Сертификация: тел. +7 (495) 175-92-77
Стр. 1
 

10 страниц

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов

Ограничение срока действия снято: Постановление Госстандарта СССР № 5329 от 10.12.81

Оглавление

Основные виды электронных микроскопов

Конструктивные элементы электронных микроскопов

Изображения объекта в просвечивающем электронном микроскопе

Изображения объекта в растровом электронном микроскопе

Изображения объекта в эмиссионном электронном микроскопе

Параметры и характеристики

Алфавитный указатель терминов на русском языке

Алфавитный указатель терминов на немецком языке

Алфавитный указатель терминов на английском языке

Приложение Общие понятия электронно-оптических приборов

Показать даты введения Admin

Страница 1

Группа MOO

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

МHKPOCKOIIЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

Термины, опрелеления и буквенные обозначения

ГОСТ

21006-75

Electron microscopes. Terms detlnilions and letter symbols

МКС 01.040.31

Постановлением 1 'осударственното комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. № 1835 дата введения установлена

01.07.76

Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта СССР от 10.12.81 .Mb 5329

Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех вило», учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ понятия.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов — синонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой «Ндп1.

Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.

В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивалентов.

К стандарту дано приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических приборов.

Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы — курсивом.

9-гоз

1

Переиздание.

97

Страница 2

С. 2 ГОСТ 21006-75

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

1. Электронный микроскоп

Микроскоп, формирующий изображение объек

D. Elektronenmikroskop

та электронными пучками средствами электронной

Е. Electron Microscopc

оптики

F. Microscope olcctronique

ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

2.    Просвечивающий э.тектронный микроскоп (ПЭМ)

Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп

D.    DurchstrahlungS-EJeklronenmicroskop

E.    Transmission electron microscopc

3.    Растровый электронный микроскоп (РЭМ)

Ндп. Сканирующий иектронный микроскоп

D.    Rasterclelektroncnmikroskop

E.    Scanning electron microscope

4.    Отражательный электронный микроскоп

D.    Reflexions-Eletronenmikroskop

E.    Reflection electron microscope

5.    Эмиссионный электронный микроскоп

D.    Emissions-Elektronenmikroskop

E.    Emission electron microscopc

6.    Зеркальный электронный микроскоп

D.    Spicgelelcktronenmikroskop

E.    Mirror electron microscopc

7.    Автоэлектронный проектор Ндп. Микропроектор

Микроскоп-проектор

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмитти-руемымн этим объектом

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмитти-руемыми этим объектом под воздействием электрического поля


КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

S. Электронная пушка электронного микроскопа

Электронная пушка

D.    Elektronenstranhler

E.    Electron gun

9.    Электронное зерка.то

D.    Elcktronenspiegcl

E.    Electron mirror

10.    Видсоконгрольнос устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ)

11.    Электронная линза электронного микроскопа

Линза

D.    Elcktronenlinse

E.    Electron lens

12.    Магнитная ликш электронного микроскопа

Магнитная линза

D.    Magnetischc Linse

E.    Magnetic lens

Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направлении осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное

Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом

Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе

Электронная линза электронного микроскопа, преднатначенная для ({юкусировки электронных пучков магнитным полем


%

Страница 3

ГОСТ 21006-75 С. 3

Буквенное

Термин

Определение

обозначение

13.    Электросгапгк-ская лини электрон-иого микроскопа

Электростатическая лип j;i

D.    Elecktrische Linse

E.    Elcctric lens

14.    Формируинцая лин за

15.    Конденсаторная лини электронного микроскопа

Конденсор

D.    Kondcnsorlmse

E.    Condenser lens

16.    Двойной конденсатор электронного микроскопа

Двойной конденсор

D.    Doppelkondensor

E.    Double condenser

17.    Объективная линза электронного микроскопа

Объектив

D.    Objektivlinsc

E.    Objective lens

18.    Дифракционная лита

19.    Промежуточная линза электронного микроскопа

Промежуточная линза

D.    Zwischenlinse

E.    Intermediate lens

20.    Проекционная линза электронного микроскопа

Проекционная линза Ндп. Проектив

D.    Projektiv

E.    Projector

21.    Регистрирующая система электронного микроскопа

Регистрирующая система

22.    Фотокамера электронного микроскопа

Фотокамера

D.    Aufnahmekammcr

E.    Photographic chamber

23.    Вакуумная система электронного микроскопа

Вакуумная система

D.    Vakuumanlage

E.    Vacuum system

24.    Котировочная система электронного микроскопа

Котировочная система

25.    Отклоняющая система электронного микроскопа

Отклоняющая система

D.    Ablcnksvstcm

E.    Deflection system

Электронная линза Электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение обьекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение обьекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины

Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе

Часть регистрирующей системы электронною микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках

Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе

Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магни тными полями


99

ч*

Страница 4

С. 4 ГОСТ 21006-75

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

26. Стшматор

Электронно-оптический элемент электронного

D. Stigmator

микроскопа, прелназначенный для исправления

Е. Stigmator

приосевого астигматизма

27. Полюсный наконечник электронно

Часть магнитопровода электронного микроско

го микроскопа

па, концентрирующая поле магнитной линзы в при-

Полюсный наконечник

осевой области

D. Pobchuh

Е. Pole piese

28. Колонна электронного микроскопа

Совокупность конструктивно объелиненных

Колонна

электронно-оптических и механических элементов

D. Mikroskoprohr

электронного микроскопа

Е. Microscope column

29. Шлюзовое устройство электронно

Устройство, предназначенное для ввода и выво

го микроскопа

да из колонны электронного микроскопа сменных

Шлюз

элементов без существенного нарушения в ней ра

D. Schleibc

бочего вакуума

Е. Airlock

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

30. Свст.юнольнос ниюражснис

D.    Hellfeldabbildung

E.    Bright-ficld image

31.    Темнополыюе и зображение

D.    Dunkelfeldabbiklung

E.    Dark-field image

32.    Микродифракция

D.    Feinbcrcichsbcugung

E.    Selected a red diffraction

Изображение. с<|н>рмированнос в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками. содержащими нерассеянные в объекте электроны. а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками

Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа


ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

33.    И кнЗражение во вгоричных электронах

D.    Abbildung mil sekundarclclcktrancn

E.    Secondary-Emission mobe

34.    Изображение в отраженных электронах

D.    .Abbildung mil Riickstrcuclektronen

E.    Backscackscattcrcd Electron mode

35.    Изображение в поглощенных электронах

D.    Abbildung mil Probenstftmen

E.    Absorbed specimen current mode

36.    Катодолюминссценгнос нюбражение

D.    Abbildung mit Kathodolumineszcnz

E.    Cathodolumincsccnce mode

37.    Изображение в наведенном электронным юндом токе

D.    Abbildung mit induzicrtcn Proben-strftmcn

E.    Induced current mode

Изображение, сформированное в расгровох» электронном микроскопе с использованием вгоричных электронов ог объекта

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных or объекта электронов

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов. поглощенных объектом

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым обьск-том при воздействии на него электронного зонда


100

Страница 5

ГОСТ 21006-75 С. 5

Буквенное

Термин

Определение

обозначение

38.    Изображение в рентгеновском ха-ракл еристичсском и {лучении

39.    И кюраженне в Оже - электронах

4<). Изображение в нроинмших электронах

41.    Изображение картин каналирования электронов

D.    Abbildung mil Channelling Diagrammcn

E.    Electron Channeling Pattern mode

42.    И зображение при Y-модуляцин

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, ирошедши-х(и сквозь объект

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки


ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке

44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке

45. Изображение в термоэлектронах

46. И зображение в фотоэлектронах

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием гермо-электронов, испускаемых объектом при нагревании Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов. испускаемых объектом под действием оптического излучения


ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

47.    Ускоряющее напряжение электронного микроскопа

V

Д U

Д/

M.

