Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

51 страница

532.00 ₽

Купить ГОСТ 16153-80 — официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

распространяется на монокристаллический слиток германия, применяемый для производства полупроводниковых приборов и устанавливает требования к монокристаллическому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства

  Скачать PDF

Ограничение срока действия снято: ИУС 9-93

Оглавление

1 Технические требования

2 Правила приемки

3 Методы контроля

4 Упаковка, маркировка, транспортирование и хранение

5 Гарантии изготовителя

Приложение 1 Определение типа электропроводности

Приложение 2 Измерение угла отклонения плоскости торцового среза монокристаллического слитка Германия от заданной кристаллографической плоскости и идентификация кристаллографической ориентации плоскости торцового среза слитка с заданной кристаллографической плоскостью рентгеновским дифрактометрическим методом

Приложение 3 Определение ориентации и отклонения плоскости торцового среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации оптическим методом

Приложение 5 Определение плотности дислокаций на плоскости (111) и суммарной длины малоугловых границ в монокристаллических слитках

Приложение 6 Измерение удельного электрического сопротивления, коэффициента холла для определения типа электропроводности, концентрации и Холловской подвижности основных носителей заряда в монокристаллическом германии

Приложение 7

Приложение 8 Определение плотности дислокаций в слитках монокристаллического германия на плоскости (100)

Показать даты введения Admin

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗ А ССР

ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛОВИЯ

ГОСТ 16153-80

БЗ 9—93


Издание официальное

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ Москва

УДК 669.783—172:006.354    Группа    В5    1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСТ

16153—80

ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

Технические условия

Monocrystalline germanium. Specifications

OKU 17 7441

Дата введения 01.01.81

Настоящий стандарт распространяется на монокристалличес-кий слиток германия, применяемый для производства полупроводниковых приборов и устанавливает требования к монокристалли-ческому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства.

I. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1.    Монокристаллический слиток германия изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта электронного типа электропроводности, легированные сурьмой, и дырочного типа электропроводности, легированные галлием, по технологической документации, утвержденной в установленном порядке.

1.2.    Кристаллографическая ориентация монокристаллического слитка (111).

1.3.    Предельное отклонение плоскости торцового среза монокристаллического слитка германия от плоскости ориентации (III) не должно быть более 2°.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

1.4.    Монокристаллический слиток германия по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения должен соответствовать подгруппам, указанным в табл. 1. 1 2

С. 2 ГОСТ 16153-80

Г а б л и ц а I

Подгруппа по допускаемому относительному отклонению значений удельного э 1ектри ческою сопротивления торцов от номинального значения

Допускаемое относительное отклонение значении уде ль ного электрического соп ротивления торцов or номинатьиого значении % не более

Интервал номинальных значении уде ьного электрического сопро untie ния Ом см

а

±2Г)

б

±20

0,1—45

г

±15

Выбор номинального значения удельного электрического сопротивления монокристаллического слитка проводят в соответствии с ГОСТ 8032-84 по следующим рядам

для удельного электрического сопротивления от 0,1 до 1 Ом-см—0,1, 0,12, 0,15; 0,2; 0,25, 0,31; 0,4, 0,5; 0,63, 0,8, 1 Ом-см;

для удельного электрического сопротивления от 1 до 10 Ом-см— 1,1; 1,40, 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5, 5,6; 7,1; 9 Ом-см;

для удельного электрического сопротивления от 10 до 45 Ом-см — 11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5, 45 Ом-см (Измененная редакция, Изм. № 1).

