Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1 

11 страниц

304.00 ₽

Купить ГОСТ Р 8.863-2013 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения – радиометры ЭУФ излучения, используемые для измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки.

 Скачать PDF

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Операции поверки

4 Средства поверки

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки

8 Подготовка и проведение поверки

9 Обработка результатов измерений

10 Оформление результатов поверки

 
Дата введения01.01.2015
Добавлен в базу01.11.2014
Актуализация01.01.2019

Этот ГОСТ находится в:

Организации:

22.11.2013УтвержденФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии2110-ст
ИзданСтандартинформ2014 г.
РазработанФГУП ВНИИОФИ

State system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm. Verification procedure

Стр. 1
стр. 1
Стр. 2
стр. 2
Стр. 3
стр. 3
Стр. 4
стр. 4
Стр. 5
стр. 5
Стр. 6
стр. 6
Стр. 7
стр. 7
Стр. 8
стр. 8
Стр. 9
стр. 9
Стр. 10
стр. 10
Стр. 11
стр. 11

ГОСТР

8.863—

2013

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫМ

СТАНДАРТ

РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ПОТОКА ИЗЛУЧЕНИЯ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10-30 нм

Методика поверки

Издание официальное

Москва Стан да рти нфор м 2014

Предисловие

1    РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)

2    ВНЕСЕН Техническим комитет по стандартизации ТК 386 «Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии»

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 22 ноября 2013 г. № 2110-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru)

© Стандартинформ, 2014

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

II

Подписано в печать 01.09.2014.    Формат 60x84V8.

Уел. печ. л. 1,40. Тираж 40 экз. Зак. 3284.

Подготовлено на основе электронной версии, предоставленной разработчиком стандарта

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ»

123995 Москва, Гранатный пер., 4. www.gostinfo.ru    info@gostinfo.ru

ГОСТ Р 8.863-2013

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

Средства измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 10 - 30 нм

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements.

Insruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm Verification procedure

Дата введения —2015—01—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового (далее - ЭУФ) излучения - радиометры ЭУФ излучения, используемые для измерений потока излучения (далее - ПЙ) и энергетической освещенности (далее - ЭО) в диапазоне длин волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки .

Радиометры ЭУФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 10 - 30 нм измерения потока излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10"7 Вт, верхняя - не менее 2-10 4 Вт и энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вг/м2, верхняя - не менее 20 Вг/м2.

Межповерочный интервал - один год.

2    Нормативные ссылки

В настоящей методике использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.552 - 2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм.

ГОСТ Р 8.736 - 2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

Примечание-При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

3    Операции поверки

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Издание официальное

Таблица 1

Наименование операции

Номер пункта настоящего стандарта

Проведение операций при поверке

первичной

периодической

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Определение метрологических характеристик

8.3

+

+

Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

8.3.1

+

+

Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин волн 10-30 нм

8.3.2

+

+

Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений потока излучения и энергетической освещенности

8.3.3

+

+

Определение погрешности угловой коррекций чувствительности

8.3.4

+

+

Примечание - Знак «+» означает, что выполнение операций обязательно, знак «-» - не обязательно

4 Средства поверки

При проведении поверки применяются средства, представленные в таблице 2.

Таблица 2

Номер пункта настоящего стандарта

Наименование средства поверки, метрологические характеристики

8.3.1

Установка для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм в составе вторичного эталона ПИ и ЭО ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО): не более 3 %.

8.3.2

Установка для измерений абсолютной чувствительности радиометров ЭУФ излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм в составе вторичного эталона ПИ и ЭО ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО: не более 4 %.

8.3.3

Установка для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров ЭУФ излучения в составе вторичного эталона ПИ и ЭО ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО: не более 5 %.

8.3.4

Установка для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров ЭУФ излучения в составе вторичного эталона ПИ и ЭО ВЭТ 162-3-2003 по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО: не более 5 %.

5    Требования к квалификации поверителей

Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверите-лей, освоившие работу с радиометрами и используемыми средствами поверки, изучившие настоящую методику и эксплуатационную документацию на средства поверки и радиометры ЭУФ излучения.

