Сертификация: тел. +7 (495) 175-92-77
Стр. 1
 

11 страниц

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629

Введен впервые

Оглавление

1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Библиография

Показать даты введения Admin

Страница 1

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫМ

ГОСТР

8.635-

2007

СТАНДАРТ

РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ

Методика калибровки

Издание официальное

Страница 2

ГОСТ Р 8.635-2007

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сводения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»

2    ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК441 «Нанотехнологии и наноматериалы» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. No 318-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2008

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

Страница 3

ГОСТ Р 8.635-2007

Содержание

1    Область применения............................................1

2    Нормативные ссылки............................................1

3    Термины и определения..........................................2

4    Технические требования..........................................3

5    Требования к квалификации калибровщиков...............................3

6    Требования по обеспечению безопасности...............................3

7    Подготовка к процедуре калибровки...................................3

8    Процедура проведения измерений....................................5

9    Обработка результатов измерений....................................5

10    Оценка неопределенности измерений параметров...........................6

11    Оформление результатов калибровки..................................7

Библиография.................................................8

in

Страница 4

ГОСТ Р 8.635-2007

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes.

Methods for calibration

Дата введения — 2008—08—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется иа сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10'9 до 10~6м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссыпки на спедующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государстеенная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф-ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контропируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИС014644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным)документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

Издание официальное

1

Страница 5

ГОСТ Р 8.635-2007

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

3.1    рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.2    элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная часть рольефа поверхности.

3.3    пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.4    сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование): Построчное перемещение зонда над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.5    изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой а направлении глаза наблюдателя.

3.6    видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.7    масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффициент): Отношение значения длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

3.8    эффективный радиус острия зонда микроскопа (эффективный радиус зонда): Радиус сферы, характеризующей геометричесхие размеры острия зонда микроскопа.

Примечание — Эффективный радиус зонда микроскопа определяют по значению радиуса сферы, вписанной в острие зонда при одновременном касании острия боковой грани выступа и дна канавки рельефной меры по ГОСТ Р 8.629.

3.9    Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканор): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.

3.10    рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств мнкро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный обьект естественного происхождения.

3.11    рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10_6 м.

3.12    элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенной выше прилегающих к нему областей.

3.13    геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

2

Страница 6

ГОСТ Р 8.635-2007

4    Технические требования

4.1    Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки

4.1.1    Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх должна быть не болев 0,01 нм/пиксель.

4.1.2    Суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа тг должна быть не болев 0.01 нм/пиксель.

4.1.3    Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного радиуса острия зонда микроскопа /-должна быть не более 1 нм.

4.1.4    Суммарная стандартная неопредепенность измерения относительного отклонения Z-скане-ра микроскопа от ортогональности Zx должна быть не более 0,05.

4.2 Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию

4.2.1    Калибровку микроскопа проводят с помощью репьефной меры нанометрового диапазона (далее — рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и поверенной по ГОСТ Р 8.629.

4.2.2    В качестве вспомогательного оборудования применяют оптический микроскоп с увеличением не менее 400-.

4.2.3    Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

4.3    Требования к условиям проведения калибровки

4.3.1    Калибровку микроскопа проводят в следующих условиях:

-    температура окружающей среды.....................(20 ± 3) °С;

-    относительная влажность воздуха....................не более 80 %;

* атмосферное давление..........................(100 i 4) кПа;

-    напряжение питающей сети........................ 220 зз В;

-    частота питающей сети........................... 50410 Гц.

4.3.2    Помещение (зона), где размещен микроскоп и средства его капибровки, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИС014644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

5    Требования к квалификации калибровщиков

Калибровку микроскопов должны проводить штатные сотрудники метрологических служб предприятий, аккредитованных в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [1]. Сотрудники должны быть профессионально подготовлены, иметь опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами и знать требования настоящего стандарта. Рабочие места калибровщиков должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

6    Требования по обеспечению безопасности

При проведении калибровки микроскопов необходимо собпюдать правила электробезопасности по [2], [3] и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061. [4), [5].

7    Подготовка к процедуре калибровки

7.1 Подготовку к калибровке микроскопа проводят следующим образом:

-    выбирают необходимую для калибровки микроскопа рельефную меру по 4.2.1, сечение выступа которой приведено на рисунке 1. В качестве исследуемого элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведены значения проекции боковой грани выступа на плоскость

з

Страница 7

4

ГОСТ Р 8.635-2007

а

Рисунок 1 — Сечение исследуемого элемента рельефной меры

-    проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры, на отсутствие механических повреждений;

нижнего основания а, ширины нижнего основания выступа Ьр, высоты выступа h. В зависимости от ожидаемого значения эффективного радиуса зонда микроскопа /-используют рельефную меру, для которой


2 г


-    проводят проверку соответствия комппекта поставки репьефной меры данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;

-    выдерживают выбранный экземпляр рельефной меры в помещении, где будет проведена калибровка микроскопа, не менее 24 ч;

-    извлекают рельефную меру из футляра и осматривают ее для выявления внешних повреждений (царапин, скопов и других дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от частиц пыли струей очищенного и осушенного воздуха.