1 5 Плотность дислокаций и геометрические размеры моно-кристаллических слитков германия должны соответствовать требованиям табл 2

Таблица 2

Подгруппа но плот ности дислокации

Плотность дислока ций см-2 не более или в интервале

Интервал значений диаметров момокрис таллического слитка, мм

Длина монокристал лического слитка мм не менее

1

5-104

2

2 10»—2*104

30—40

60

3

8-103

По требованию потребителя монокристаллические слитки германия ГЭ 9 г1 изготовляют диаметром от 40 до 50 мм

Монокристаллические слитки германия I подгруппы по плотности дислокаций и с плотностью дислокаций 1 -104—2-101 см 2 подгруппы 2 по плотности дислокаций изготовляли до 01 01 91 (Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

1 6 Разница между наибольшим и наименьшим диаметрами каждого монокристаллического слитка не должна быть более 4 мм. 1 7 В монокристаллических слитках германия подгрупп 2 и 3

ГОСТ 16153-80 С 3

должна отсутствовать суммарная длина малоугловых границ дли ной более ‘/в среднего диаметра монокристаллических слитков 1.8 Подвижность основных носителей заряда в монокристал-лических слитках германия в зависимости от удельного электрического сопротивления и типа электропроводности должна соответствовать нормам, указанным в табл 3

Таблица 3

Интервал значений удельнбго электрического сопротив тения

Подвижность основных носителей заряда при температуре 23±2вС см}/В с не менее

электронов

дырок

От

0,1

до

0,23

включ

1800

1300

Св

0,24

0,49

»

2300

1400

»

0,50

>

0.89

>

2600

1500

»

0,9

2,4

»

3100

1600

»

2,5

»

г),9

»

3300

1760

»

6,0

»

15,9

»

3400

1760

>

16,0

»

45,0

*

3600

1760

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.9 Монокристаллический слиток германия не должен иметь внешних дефектов сколов размером более 3 мм, трещин и раковин, а также внутренних раковин и трещин, обнаруживаемых при резке монокристаллического слитка

1.10.    Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация продольной оси монокристаллического слитка, предельное отклонение плоскости среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации (III), подвижность основных носителей заряда, плотность дислокаций для подгруппы 1 и отсутствие внутренних раковин и трещин обеспечиваются технологией изготовления

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.11.    Коды ОКП приведены в приложении 7

(Введен дополнительно, Изм. № 1).

1 12. Монокристаллическис слитки германия, легированные галлием, кристаллографической ориентацией (100) изготовляются с диаметром не менее 20 мм, номинальным значением удельного электрического сопротивления 0,4 и 0,45 Ом-см, с допускаемым относительным отклонением значений удельного электрического сопротивления ±10%, плотностью дислокаций не более 10 см~2, плотностью дефектов недислокационного происхождения не более 10 см-2, длиной монокристаллического слитка 50—120 мм

Норма плотности дефектов недислокационного происхождения

и верхняя длина монокристаллического слитка до 01.01.92 браковочными не являются.

(Введен дополнительно, Изм. № 3).

Примеры условного обозначения

Монокристаллический слиток германия электронного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 14, подгрупп б и 3:

ГЭ 1463 ГОСТ 16153-80

То же, дырочного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 45, подгрупп а и 1:

ГД 45а1 ГОСТ 16153-80

2. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ

2.1.    Монокристаллический германий принимают партиями. Партия должна состоять из одного монокристаллического слитка. Приемо-сдаточным испытаниям подвергают монокристаллический слиток, определяя: тип электропроводности; значение удельного электрического сопротивления; плотность дислокаций; наличие и суммарную длину малоугловых границ для подгрупп 2,3; геометрические размеры и отсутствие внешних дефектов; для германия с кристаллографической ориентацией (100) — плотность дефектов недислокационного происхождения.

Определение плотности дефектов недислокационного происхождения проводят для набора статистических данных.

Периодическим испытаниям по гарантированным параметрам (по п. 1.10) подвергается один монокристаллический слиток, не реже одного раза в квартал.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

2.2.    Каждый монокристаллический слиток германия сопровождается документом о качестве, который должен содержать:

товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;

наименование продукции и ее марки;

номер монокристаллического слитка;

тип электропроводности;

значение электрического удельного сопротивления и его отклонения от выбранного номинального значения;

значение средней плотности дислокаций на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка для подгруппы 2 и на нижнем торце монокристаллического слитка для подгруппы 3;

ГОСТ 16153-80 С. 5

длину и диаметр монокристаллического слитка в миллиметрах;

массу нетто в граммах;

дату изготовления;

штамп технического контроля;

обозначение настоящего стандарта;

штамп органа государственной приемки (для предприятий, в которых введена госприемка).