6    Требования безопасности

При поверке радиометров ЭУФ излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.

7    Условия поверки

При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

2

ГОСТ P 8.863—2013

- температура окружающей среды..........................................................................(20 ± 5)    °С;

- относительная влажность воздуха ....................................................................(65 ± 15)    %;

-    атмосферное давление.......................................................................................(84    -    104)    кПа;

-    напряжение питающей сети.............................................................................(220    ±    4)    В;

-    частота питающей сети....................................................................................(50    ±    1)    Гц.

8 Подготовка и проведение поверки

8.1    Внешний осмотр

При внешнем осмотре должно быть установлено:

-    соответствие комплектности радиометров ЭУФ излучения паспортным данным;

-    отсутствие механических повреждений блоков радиометров ЭУФ излучения, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

-    четкость надписей на панели радиометров ЭУФ излучения;

-    наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров ЭУФ излучения);

-    отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях

радиометров ЭУФ излучения.

8.2    Опробование

При опробовании должно быть установлено:

-    наличие показаний радиометра при освещении ЭУФ излучением;

-    правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров.

8.3    Определение метрологических характеристик

8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

Погрешность спектральной коррекции чувствительности ЭУФ радиометра, вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее - ОСЧ) поверяемого ЭУФ радиометра от стандартной, равной 1 в пределах рабочего спектрального диапазона 10 - 30 нм и 0 вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого ЭУФ радиометра сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника ЭУФ излучения, поверенного в ранге рабочего эталона (далее - РЭ) по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого ЭУФ радиометра проводят с использованием источника синхротронного излучения, монохроматоров скользящего падения, комплекта многослойных фильтров, фотоприемников типов AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм эталонный приемник излучения и поверяемый ЭУФ радиометр поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного приемника излучения Г(^) и поверяемого ЭУФ радиометра 1(Х) регистрируют поочередно пять раз на каждой длине волны с шагом 1 нм в диапазоне 10-30 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр и регистрируют показания эталонного приемника излучения Г(Х) и поверяемого ЭУФ радиометра J(X), соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат i-ro измерения ОСЧ поверяемого ЭУФ радиометра S, (I) рассчитывают по известным значениям ОСЧ S°(^) эталонного приемника излучения и отношению значений измеренных сигналов по формуле

Si 0-) = S (/.) [ 1,0.) - J,(/-)|/| I Д) - J Д)|.    (1)

Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ S(X). Оценку относительного СКО S0 результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле

5

{ Z [S(X)- S,^)]2 }1/2

i=l

So = - .    (2)

S(X)[n(n-l)]1/2

Границу относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ ©о определяют погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке).

Относительное суммарное СКО результатов измерения ОСЧ Ss определяют по формуле

3

Sz =(S02 + ©02/3)1/2 .    (3)

Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ поверяемого ЭУФ радиометра в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм не должно превышать 5 %.

Погрешность спектральной коррекции поверяемого ЭУФ радиометра    в    процентах,

вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности S(l) от стандартной S ст (X), определяют по формуле

30    30

1 Е(Х)- S(X) АХ ■ | Е СЦХ) S ст (X) АХ ю    ю

©, = I- -11-100,    (4)

30    30

J E(3t) SCT (X) АХ |ЕСТ(1) S(X)dX 10    10

где Е(Х) - относительная спектральная плотность энергетической освещенности контрольных источников УФ излучения;

Е(Х) - относительная спектральная плотность энергетической освещенности стандартного источника УФ излучения.

Для определения возможности применения поверяемого радиометра ЭУФ излучения в соответствии с настоящим стандартом установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Значения Е(Х) и Ест(1) приведены в таблицах 3 - 7.

Значение погрешности спектральной коррекции 0, поверяемого радиометра УФ излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 8 %.

