Сертификация: тел. +7 (495) 175-92-77
Стр. 1
 

10 страниц

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.

Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.

Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ

Введен впервые. Переиздание

Оглавление

1 Общие понятия

2 характеристики технологического микроклимата

3 Средства обеспечения электронной гигиены

4 Производственные здания с чистыми помещениями

5 Зоны чистых помещений и элементы их конструкции

6 Фильтрование и фильтры

7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях

Алфавитный указатель терминов

Показать даты введения Admin

Страница 1

ГОСТ Р 50116-92

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА Термины и определения

Издание официальное

ГОССТАНДАРТ РОССИИ Москва

17-2*

Страница 2

ГОСТ Р 50116-92

Предисловие

1    РАЗРАБОТАН и ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстанддртом

2    УТВЕРЖДЕН и ВВЕДЕН о действие Постановлением Госстандарта России ot06.0S.92 М> 896

3    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4    ПЕРЕИЗДАНИЕ

Настоящий стандарт не может быть полностью иди частично воспроизведен, тиражирован и распространен без разрешения Госстандарта России

II    172

Страница 3

Группа ЭОО

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ Ф Е Д Е РА ЦИ И

ЭЛ ЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА

ГОСТ Р 50116-92

Термины и определения

Microcontamination control. Terms and definitions

ОКС 01.040.31 ОКСТУ 0012

Дата введения 1993—07—01

Настояшнй стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.

Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.

Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.

1    Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой «Ндп1.

2    Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.

Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.

В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.

3    Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие вобьем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.

В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.

4    В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.

5    Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.

6    Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представлен-ные аббревиатурой, — светлым, а синонимы — курсивом.

1 Общие понятия

1.1    электронная гигиена; ЭГ (Ндп. вакуумная гигиена; электронно-вакуумная гигиена; технологическая гигиена; производственная гигиена): Комплекс обязательных требований, норм, средств и мероприятий. направленных на обеспечение заданных параметров технологического микроклимата с целью зашиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий в процессе производства.

1.2    (технологический) микроклимат: Искусственно создаваемые условия воздушной и газовой среды в помещениях и на рабочих местах для зашиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий.

I

1

173

Страница 4

ГОСТ Р 50116-92

Примечание — Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью. избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.

1.3    чистое помещение; ЧП: Помещение, в том числе и производственное, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, в котором конструктивно-строительным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.4    чистое рабочее место; ЧРМ: Рабочее место в чистом помещении, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, на котором конструктивным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.5    класс чистоты помещения (рабочего места) (Ндп.уровень запыленности, уровень чистоты): Характеристика чистого помещения |рабочего места}, определяемая нормами запыленности в них.

1.6    служба электронной пинены: Подразделение. осушестш1яющсе координацию работ по обеспечению и контролю требований электронной гигиены.

1.7    дисциплина в чистом помещении: Элемент технологической дисциплины, регламентирующий соблюдение персоналом чистого помещения требований и правил электронной гигиены, установленных в нормативно-технических документах.

2    Характеристики технологического микроклимата

2.1    (технологическое) загрязнение: Наличие твердых и жидких частиц, примесей газов, а также микроорганизмов. которые могут явиться причиной дефектов в процессе производства.

2.2    источник загрязнения —

2.3    запыленность воздуха |газа| (Ндп. со<кржание частиц, концентрация частиц): Количество частиц в единице объема воздуха |газа|.

П р и м с ч а н и е — При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.

3    Средства обеспечения электронной гигиены

3.1    средства обеспечения электронной гигиены: Комплекс технических средств обеспечения параметров технологического микроклимата, включаюший в себя пылезащитное и пылеулавливающее оборудование. технологическую одежду, технологические принадлежности.

3.2    пылешщлное оборудование: Оборудование, устанавливаемое в чистых помещениях для зашиты изделий, технологического оборудования, оснастки и инструмента от неблагоприятных внешних воздействий, в том числе от загрязнений.

Примечание—К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.

3.3    термоконстантное | термовлагоконстантное! пыле защитное оборудование: Пылезащитное оборудование, в котором с заданной точностью поддерживаются температура |температура и относительная влажность) воздуха.

3.4    чистая комната: Пылезащитное оборудование, представляющее собой замкнутый герметичный объем для размещения технологического оборудования или его рабочей части, оснастки, инструмента, обрабатываемых изделий, персонала н проведения технологических операций.

Примечание — Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.

