ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫМ

СТАНДАРТ

РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 10"⁹ ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

Издание официальное

Москва

Стандартинформ

2013

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева») Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

2    ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. № 1094-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ, 2013

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

УДК 531.71:681.787:621.373.826:006.354    ОКС 17.020    Т84.1    ОКСТУ0008

17.040.01

Ключевые слова: поверочная схема, эталон, государственный первичный эталон, средство измерений, лазер, штриховая мера длины, плоскопараллельная концевая мера длины, электронный растровый измерительный микроскоп, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, рельефная мера

Редактор М.В. Гпушкова Технический редактор В.Н. Прусакова Корректор М.И. Першина Компьютерная верстка ИЛ. Налейкиной

Сдано в набор 04.03.2013. Подписано в печать 02.04.2013. Формат 60 х 84^. Гарнитура Ариал. Уел. печ. л. 1,40 + вкп. 0,75. Уч.-изд. л. 1,05 + вкп. 1,12. Тираж 133 экз. Зак. 346.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер., 4. www.gostinfo.ru    info@gostinfo.ru

Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ.

Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва, Лялин пер., 6.

Приложение А    ГОСТ    Р    8.763-2011

(обязательное)

g

Государственная поверочная схема для средств измерении длины в диапазоне от 1 -10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.

Часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн

Приложение Б    ГОСТ    Р    8.763-2011

(обязательное)

Q

Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 -10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.

Часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений

Приложение В    ГОСТ    Р    8.763-2011

(обязательное)

о

Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 -10“ до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.

Часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные

ГОСТ Р 8.763-2011

Содержание

1    Государственный первичный эталон.........................................1

2    Вторичные эталоны...................................................2

2.1    Вторичные эталоны 1-й части..........................................2

2.2    Вторичные эталоны 2-й части..........................................2

2.3    Вторичные эталоны 3-й части..........................................2

2.4    Вторичные эталоны 4-й части..........................................2

3    Рабочие эталоны.....................................................3

3.1    Рабочие эталоны 1-й части............................................3

3.2    Рабочие эталоны 2-й части............................................3

3.3    Рабочие эталоны 3-й части............................................4

3.4    Рабочие эталоны 4-й части............................................5

4    Рабочие средства измерений.............................................5

4.1    Рабочие    средства измерений 1-й части....................................5

4.2    Рабочие    средства измерений 2-й части....................................5

4.3    Рабочие    средства измерений 3-й части....................................5

4.4    Рабочие средства измерений 4-й части....................................6

Приложение А (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины

в диапазоне от 1 • 1СГ⁹ до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 1.

Источники излучений и средства измерений длин волн...................вкп.

Приложение Б (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10“⁹ до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 2.

Меры длины штриховые и измерители перемещений....................вкп.

Приложение В (обязательное) Г осударственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10“⁹ до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 3.

Меры длины концевые плоскопараллельные.........................вкп.

Приложение Г (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10“⁹ до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона 7

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 1 (Г⁹ ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

State system for ensuring the uniformity of measurements.

State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1 ■ 10^-9 to 50 m and wavelength in the range from 0,2 to 50 цт

Дата введения — 2013—01—01

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10^-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее — государственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины — метра (далее — государственный первичный эталон) рабочим средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А. 1 (приложение А)];

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б.1 (приложение Б)];

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В.1 (приложение В)];

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона [рисунок Г. 1 (приложение Г)].

1 Государственный первичный эталон

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:

-    источник эталонного излучения — He-Ne/I₂ лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде — 127;

-    установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;

-    универсальный интерференционный метровый компаратор;

-    лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;

-    лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;

-    гетеродинный интерферометр.

Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадратическим отклонением результата измерений S_Q, не превышающим 5,6 • 10~¹² при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность ©₀ не превышает 2,2 • 10~¹².

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабочим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения.

Издание официальное

2 Вторичные эталоны

2.1    Вторичные эталоны 1 -й части

2.1.1    В качестве вторичных эталонов используют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.

2.1.2    Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях составляют от 1 • 10^-11 до 1 • 10~⁹.

2.1.3    Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим средствам измерений — частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

2.2 Вторичные эталоны 2 части

2.2.1    В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм.

2.2.2    Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S_E результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02 + 0,04L) мкм, где L — длина, м.

2.2.3    Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.

2.2.4    В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

2.2.5    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 составляют от ± (0,03 + 0,1/.)до± (0,05 + 0,1/.) мкм, где L — длина в метрах.

2.2.6    Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.

2.3 Вторичные эталоны 3-й части

2.3.1    В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм йот 100 до 1000 мм.

2.3.2    Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S_E результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01 + 0,04/.) мкм, где L — длина, м.

2.3.3    Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов — интерференционных установок для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравнения, рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.

2.3.4    В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины вдиапазонахот0,1 до 100 мм йот 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.

2.3.5    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 составляют от + (0,02 + 0,1/.) мкм до + (0,05 + 0,1/.) мкм, где/. — длина, м.

2.3.6    Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины методом прямых измерений.

2.4 Вторичные эталоны 4-й части

2.4.1    В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10^-9 до 10~² м.

2.4.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 составляют от + 0,5 до ± 3,0 нм.

2.4.3    Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — микроскопов с лазерным интерферометром и лазерных измерителей перемещений в диапазоне от 10~⁹ до 10~² м методом непосредственного сличения.

ГОСТ Р 8.763-2011

3 Рабочие эталоны

3.1    Рабочие эталоны 1-й части

3.1.1    Рабочие эталоны 1-го разряда

3.1.1.1    В качестве рабочих эталонов 1 -го разряда используют спектральные лампы в диапазоне от 0,4 до 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне от 0,4 до 11 мкм.

