ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.11.88 Л 3638

Дата введения 01.01.89

Вводная часть. Третий абзац изложить в новой редакции: «Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения — по ГОСТ 519/—85 и ГОСТ 26790-85».

(Продолжение см. с. N6)

Страница 10

(Продо.ию-ние изменения к ГОСТ 25663 —83)

Пункт 2.2 дополнить ссылками: пп. 1 4. 1.5-Пункт 2.3. Заменяй, ссылку: п. 1.8 на пп. 1.7. 1.8.

Приложение исключить.

(ИУС Л» 2 1989 г.)

Страница 11

*

Редактор М. В. Глушкова Технический редактор Л. Я. Митрофанова Корректор Г. Л. Кононенко

-Сдано в наб. 11.04.83 ПоМ. » п**. 28.Х.ЯЗ 0,6- о. я. 0.31 уч-в»д д. Тщ>. М00 Цена 3 кои.

Ордска «Зык Потен» И»дат<лкст*0 гтандарх». I23SS7. Мосам. Поооареспевсхи* оер.. J. Калужская твоотрафн* стандарте», уд. Мос*о»с«»я. 266 Зак. 8П