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

3. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ

3.1.    Проверку германия на монокристалличность проводят визуально без применения увеличительных приборов и без дополнительной обработки монокристаллических слитков.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

3.2.    Тип электропроводности германия определяют на каждом из торцов монокристаллического слитка по методике, приведенной в обязательном приложении 1.

3.3.    Кристаллографическую ориентацию монокристаллических слитков и отклонение плоскости торцевого среза от плоскости ориентации (Ш) определяют но методикам, приведенным в обязательных приложениях 2 и 3.

В случае разногласий в оценке качества определение проводят по рентгеновской методике (приложение 2).

3.4.    Удельное электрическое сопротивление монокристаллического слитка измеряют по ГОСТ 24392-80 на обоих торцах в точках, расположенных — одна в центральной и четыре в периферийной области торцов в соответствии с чертежом. Расположение зондов перпендикулярно радиусу слитка.

Относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения удельного электрического сопротивления рассчитывают по формуле

8Рн =rnax {[рт»~р" ]    100 %; [ pmipn":-'- ] • 100 % } ,

где&рн — относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления от номинального значения;

Ртах» Ртт — максимальное и минимальное значения удельного рений в пяти точках;

электрического сопротивления из результатов изме-рн — номинальное значение удельного электрического сопротивления.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

3.5.    Плотность дислокаций на плоскости (III) и суммарную длину малоугловых границ определяют на нижнем торце монокристал-личсского слитка германия по методике, приведенной в обязательном приложении 5.

Для подгруппы 2 значение средней плотности дислокаций определяют на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 4).

3.6.    Диаметр измеряют на двух концах и в середине монокрис-талличсского слитка с погрешностью не более 0,5 мм, а длину — с погрешностью не более 1 мм мерительным инструментом, обеспечивающим заданную точность измерения.

3.6.1. За диаметр некруглых в поперечном сечении монокрис-таллических слитков принимают среднее арифметическое измерений минимального и максимального габаритных размеров, проходящих через центр сечения монокристаллического слитка перпендикулярно оси его роста.

3.7.    Массу монокристаллического слитка определяют взвешиванием на весах с погрешностью не более ± 1 г.

3.8.    Подвижность основных носителей заряда определяют на двух образцах отрезанных от нижнего и верхнего торцов монокристаллического слитка, по методике, приведенной в обязательном приложении 6.

3.8а. Плотность дислокаций на плоскости (100) в слитках монокристаллического германия определяют по методике, приведенной в приложении 8.

(Введен дополнительно, Изм. № 4).

3.9.    Проверку монокристаллических слитков на отсутствие внешних дефектов проводят без применения увеличительных приборов, не применяя дополнительной обработки монокристаллических слитков.

ГОСТ 16153-80 С. 7

4. УПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ

4.1.    Каждый монокристаллический слиток германия помещают в пакет из полиэтиленовой пленки марки С по ГОСТ 10354-82. В пакет с монокристаллическим слитком вкладывают документ о качестве.

4.2.    Полиэтиленовый пакет заваривают или заклеивают лентой с липким слоем по ГОСТ 20477-86 или аналогичной и упаковывают в картонную или пластмассовую коробку с мягкой прокладкой. Место соединения крышки с коробкой заклеивают полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477-86 или аналогичной, либо крышку с коробкой перевязывают указанной лентой внахлестку.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.3.    На коробку наклеивают этикетку с указанием: товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;

наименования продукции; номера документа о качестве; массы нетто в граммах; даты изготовления; обозначения настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

4.4.    Картонные или пластмассовые коробки упаковывают в деревянные дощатые ящики тина III—1 но ГОСТ 2991-85 или ящики из листовых древесных материалов типа III по ГОСТ 5959-80 и уплотняют прокладкой эластичного пенополиуретана, алигнина по ГОСТ 12923-82 или гофрированного картона по ГОСТ 7376—89.