3.1.1.2    Доверительные границы относительных погрешностей^ при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 2 • 10^-10 до 1 • 10~⁸.

3.1.1.3    Рабочие эталоны 1-го разряда используют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — спектральных ламп и стандартных образцов спектра поглощения и пропускания, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), методом сличения с помощью компаратора, лазерных спектрометров методом непосредственного сличения измерителей длин волн лазеров непрерывного излучения методом прямых измерений и рабочих средств измерений — частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

3.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.1.2.1    В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.

3.1.2.2    Доверительные границы относительных погрешностей 8^ при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 1 • 10^-8 до 1 • 10“¹.

3.1.2.3    Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, методом сличения с помощью компаратора и методом непосредственного сличения.

3.2 Рабочие эталоны 2-й части

3.2.1    Рабочие эталоны 1 -го разряда

3.2.1.1    В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в диапазоне от 0,001 до 30 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

3.2.1.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от + (0,02 + 0,2L) мкм до ± (1 + 1/.)мкм.

3.2.1.3    Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом прямых измерений и рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений и штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.2.2.1    В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне от 0,001 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 30 м.

3.2.2.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от + (0,2 + 0.5L) мкм до ± (2 + 2L) мкм.

3.2.2.3    Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом непосредственного сличения, рабочих эталонов 4-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток методом непосредственного сличения.

3.2.3    Рабочие эталоны 3-го разряда

3.2.3.1    В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне от 0,1 до 10ОО мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 50 м.

3.2.3.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от + (1 + 5 L) мкм до+ (10 + 10L) мкм.

3.2.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток и землемерных лент методом непосредственного сличения, штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.2.4.1    В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

3.2.4.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют ± (20 + 30L) мкм.

3.2.4.3    Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — складных мер, нивелирных реек, измерительных линеек, лесных вилок методом непосредственного сличения.

3.3    Рабочие эталоны 3-й части

3.3.1    Рабочие эталоны 1 -го разряда

3.3.1.1    В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм, меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 200 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 10ОО и 1200 мм.

3.3.1.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ± (0,02 + 0,2Ц мкм до ± (0,05 + 0,5/.) мкм.

3.3.1.3    Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — установок для поверки измерительных головок, установок для поверки измерительных преобразователей, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, контактных интерферометров методом прямых измерений.

3.3.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.3.2.1    В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют установки для поверки измерительных головок в диапазоне от 0,1 до 25 мм, установки для поверки измерительных преобразователей в диапазоне от 0,005 до 0,2 мм, плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм и меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм.

3.3.2.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ± 0,04 до + 2 мкм.

3.3.2.3    Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец сличением при помощи компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных размеров, преобразователей и приборов автоматизированного контроля методом прямых измерений.

3.3.3    Рабочие эталоны 3-го разряда

3.3.3.1    В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до1000мм,мерывнутреннихдиаметров — измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 500 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от

0,5 до 500 мм.

3.3.3.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 8 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от ± (0,1 + 1/_)до+ (0,2 + 2L) мкм.

3.3.3.3    Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом сличения с помощью компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных размеров, установочных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.3.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.3.4.1 В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 10ОО мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутроме-

4

ГОСТ Р 8.763-2011

ров в диапазоне от 0 до 100 мм, меры внутренних диаметров — измерительные кольца и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм.

3.3.4.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют от + 0,2 мкм до + (0,5 + 5L) мкм.

3.3.4.3    Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины, установочных концевых мер, проволочек, роликов, принадлежностей к концевым мерам (боковиков) методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, штангенинструмента, приборов для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеров методом прямых измерений, установочных колец, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.4 Рабочие эталоны 4-й части

3.4.1    Рабочие эталоны 1 -го разряда

3.4.1.1    В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от 10~⁹ до 10~² м, микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10“⁹ до Ю^-2 м.

3.4.1.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от + 1 до + 10 нм.

3.4.1.3    Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.4.2.1    В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10“⁹до 10~²м.

3.4.2.2    Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от + 3 до + 50 нм.

3.4.2.3    Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

4 Рабочие средства измерений

4.1    Рабочие средства измерений 1-й части

4.1.1    В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения — меры длин волн в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.

4.1.2    Доверительные границы относительных погрешностей 6^ при доверительной вероятности 0,99 частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности составляют от 1 • Ю~¹⁰ до 3 • 10^-8.

4.1.3    Пределы допускаемых относительных погрешностей Д, рабочих средств измерений составляют от± 3 • 10“®до± 1 • 10~².

4.2 Рабочие средства измерений 2-й части

4.2.1    В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в диапазоне от 0,01 до 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 2000 мм, измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне от 0 до 32000 мм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне от 0 до 1000 мм, складные меры и измерительные линейки в диапазоне от 0 до 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне от 0 до 4000 мм, лесные вил ки в диапазоне от 1 до 750 мм, измерительные рулетки длиной до 100 м, землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.

4.2.2    Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А рабочих средств измерений составляют от ± 0,05 мкм до + 14 мм.

4.3 Рабочие средства измерений 3-й части

4.3.1 В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0,2 мкм,

5

приборы для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеры, штангенинструмент в диапазоне от 0 до 2500 мм; установочные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм, преобразователи и приборы автоматизированного контроля, установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы, принадлежности к концевым мерам длины (боковики).

4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А рабочих средств измерений составляют от + 0,02 мкм до + 1 мм.

4.4 Рабочие средства измерений 4-й части

4.4.1    В качестве рабочих средств измерений используют рельефные меры в диапазоне от 10^-9до 10^-2 м, электронные растровые измерительные микроскопы в диапазоне от 10^-9 до 10^-4 м и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10^-9 до 10^-6 м.

4.4.2    Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А рабочих средств измерений составляют от+ 10 до+ 1000 нм.

6

1