Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1 

18 страниц

396.00 ₽

Купить ГОСТ Р 8.644-2008 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628.

 Скачать PDF

Консультация по подбору ГОСТабесплатно

Переиздание (февраль 2010 г.)

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Технические требования

5 Требования к квалификации калибровщиков

6 Требования по обеспечению безопасности

7 Подготовка к процедуре калибровки

8 Процедура проведения измерений

9 Обработка результатов измерений

10 Оценка неопределенности измерений параметров

11 Оформление результатов калибровки

Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха

Библиография

 
Дата введения01.06.2009
Добавлен в базу01.09.2013
Актуализация01.02.2020

Этот ГОСТ находится в:

Организации:

26.08.2008УтвержденФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии186-ст
ИзданСтандартинформ2010 г.
ИзданСтандартинформ2008 г.
РазработанФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
РазработанГосударственное образовательное учреждение высшего професионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет)
РазработанОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума

State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration

Нормативные ссылки:
Стр. 1
стр. 1
Стр. 2
стр. 2
Стр. 3
стр. 3
Стр. 4
стр. 4
Стр. 5
стр. 5
Стр. 6
стр. 6
Стр. 7
стр. 7
Стр. 8
стр. 8
Стр. 9
стр. 9
Стр. 10
стр. 10
Стр. 11
стр. 11
Стр. 12
стр. 12
Стр. 13
стр. 13
Стр. 14
стр. 14
Стр. 15
стр. 15
Стр. 16
стр. 16
Стр. 17
стр. 17
Стр. 18
стр. 18

ГОСТР

8.644-

2008

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ

СТАНДАРТ

РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

Методика калибровки

Издание официальное

Москва

Стандартинформ

2010

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Федеральным государственным учреждением «Российский научный центр «Курчатовский институт» и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»

2    ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Нанотехнологии и наноматериалы»

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 августа 2008 г. № 186-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5    ПЕРЕИЗДАНИЕ. Февраль 2010 г.

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2008 © СТАНДАРТИНФОРМ, 2010

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

ГОСТ Р 8.644-2008

Содержание

1    Область применения............................................1

2    Нормативные ссылки............................................1

3    Термины и определения..........................................2

4    Технические требования..........................................3

5    Требования к квалификации калибровщиков...............................4

6    Требования по обеспечению безопасности...............................4

7    Подготовка к процедуре калибровки...................................4

8    Процедура проведения измерений....................................5

9    Обработка результатов измерений....................................6

10    Оценка неопределенности измерений параметров...........................8

11    Оформление результатов калибровки..................................9

Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха.............10

Библиография................................................13

III

ГОСТ Р 8.644-2008

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ

ЭЛЕМЕНТОВ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements.

Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements.

Methods for calibration

Дата введения — 2009—06—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10~9 до 10-6 м.

Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер.

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общею пользования — на официальном came Федеральною атент-ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на нею. применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 1 апреля 2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

Издание официальное

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по РМГ 29 [1]. а также спедующие термины с соответствующими определениями.

3.1    рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.2    элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

3.3    элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

3.4    геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

3.5    мера физической величины (мера величины): Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью (1).

3.6    рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представляет собой специально обработанный обьект естественною происхождения.

3.7    рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10-6 м.

3.8    рельефная мера нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (рельефная мера): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.

3.9    пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.10    сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение зонда микроскопа над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемещение исследуемого объекта под зондом) с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.11    изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из л строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.

3.12    видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.13    масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффициент): Отношение длины исследуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

3.14    Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.

3.15    неопределенность измерений (неопределенность): Параметр, связанный с результатом измерений и характеризующий рассеяние значений, которые можно приписать измеряемой величине (1).

ГОСТ Р 8.644-2008

3.16    стандартная неопределенность: Неопределенность результата измерений, выраженная в виде среднеквадратического отклонения.

3.17    суммарная стандартная неопределенность: Стандартная неопределенность результата измерений, полученного путем использования значений других величин, равная положительному квадратному корню суммы членов, являющихся дисперсиями или ковариациями этих величин, взвешенными в соответствии с тем, как результат измерений изменяется при изменении этих величин.

4 Технические требования

4.1    Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки

4.1.1    Суммарная стандартная неопределенность измерения высоты выступа калибруемого элемента рельефа должна быть не более 2 нм.

4.1.2    Суммарная стандартная неопределенность измерения ширины верхнего основания выступа калибруемого элемента рельефа должна быть не более 2 нм.

4.1.3    Суммарная стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания выступа калибруемого элемента рельефа должна быть не более 2 нм.

4.1.4    Суммарная стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа калибруемого элемента рельефа должна быть не более 1 нм.

4.2 Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию

4.2.1 Калибровку рельефной меры проводят с помощью:

-    сканирующего зондового атомно-силового микроскопа:

-    двух лазерных двухлучевых интерферометров с источником излучения — гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3- 10-7. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу ДФ между которыми определяют перемещение калибруемого элемента рельефа в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига ДФ— не более 0,002 рад.

ностями не более:

-    температуры окружающей среды..................г    0.2    °С;

-    относительной влажности воздуха.................z    3    %;

-    атмосферного давления.......................±    130    Па.


4 .2.2 В качестве вспомогательного оборудования применяют оптический микроскоп с увеличением не менее 400‘. а также средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погреш

4.2.3    Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

4.3    Требования к условиям проведения калибровки

4.3.1 Калибровку рельефной меры проводят в следующих условиях:

-    температура окружающей среды..................(20=    3)    °С;

-    относительная влажность воздуха.................не    более    80    %;

-    атмосферное давление.......................(100    =    4)    кПа;

-    напряжение питающей сети..................... 220>33    В:

-    частота питающей сети.......................50*10    Гц.

Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания калибровки не должна превышать указанных в приложении А.

4.3.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для калибровки рельефных мер. должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

3

5    Требования к квалификации калибровщиков

Калибровку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [2]. Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с атомно-силовыми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.

Рабочие места калибровщиков должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

6    Требования по обеспечению безопасности

При калибровке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности по (3), (4). требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061. (5]. (6).

7    Подготовка к процедуре калибровки

7.1    Подготовку к процедуре калибровки рельефной меры начинают с проверки документации и внешнего осмотра, в процессе которого должно быть установлено:

-    соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;

-    отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры.

7.2    Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают меру на рабочий стол ACM.

При установке рельефной меры необходимо обеспечить:

-    параллельность плоскости, образованной геометрической формой элемента рельефа меры, направлению горизонтального перемещения рабочего стола ACM;

-    плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM.

7.3    С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности меры должна быть однородной, при этом на примерно 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа

7.4    С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд ACM в положение. соответствующее началу сканирования калибруемого элемента рельефной меры.

Начальное положение определяют следующим образом: зонд ACM устанавливают на плоскость нижнего основания на расстоянии от калибруемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 % ширины нижнего основания выступа калибруемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда ACM при сканировании.

7.5    На неподвижном элементе в камере образцов ACM устанавливают зеркало лазерного интерферометра. предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе ACM —другое зеркало, предназначенное для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр (далее — горизонтальный лазерный интерферометр) располагают вдоль оси. совпадающей с горизонтальным направлением сканирования (далее — ось абсцисс).

Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов ACM. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного (на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера ACM в вертикальном направлении сканирования (далее — ось ординат).

Второй лазерный интерферометр (далее — вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают в соответствии с расположением зеркал.

Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию информативных и опорных лучей в процессе сканирования выступа калибруемого элемента. Для каждого интерферометра в процессе сканирования необходимо также обеспечить взаимную параллельность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера ACM. Допустимый

ГОСТ Р 8.644-2008

угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превышать Т.

Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позволяет в процессе сканирования выступа калибруемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеопрофиля элемента и одновременную регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера с помощью двух лазерных интерферометров.

7.6 В соответствии с инструкцией по эксплуатации ACM проводят пробное сканирование калибруемого элемента рельефа меры.

При этом предварительно:

-    выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкциями по эксплуатации лазерных интерферометров;

-    путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента рельефа;

-    в соответствии с инструкциями по эксплуатации ACM и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования калибруемого элемента, при которой в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;

-    устанавливают показания электронно-фазометрических систем всех лазерных интерферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.

8 Процедура проведения измерений

8.1    Проводят измерения параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 4.3.1.

8.2    В соответствии с инструкциями по эксплуатации ACM и лазерных интерферометров проводят сканирование выступа калибруемого элемента рельефной меры. Одновременное помощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM и вертикального перемещения Z-сканера ACM.

Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда ACM приведены на рисунке 1.

Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, представлен на рисунке 2.

5

Рисунок 2 — Видеопрофиль сечении калибруемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1 (направление сканирования — слева направо)

8.3    По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига ДФГ в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.4    По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига ДФВ в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.5    Проводят измерения параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 4.3.1.

8.6    Результаты измерений параметров рельефной меры по 8.2—8 4, а также указанных на рисунке 2 оформляют в виде протокола. Также в протоколе приводят значения условий проведения калибровки до начала и после окончания измерений по 8.1 и 8.5.

Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки рельефной меры.

9 Обработка результатов измерений

9.1    Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM при сканировании калибруемого элемента

Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола AL. нм. от начального до конечного положения при сканировании выступа элемента рельефа вычисляют по формуле

ДL = Xl ДФГ.

4ял

где — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;

ДФГ — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3, рад;

п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.

9.2    Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс

Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют по формуле

где д/. — перемещение подвижной части рабочего стола ACM при горизонтальном сканировании, вычисленное по 9.1, нм;

L — разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM, вычисленная по видеопрофилю (см. рисунок 2), пиксель.

6

ГОСТ Р 8.644-2008

9.3 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании калибруемого элемента

ДФ8.

Вертикальное перемещение Z-сканера ACM АН. нм. при сканировании выступа элемента рельефа вычисляют по формуле

4 хп

где /.2 — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;

ДФВ — фазовый сдвиг, измеренный по 8.4. рад;

п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.

9.4    Вычисление высоты выступа калибруемого элемента рельефа

Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера АН. вычисленному по 9.3.

9.5    Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основания выступа калибруемого элемента рельефа

При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа 6И используют вспомогательную величину, для вычисления которой;

-    вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на рисунке 2. результат такого вычисления указан на рисунке 3;

-    проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисляют вспомогательную величину Ви в пикселях, которая равна разности соответствующих абсцисс точек, как изображено на рисунке 3.

х

динате х.

Рисунок 3 — Графическое изображение первой производной видеопрофиля по координате о направлении горизонтального перемещения подвижной части стола ACM

9.6    Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа

Ширину верхнего основания выступа Ьи, нм. вычисляют по формуле

6И = тВ„,

где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2, нм/пик-сель;

Ви — вспомогательная величина, вычисленная по 9.5. пиксель.

9.7    Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа

Ширину нижнего основания трапецеидального выступа Ьр. нм. вычисляют по формуле

Ьр = ЬИ+ 1.4142/1,

где Ьи — ширина верхнего основания калибруемого выступа, вычисленная по 9.6, нм; h — высота калибруемого выступа, вычисленная по 9.4. нм.

7