Таблица 3 - Значения Е(А,), отн. для стандартного источника синхротронного излучения при энергии 450 МэВ и радиусе орбиты 1,0 м

Длина волны X, нм

ЕСТ(А,)

9,0

1,0

10

0,8114

12

0,5388

14

0,3768

16

0,2744

18

0,2064

20

0,1596

22

0,1260

24

0,1014

26

0,0830

28

0,0688

30

0,0576

31

0,0532

4

ГОСТ P 8.863—2013


Таблица 4 - Значения Е(Я.),отн. для контрольного источника - лазерной плазмы тип I

Длина волны

X, нм

Е(Х)

Длина волны

X, нм

Е (X)

10,0

0,299

20,0

0,007

10,5

0,489

20,5

0,009

11,0

0,161

21,0

0,008

11,5

0,175

21,5

0,008

12,0

0,109

22,0

0,015

12,5

0,095

22,5

0,009

13,0

0,474

23,0

0,015

13,5

1,000

23,5

0,009

14,0

0,832

24,0

0,007

14,5

0,825

24,5

0,011

15,0

0,474

25,0

0,014

15,5

0,336

25,5

0,007

16,0

0,321

26,0

0,014

16,5

0,175

26,5

0,012

17,0

0,086

27,0

0,006

17,5

0,056

27,5

0,013

18,0

0,038

28,0

0,015

18,5

0,025

28,5

0,007

19,0

0,018

29,0

0,011

19,5

0,015

29,5

0,014

30,0

0,009


Таблица 5 - Значения Е( X) отн., для контрольного источника - лазерной плазмы тип II

Длина волны

X, нм

Е(А/), отн.

9

0,220

11

0,288

13

0,920

13,5

1,000

14

0,910

15

0,733

16

0,522

18

0,264

20

0,204

30

0,173


Таблица 6 - Значения Е(Я.),отн. для контрольного источника - лазерной плазмы тип III

Длина волны

X, нм

Е(Х), отн.

Длина волны

X, нм

Е(А/),отн.

10,0

0,009

20,0

0,086

10,5

0,009

20,5

0,084

11,0

0,009

21,0

0,079

11,5

0,010

21,5

0,086

12,0

0,013

22,0

0,083

12,5

0,039

22,5

0,082

13,0

0,106

23,0

0,086

13,5

1,000

23,5

0,079

14,0

0,508

24,0

0,085

14,5

0,267

24,5

0,088

15,0

0,164

25,0

0,082

15,5

0,113

25,5

0,087

16,0

0,132

26,0

0,083

16,5

0,109

26,5

0,085

17,0

0,096

27,0

0,084

17,5

0,094

27,5

0,083

18,0

0,092

28,0

0,086

18,5

0,087

28,5

0,084

19,0

0,074

29,0

0,083

19,5

0,081

29,5

0,085

30,0

0,083


5


Таблица 7 - Значения Е(А,), отн.для контрольного источника - лазерной плазмы тип IV

Длина волны X, нм

I ;(>„), отн.

Длина волны

X, нм

Е(Ц отн.

8,00

0,175

12,25

0,073

8,25

0,226

12,50

0,095

8,50

0,263

12,75

0,153

8,75

0,336

13,00

0,474

9,00

0,584

13,25

0,803

9,25

0,504

13,50

1,000

9,50

0,460

13,75

0,978

9,75

0,474

14,00

0,832

10,00

0,299

14,25

0,788

10,25

0,394

14,50

0,825

10,50

0,489

14,75

0,672

10,75

0,292

15,00

0,474

11,00

0,161

15,25

0,394

11,25

0,146

15,50

0,336

11,50

0,175

15,75

0,285

11,75

0,102

16,00

0,321

12,00

0,109

16,25

0,263

16,50

0,175

8.2.1    Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров ЭУФ излучения в диапазоне длин волн 10-30 нм

Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров в диапазоне длин волн 10-30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонный и поверяемый радиометры для измерения ЭО (ПИ) поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного радиометра Г и поверяемого радиометра I регистрируют поочередно пять. Значение абсолютной чувствительности поверяемого радиометра рассчитывают по формуле

S = S° 1/Г ,    (5)

где S° - значение абсолютной чувствительности эталонного радиометра.