3.5    пылезащитная (технологическая) тара: Герметичная тара из антистатических материалов, стойких к внешним воздействиям и не выделяющих пыли, предназначенная для зашиты изделий от загрязнений, механических повреждений и статического электричества.

Примечание — Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.

3.6    технологическая одежда: Комплект одежды и обуви, предназначенный для работающих в чистых помещениях и предохраняющий изделия, оборудование, оснастку, инструмент и рабочее место от вносимых работающим загрязнений и статического электричества.

174

2

Страница 5

ГОСТ Р 50116-92

Примечание — В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойства-

3.7 технологические принадлежности: Средства защиты изделий, материалов, оборудования, инструмента и оснастки от попадания загрязнений с рук работающих.

4    Производственные здания с чистыми помещениями

4.1    производственное здание с чистыми помещениями: Здание, в котором обеспечены условия размещения чистых помещений.

4.2    чистая зона (Ндп. гермозона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения чистых производственных помещений, включая зоны их обслуживания.

Примечание — В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.

4.3    сервисная зона (Ндп. подготовите,Ш!ая юна): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений, в которых проводится подготовка технологических сред и материалов, снятие упаковки с оборудования при вводе его в чистые помещения и другие работы технологического обеспечения производства.

4.4    зона инженерно-технического обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями. предназначенная для размещения вентиляционных камер, кондииионеров. станции подготовки воды, компрессорной станции, камеры пылеуборки, трансформаторной подстанции, системы пожаротушения, складов и других инженерных систем.

4.5    зона социально-бытового обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений блока подготовки персонала, комнат отдыха, у борных помещений, медпункта и других вспомогательных помещений.

Примечание — Сервисная зона и зоны инженерно-технического и социально-бытового обслуживания. располагаемые в непосредственной близости к чистой зоне, могут быть не сгруппированы    в    определенной части производственного здания, а распределяться в обьсме чистой и других зон. При    высоких    тех

нологических требованиях указанные зоны могут включать в себя чистые помещения.

5    Зоны чистых помещений и элементы их конструкции

5.1    рабочая зона (чистого помещения): Часть чистого помещения, в которой размещается технологическое оборудование, обрабатываемые изделия, оснастка и инструмент и осуществляется технологический процесс.

5.2    зона оператора: Часть чистого помещения, в которой находятся операторы, включающая проходы к рабочим местам.

Г1 рнмечание — Рабочая зона и зона оператора могут иметь отдельные системы очистки воздуха и соответствовать различным классам чистоты.

5.3    зона обслуживания чистого помещения: Часть чистого помещения, расположенная смежно с чистыми комнатами и предназначенная для их обслуживания.

П р и м с ч а н и с — В зоне обслуживания могут размешаться нерабочие части технологического оборудования, системы подготовки и контроля технологических сред, включая финишные фильтры и другое вспомогательное оборудование.

5.4    техническая зона над |под| чистым помещением: Пространство над |под) чистым помещением, технический этаж или подвал, предназначенные для размещения подводяших и магистральных воздуховодов. газопроводов, систем кондиционирования, инженерных сетей, обслуживающих чистое помещение. а также для отвода воздуха из него.

5.5    фильтровальный потолок (стена): Потолок |стена| чистого помещения, в конструкции которого размещены фильтры тонкой очистки воздуха.

5.6    фильтровальный блок: Элемент фильтровального потолка или стены, состоящий из одного или группы фильтров тонкой очистки с устройством подвода воздуха.

175

3

Страница 6

ГОСТ Р 50116-92

5.7    блок обеспыливания: Автономное устройство, состоящее из воздухонагнетателя и фильтров, предназначенное для создания воздушной среды заданной степени чистоты.

5.8    фальшпол: Пол из сборно-разборных конструкций, не накапливающий пыль и электростатический заряд, предназначенный для отвода воздуха из чистых помещений и укрытия коммуникаций и оборудования.

5.9    шлюз для персонала (Ндп. обдувочиая итозовая камера): Устройство, устанавливаемое перед входом в чистое помещение и предназначенное для снятия струями очищенного воздуха загрязнений с технологической одежды персонала.

5.10    грузовой шлюз (чистого помещения): Устройство, устанавливаемое перед грузовым входом, в чистое помещение и предназначенное для снятия с поступающих грузов загрязнений струей очищенного воздуха.