Ускоряющее напряжение

D.    Bcschlcunigungsspannung

E.    Accelerating voltage

48.    Нестабильность напряжения электронного микроскопа

Нестабильность напряжения

49.    Нестабильность тока электронного микроскопа

Нестабильность тока

50.    Электронно-оптическое увеличение электронного мнкроскоиа

D.    Elcktroncnoptischc Vergrftfkrung

E.    Electron optical magnification

51.    Общее увеличение

D.    Gesamtveigrtperung

E.    Total magnification

Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа

Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени

Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени

Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта

Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа


101

Страница 6

С. 6 ГОСТ 21006-75

Термин

Буквенное

Определение

обозначение

52. Разрешающая способность электрон

8

Наименьшее расстояние между двумя деталями

ного микроскопа

объекта, раздельно изображаемыми в электронном

D. Aufliteungsvenndgen

микроскопе

Е. Resolving power

53. Разрешающая способность электрон

Наименьшее межплоскостное расстояние крис

ного микроскопа по кристаллической ре

таллической решетки, плоскости которой изобра

шетке

жаются раздельно в электронном микроскопе

D. NetzebencnabbikJung

Е. Lattice plane resolution

54. Ра (решающая способность элсктрон-

5,

Наименьшее расстояние между двумя микро

иого микроскопа по точкам

частицами объекта, раздельно изображаемыми в

D. PunlUaufltisung

электронном микроскопе

Е. Point resolution

55. Электронная яркость

В

Ток электронною пучка н пределах единичного

D. Richtsrtahlwcrt

телесного угла, приходящийся на единицу плошали

Е. Bright nes

облучаемой поверхности

56. .Апертурный угол формирующей лин

«Ф

Половина угла расхождения траекторий элект

зы

ронов в электронном эондс

57. Апертурный угол объективной лин

«00

Половина угла расхождения траекторий элект

зы электронного микроскопа

ронов, покидающих объект и формирующих изоб

Апертурный угол объективной линзы

ражение

58. .Апертурный угол осветительной си

«ос

Половина утла расхождения траекторий элект

стемы электронного микроскопа

ронов, падающих на объект

Апертурный угол осветительной сис

темы

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ

ВКУ    ю

Зеркало электронное    9

Изображение в наведенной электронном шилом токе    37

Изображение во вторичных электронах    33

Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке    43

Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке    44

Изображение в Оже-электронах    39

Изображение в отраженных электронах    34

Изображение в поглощенных электронах    35

Изображение в прошедших электронах    40

Изображение в рентгеновском характеристическом излучении    38

Изображение в термоэлектронах    45

Изображение в фотоэлектронах    46

Изображение картин каналирования электронов    41

Изображение катололюминссиентное    36

Изображение при >-модуляции    42

Изображение светлопольное    30

Изображение темнопольное    31

Колонна    28

Колонна электронного микроскопа    28

Кондснсор    15

Конденсор двойной    16

Конденсор электронного микроскопа двойной    16

Линза    Н

Линза дифракционная    18

Линза магнитная    12

Линза проекционная    20

Линза промежуточная    19

Линза формирующая    14

Линза электронного микроскопа конленсорная    15

102

Страница 7

Лита электронного микроскопа магнитная

ГОСТ 21006-75 С. 7

12

Лин ta электронного микроскопа объективная

17

Лини электронного микроскопа проекционная

20

Линча электронного микроскопа промежуточная

19

Лита электронного микроскопа электронная

II

Лин ia электронного микроскопа электростатическая

13

J1 инза электростатичсс кая

13

Микродифракция

32

Микропроектор

7

Микроскоп-проектор

7

Микроскоп электронный

1

Микроскоп электронный зеркальный

6

Микроскоп электронный отражательный

4

Микроскоп электронный просвечивающий

2

Микроскоп электронный растровый

3

Микроскоп электронный сканирующий

3

Микроскоп электронный трансмиссионный

2

Микроскоп электронный эмиссионный

5

Наконечник полюсный

27

Наконечник электронного микроскопа полюсный

27

Напряжение ускоряющее

47

Напряжение электронного микроскопа ускоряющее

47

Нестабильность напряжения

48

Нестабильность напряжения электронного микроскопа

48

Нестабильность тока

49

Нестабильность тока электронною микроскопа

49

Объектив

17

Проектив

20

Проектор автоэлектронный

7

Пушка электронная

8

Пушка электронного микроскопа электронная

8

ПЭМ

2

РЭМ

3

Система вакуумная

23

Система отклоняющая

25

Система регистрирующая

21

Система электронного микроскопа вакуумная

23

Система электронною микроскопа отклоняющая

25

Система электронного микроскопа регистрирующая

21

Система электронного микроскопа котировочная

24

Система котировочная

24

Способность электронной) микроскопа по кристаллической решетке разрешающая

53

Способность электронного микроскопа но точкам разрешающая

<4

Способность электронного микроскопа разрешающая

52

Стигматор

26

Увеличение общее

51

Увеличение электронного микроскопа электронно-оптическое

50

Угол объективной линзы апергурный

57

Угол объективной линзы электронного микроскопа апертурный

57

Угол осветительной системы апергурный

58

Угол осветительной системы электронного микроскопа апергурный

58

Угол формирующей линзы апертурный

56

Устройство растрового электронною микроскопа вндсоконтрольное

10

Устройство электронного микроскопа шлюзовое

29

Фотокамера

22

Фотокамера электронного микроскопа

22

Шлюз

29

Яркость электронная

55

103

Страница 8

С. 8 ГОСТ 21006-75

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Abbildung mil Channelling Diagrammcn