Масса упаковочного места должна быть не более 50 кг.

В каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с указанием:

товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;

наименования продукции; массы нетто в килограммах;

количества монокристаллических слитков в ящике; даты упаковки;

фамилии и номера упаковщика.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

4.5.    Маркировка ящиков — по ГОСТ 14192-77 с нанесением предупредительных знаков:

«Осторожно, хрупкое»;

«Боится сырости».

С. 8 ГОСТ 16153-80

4.6.    Монокристаллический германий транспортируют железнодорожным транспортом в крытых вагонах мелкими отправками в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.

При перевозке двух и более единиц упаковки продукции проводят пакетирование грузов на плоских универсальных поддонах по ГОСТ 9078-84 при помощи стальной ленты по ГОСТ 3560-73 или проволоки по ГОСТ 3282-74 диаметром не менее 5 мм.

Габаритные размеры и масса пакета нс должны превышать норм, установленных ГОСТ 24597-81.

Допускается транспортирование монокристаллического германия автомобильным и авиационным транспортом в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.

Допускается транспортирование отдельными почтовыми посылками. Масса брутто ящика посылки не должна превышать 10 кг

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.7.    Монокристаллнчсскчс слитки германия должны храниться в упаковке изготовителя, в закрытых складских помещениях.

5. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

5.1.    Изготовитель гарантирует соответствие монокрнсталличес-ких слитков германия требованиям настоящего стандарта при соблюдении условий их хранения.

5.2.    Срок замены материала устанавливается 1 год со дня отгрузки продукции.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

ГОСТ 16153-80 С. 9

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТИПА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ

Тип электропроводности определяют по образующей и торцевой поверхности монокристаллнческого слитка методом термозонда (термеэлектродвиж) щей силы) или методом точечно контактного выпрямления

Метод термозонда (холодного или горячего) рекомендуется для п и р-ти-на германия, удельное электрическое сопротивление которого при комнатной температуре менее 40 Ом-см

Тип электропроводности германия с удельным электрическим сопротивлением выше 40 ОЧ'СМ определяют методом холодного термозонда

Метод точечно-контактного выпрямления рекомендуется для образцов п-н p-типа германия с удельным электрическим сопротивлением выше 1 Ом*см.

Основной метод определения типа электропроводности — метод определения знака коэффициента Холла (см обязательное приложение 6)

По сравнению с основным методом рекомендуемые обладают большей локальностью н могут быть использованы для выявления сбпастей с отличающимися типами электропроводности в пределах одного монокриспаллического слитка Для материалов с электропроводностью, близкой к собственной, рекомендуется использование основного метода определения типа электропроводности по знаку коэффициента Холла.

I. Определение типа электропроводности методом термозонда

11 Сущность метода

Метод заключается в определении полярности термоЭДС, возникающей между нагретой и более холодной областями полупроводника с помощью чувствительного нуль индикатора

Черт 1

Градиент температуры создается локальным нагревом (охлаждением) монокристаллнческого слитка в результате прижима нагретого (охлажденного) зонда 12 Аппаратура

Принципиальная схема для определения типа электропроводности методом горячего (а) и холодного термозонда (б) приведена на черт 1

Зонд, изготовленный из любого токопроводящего материала, рекомендуется использование материалов, нс подверженных коррозии при нагревании или работе во влажной среде (например, никеля) Вторым контактом служит металлическая пластина из меди, свинца или алюминия

3 Зак 1923

1

Издание официальное    Перепечатка    воспрещена

.    ©    Издательство    стандартов,    1980

© Издательство стандартов, 1994 Переиздание с изменениями

2

Зак 1923