Определяют среднеарифметическое значение абсолютной

чувствительности поверяемого радиометра, СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного радиометра по формулам (1) - (3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности ©2 поверяемого радиометра не должна превышать 8 %.

8.2.2    Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазонов измерений потока излучения и энергетической освещенности

Измерение коэффициента линейности радиометра ЭУФ излучения проводят для определения границ диапазона измерений потока излучения и энергетической освещенности. Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности радиометра от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения, соответствующий нижней границе диапазона измерений ЭО (ПИ), указанной в паспорте поверяемого радиометра и составляющий не более 0,01 Вт/м2 для ЭО и не более 10'1 Вт для ПИ. Увеличивают ток источника в два раза и регистрируют показания поверяемого радиометра 12. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов, CKO Sрезультатов измерений и рассчитывают коэффициент линейности по формуле

К=|1+12Я1|    (6)

Погрешность поверяемого радиометра ©3, вызванную нелинейностью чувствительности радиометра рассчитывают по формуле

©з =100 |К- 1|.    (7)

При определении границ диапазона измерений ЭО (ПИ) поверяемого радиометра ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение ЭО (ПИ) увеличилось на один порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности 03. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого радиометра и составляющей не менее 20 Вт/м2 для ЭО и не менее 2-10"4 Вт для ПИ. По результатам измерений определяют границы диапазона измерений ЭО (ПИ) поверяемого радиометра, в пределах 2

ГОСТ P 8.863—2013

которого значение погрешности @3 не превышает 3 %.

8.2.3 Определение погрешности угловой коррекции чувствительности

Поверяемый радиометр устанавливают на поворотный столик с микрометрическим винтом таким образом, чтобы обеспечить нормальное падение потока излучения на приемник излучения. Регистрируют показания 1(ср) поверяемого радиометра в зависимости от угла падения ф потока излучения в пределах от 0° до 85° с шагом 5°. Показания радиометра для угла ф нормируют на показание радиометра при нормальном падении потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость /(ф) отклонения относительной чувствительности радиометра от функции совф по формуле:

/(ф)=100{1(ф)/[1(ф0)со5ф]-1}.    (8)

Косинусную погрешность поверяемого радиометра 04 рассчитывают по формуле

85°

© 4 = 1 | f (ф) | sin 2ф скр.    (9)

Значение 04 должно быть не более 3 %.

9    Обработка результатов измерений

Обработку результатов измерений характеристик радиометров ЭУФ излучения и предела допускаемой погрешности радиометра при измерении потока излучения и энергетической освещенности проводят в соответствии с ГОСТ Р 8.736.

9.1    Оценку относительного среднего квадратического отклонения S0 результатов измерений для п независимых измерений проводят по формуле (2).

9.2    Границу относительной неисключенной систематической погрешности определяют по формуле:

4

©о=1Д(Е©/ )1/2,    (Ю)

j=i

где ©j - составляющие неисключенной систематической погрешности:

©1 - погрешность спектральной коррекции;

@2 - погрешность определения абсолютной чувствительности;

@з- погрешность, обусловленная отклонением коэффициента линейности от единицы;

@4- погрешность, обусловленная неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности фотоприемника.

9.3    Предел допускаемой погрешности радиометра Д0 рассчитывают по формуле

4

A„ = KSZo = К ( Z 0j2 /3 + S02 )1/2 ,    (11)

j=l

где К - коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической погрешностей.

Если ©о > 8S0, то случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают До = ©о-

9.4    Результаты поверки радиометров ЭУФ излучения считаются положительными, если предел допускаемой погрешности радиометра ЭУФ излучения не превышает 10 %.

10    Оформление результатов поверки

10.1    При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке и радиометр допускают к применению в качестве средства измерений потока излучения и энергетической освещенности ЭУФ излучения.

10.2    При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности. 1

УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354    ОКС    17.020    Т84.10    ОКСТУ    0008

Ключевые слова: экстремальный ультрафиолет, энергетическая освещенность, поток излучения, спектральная чувствительность, средства измерений, радиометр, синхротронное излучение

8

1

2