7.2    Выпопняют операции, необходимые дпя подготовки микроскопа к работе. При этом проводят внешний осмотр микроскопа, в процессе которого должно быть установлено:

-    соответствие комппекта поставки микроскопа данным, приведенным в паспорте (формупяре);

-    отсутствие механических повреждений всех составных частей микроскопа;

-    отсутствие механических повреждений соединитепьных кабепей и сетевых разъемов;

-    наличие маркировки на микроскопе и ее соответствие данным, приведенным в паспорте (формуляре).

7.3    Устанавливают рельефную меру на рабочий стол микроскопа.

7.4    Зонд микроскопа устанавпивают над поверхностью репьефной меры так, чтобы выступ, указанный в паспорте (формупяре) на эту меру в качестве исспедуемого элемента, находился в предепах обпасти сканирования. При выпопнении операции цепесообразно испопьзовать вспомогатепьный оптический микроскоп.

7.5    В соответствии с инструкцией по эксппуатации микроскопа проводят операции, необходимые для приведения его в рабочее состояние (на мониторе микроскопа допжен появиться информативный сигнап).

7.6    Настраивают устройство регистрации видеоизображения таким образом, чтобы чиспо пикселей в направлении сканирования быпо достаточным для того, чтобы можно было пренебречь значением неопредепенности. обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором соответствующих размеров изображения в пикселях и увепичения микроскопа. Выбор увепичения осуще-ствпяют таким образом, чтобы видеопрофиль элемента, изображенного на рисунке 1. имел вид, приведенный на рисунке 2. При этом:

-    ширина нижнего основания видеопрофиля Вр должна быть не менее 0.4 общей длины видеопро-фипя;

-    проекция наклонной стенки видеопрофипя AR и высота выступа по видеопрофипю Н должны быть не менее 200 пикселей.

4

Страница 8

Рисунок 2 — Видеопрофиль (направление сканирования слева направо)

8    Процедура проведения измерений


8.1    В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры и записывают видеоизображение.

Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2, соответствует элементу рельефа, изображенному на рисунке 1.

Значения параметров, указанных на рисунке 2, определяют экспериментально путем обработки полученного видеопрофиля.

8.2    При сканировании исследуемого элемента рельефной меры необходимо, чтобы наклон зонда микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной к направлению перемещения зонда.

Наклон зонда должен быть не более 20°. При соблюдении дополнительного условия ортогональности вертикального перемещения зонда регистрируемая кривая будет симметричной и значение AL будет равно AR.

Примечание — Еспи знамения AL и Ак не равны, то это указывает на неортогональность вертикального перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения 2-сканера калибруемого микроскопа по 9.4.

8.3    Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 2. оформляют в виде протокола калибровки. Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки микроскопа.

9    Обработка результатов измерений

9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа

Масштабный коэффициент видеоизображения микросжопа тх, нм/пиксель, вдоль направления сканирования вычисляют по формуле

где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формупяре) на рельефную меру, нм;

Ar — значение проекции наклонной стенки рельефной меры, измеренное по видеопрофилю, пиксель.

Примечание — При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение проекции наклонной стенки Ак, соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значение при выполнении условия по 8.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.

9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа

Эффективный радиус острия зонда микроскопа г, нм. вычисляют по формуле

/•=0.966 (тхВрр),

где тх — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель; Вр — ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

Ьр — ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру. нм.

5

Страница 9

ГОСТ Р 8.635-2007

9.3    Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа

Цену деления вертикальной шкалы микроскопа mz, нм/пиксель, вычисляют по формуле

тхш±.

2 н

где h — высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

9.4    Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности

Если значение AL не равно Ар в пределах заданной точности измерений, то относительное отклонение Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования Z„ (безразмерная величина) вычисляют по формуле

7 = т A£l ~ ar ) х 2Нтг

где тх — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1. нм/пиксель; Al Ar — проекции наклонных стенок рельефной меры, измеренные по видеопрофилю в направлении сканирования слева направо, пиксели;

Н— высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель; тг — цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3. нм/пиксель.