Abbildung mit Kathodolumincszcngz

Abbildung mit induzicrtcn Probcnstritmen

Abbildung mit Probenstdmen

Abbildung mit Rttckstreuelektroncn

Abbildung mit sekunddrclelektronen

Ablenksystem

Auflosungsvermogen

Aufnahmckammcr

Besc h 1c u n igu ngsspa n n u ng

Doppclkondensor

Dunkclfeldabbildung

Durchslrahlungs-Elektronenmikroskop

Elektrische Linse

Elektronenlinsc

Elektronenmikroskop

Elektronenoptische VcrgroHcnmg

Elcktroncnspicgcl

Elcktroncnstrahlcr

Emissions-Elektronenmikroskop

Fcinbereichsbeugung

Gesamlvcrgroflerung

Hellieldabbildung

Kondensorlinse

Magnctischc Linsc

Mikroskoprohr

N ct/cbc ncnabbi Id u ng

Objektivtinse

Poise huh

Projcktiv

Punktaufldsung

Rastcrclclektroncnmikroskop

Reflexions-Elcktroncnmikroskop

Richtsrtahlwert

Schlcuse

Spiegelclektroncnmikraskop

Stigmator

Vakuumanlagc

Zwischcnlinsc

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ

Absorbed specimen current mode

Accelerating voltage

Airlock

Backscattcred Electron mode Bright-fiekl image Brightnes

Cathodoluminescencc mode Condenser lens Dark-field image Deflection system Double condenser Electric lens

Electron Channeling Pattern mode

Electron gun

Electron lens

Electron microscopc

Electron mirror

Electron optical magnification

Emission electron microscopc

104

Страница 9

ГОСТ 21006-75 С. 9

Indticcd current mode Intermediate lens Lattice plane resolution Magnetic lens Microscope column Mirror electron microscope Objective lens Photographic chamber Point resolution Pole picse Projector

Reflection electron microscope Resolving power Scanning electron microscope Secondary-Emission mode Selected arcd diffraction Stigmator

Total magnification Transmission electron microscope Vacuum system

51

2

23

105

III -2113

Страница 10

С. 10 ГОСТ 21006-75

ПРИЛОЖЕНИЕ

Справочное

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Поленекие

Термин

1.    Электронно-оптический элемент

2.    Электронно-оптическая система

3.    Осветительная система

4.    И юбражаюшая система

5.    Аберрация

6.    Электронный луч

7.    Электронный пучок

8.    Кроссовер

9.    Электронный зонд

10.    Эмиссионная система

И. Фиктивный катод

Нрк. Мнимый источник

12.    ^’-образный катод

Нрк. Штиькообразный катод

13.    Остроконечный катод Нрк. Точечный катод

Игольчатый катод Острийный катод

14.    Объект исследования Нрк. Препарат

Образец

15.    Столик объектов

16.    Апертурная диафрагма

17.    Селекторная диафрагма

Устройство, предназначенное для формировании электронных пучков или управления ими электрическими и (или) магнитными полями

Совокупность электронно-оптических элементов Часть электронно-оптической системы, предназначенной для формирования электронных пучков, освещающих объект

Часть электронно-оптической системы, формирующая увеличенное изображение объекта или дифракционной картины

Искаженное изображение объекта, возникающее вследствии не-параксиальности и нсмонохроматнчносги электронных пучков, дифракции электронов

Совокупность электронов, движущихся по одной траектории Совокупность электронных лучей, имеющих общую точку Минимальное сечение электронного пучка в эмиссионной системе

Электронный пучок, имеющий минимальное сечение в заданной плоскости

Электронно-оптическая система, предназначенная для формирования электронного пучка и управлении его интенсивностью Мнимое изображение катода, образованное полем, прилетающим непосредственно к катоду

Катод, изгото&ченный из проволоки, согнутой под острым углом. вершина которого является эмиттером

Катод, эмиттер которого имеет заостренный конец

Предмет, исследуемый в электронном микроскопе

Устройство, предназначенное для установки и перемещения объектов

Диафрагма, ограничивающая апертурный угол Диафрагма, ограничивающая участок объекта, с которого получают дифракционную картину


106