ГОСТ Р 71380-2024
Пластины полупроводниковые и диэлектрические. Метод контроля закругленности края

Распространяется на полупроводниковые и диэлектрические пластины, применяемые для изготовления изделий электронной компонентной базы, и устанавливает метод теневой проекции для контроля закругленности края пластин на различных стадиях технологического процесса их изготовления