10 Оценка неопределенности измерений параметров

10.1 Суммарную стандартную неопределенность исх), нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх вычисляют по формуле

где тх — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1. нм/пиксель; и[а) — стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

а — проекция наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

и{Ай) — стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа рельефной меры Ай, пиксель;

Ar — проекция наклонной стенки выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

Примечание — Если а паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление и(з) осуществляют по (6). При равномерном квантовании видеосигнала значение и(Дя) принимают равным 0.5 пиксель.

10.2 Суммарную стандартную неопределенность ис(т,), нм, измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа т7 вычисляют по формуле

где тх — цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель;

u(h) — стандартная неопределенность измерения высоты выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм: h — высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм; и{Н) — стандартная неопределенность измерения высоты выступа рельефной меры по видеопро-фипю, пиксель;

Н— высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

Примечание — Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсопютная погрешность измерения высоты выступа, то вычисление и (Л) осуществляют по (6]. При равномерном квантовании видеосигнала значение о(Н) принимают равным 0.5 пиксель.

6

Страница 10

ГОСТ Р 8.635-2007

10.3    Суммарную стандартную неопределенность ис(г), нм. измерения эффективного радиуса острия зонда микроскопа г вычисляют по формуле

ис(г) = 0.996,jui(mx )В* + и20 ) + и2р ),

где исх) — суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения, вычисленная по 10.1, нм/пиксель;

Вр — ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофипю. пиксель:

и(В^) — стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания Вр по видеопрофилю, пиксепь;

и(Ьр) — стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру. нм.

Примечание — Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения ширины нижнего основания выступа, то вычисление и(Ьр) осуществляют по {6J. При равномерном квантовании видеосигнала значение и(Вр) принимают равным 0.5 пиксель.

10.4    Суммарную стандартную неопределенность ufZJ относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогонапьности вычисляют по формуле

проекции наклонных стенок выступа рельефной меры, измеренные по видеопрофипю в направлении слева направо, пиксели;

где Al. Ай — Ие(Я»*)“ тх-u(Al), u(Ar) — Н —

суммарная стандартная неопредепенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа, вычисленная по 10.1. нм/пиксель; масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1. нм/пик-сепь:

стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа рельефной меры по видеопрофипю. пиксели;

высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофипю. пиксель; цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3. нм/пиксель; относительное отклонение Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования, вычисленное по 9.4, (безразмерная величина); стандартная неопределенность измерения высоты выступа рельефной меры по видеопрофилю. пиксель;

о(Н)-

"сК)“

суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 10.2, нм/пиксель.

Примечание — При равномерном квантовании видеосигнала значения u(Al), и(Ля). и(Н) принимают равными 0.5 пиксель.

11 Оформление результатов калибровки

11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата о калибровке установленной формы [7] с соответствующей записью в паспорте (формуляре) на микроскоп и удостоверяют калибровочным знаком, наносимым на микроскоп.

11.2В сертификате о калибровке и в паспорте (формуляре) на микроскоп должны быть приведены значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх. цены депения вертикальной шкалы микроскопа тг и относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования Zf, а также значение эффективного радиуса острия зонда г. Для перечисленных метрологических характеристик микроскопа необходимо также указать значения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.

7

Страница 11

ГОСТ Р 8.635-2007

Библиография

[11ПР 50.2.018—95    Государственная    система    обеспечения    единства    измерений. Порядок аккреди

тации метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровочных работ

[2] Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. № 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г.. per. № 4145)

[3JПОТ РМ-016—2001 РД 153.34.0-03.150—00

Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок

Электромагнитные поля в производственных условиях

(4]    Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.4.1191—03

(5]    Санитарно-элидемиологи-ческие правила и нормативы СанПиН 2.2.2/2.4.1340—03

Гигиенические требования к персональным машинам и организации работы

электронно-вычислительным

(6]РМГ    43—2001

Государственная система обеспечения единства измерений. Применение «Руководства по выражению неопределенности измеренийо Государственная система обеспечения единства измерений. Требования к выполнению калибровочных работ

17] ПР 50.2.016—94

УДК 531.711.7.089:006.354    ОКС    17.040.01    Т88.1

Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, методика калибровки

Реда «тор ТА Леонова Технический редактор В.Н. Прусакова Корректор В.И. Варепцова Компьютерная верстка Л. А Круговой

Сдано в набор 03.12.2007. Подписано в печать 16.01.2008. Формат 60 * 84^. Бумага офсетная Гарнитура Ариал. Печать офсетная. Уел. печ. л. 1.40 Уч.-иад. л. 1,00. Тира* 356 эм. Зак. 8.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва. Гранатный пер.. 4 www.gostmio.ruinJo@gostmfo.ru Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ.

Отпечатано а филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер . 6.