6 Фильтрование и фильтры

6.1    фильтрация: Самопроизвольное или преднамеренное прохождение жидкости или газа через пористую среду, которое может сопровождаться отделением взвешенных частиц, задерживаемых пористой средой (ГОСТ 16887).

6.2    фильтрование: Преднамеренно осуществляемый процесс фильтрации для разделения жидких неоднородных систем (ГОСТ 16887).

6.3    пылеуловитель: Аппарат для очистки газа от взвешенных частиц (ГОСТ 25199).

6.4    фильтрующий элемент: Часть фильтра, непосредственно осуществляющая фильтрование (ГОСТ 26070).

6.5    сменный фильтрующий элемент: — .

6.6    фильтрующий материал: Материал, предназначенный для изготовления фильтрующих элементов и непосредственного фильтрования жидкосл».

Примечание— Различают следующие разновидности фильтрующих материалов: фильтровальная бумага, металлическая сетка, синтетические и натуральные ткани, пористая пластмасса, порошковый материал и другие (ГОСТ 26070).

6.7    (воздушный) фильтр грубой очистки (Ндп. фи.1ыпр предварительной очистки): Фильтр, предназначенный для очистки от грубодисперсных частиц размером 5 мкм и более, имеющий общую эффективность 50 % — 60 % и устанавливаемый на входе системы очистки воздуха.

6.8    (воздушный) филыр промежуточной очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от частиц промежуточной дисперсности размером 1—5 мкм, имеющий общую эффективность 80 % — 85 % и устанавливаемый после воздушного фильтра грубой очистки.

6.9    (воздушный) фильтр тонкой очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от высокодисперсных частиц размером менее 1 мкм, имеющий общую эффективность - 99,97 % и выше и устанавливаемый после воздушного фильтра промежуточной очистки.

6.10    финишный фильтр (Ндп. доводочный фишпр): Фильтр устанавливаемый непосредственно в точке потребления фильтруемой среды.

6.11    коэффициент эффективности (воздушного) фильтра (Ндп. коэффициент фи,1ьтрации; эффективность очистки; эффективность фильтрации): Отношение разности запыленности воздуха на входе и на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.

Примечания

1    Коэффициент эффективности, выраженный в процентах, называется эффективностью воздушного фильтра.

2    Эффективность воздушного фильтра может определяться по частицам, лежащим в определенных диапазонах размеров. Суммарная эффективность по всем регистрируемым частицам называется обшей.

6.12    коэффициент проскока (воздушного) фильтра: Отношение запыленности воздуха на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.

6.13    перепад давлений на фильтре: Разность давлений на входе и выходе фильтра, под действием которой происходит фильтрование (ГОСТ 26070).

6.14    номинальный перепад давлений на (воздушном) фильтре: Перепад давлений на незагрязненном воздушном фильтре при номинальном расходе воздуха.

176

4

Страница 7

ГОСТ Р 50116-92

6.15    номинальный расход (через воздушный фильтр) (Ндп. производительность воздушного фильтра): Объем или масса фильтруемого воздуха, проходяшего через воздушный фильтр в единицу времени при номинальном перепаде давлений на фильтре.

6.16    пылеемкостъ (воздушного) фильтра: Объемное или весовое количество частиц, осаждение которых на воздушном фильтре повышает перепад давления на нем в заданное число раз при номинальном расходе через воздушный фильтр.

7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях

7.1    контрольиараметров (технологического) микроклимата: — .

7.2    контроль запыленности воздуха: Определение количества частиц установленного размера в единице объема воздуха чистых помещений или чистых рабочих мест.

7.3    отбор проб (при контроле запыленности воздуха): Установление объемов отбираемых проб воздуха, числа и длительности измерений, а также количества и расположения точек в пространстве чистого помещения или чистого рабочего места, в которых следует поместить счетчик частиц при контроле запыленности воздуха.

7.4    аттестация чистых помещений |чистых рабочих мест|: Периодическая комплексная проверка параметров технологического микроклимата в чистых помещениях |на чистых рабочих местах| на соответствие требованиям нормативно-технических документов.

7.5    счетчик частии: Прибор, основанный на различных физических принципах, позволяющий провести подсчет частии в воздухе, а также установить распределение их по размерам.

7.6    оптический счетчик частиц: Светорассеивающий прибор, оснащенный регистрирующим устройством для определения количества частиц и распределения их по размерам.

7.7    лазерный счетчик частиц: Оптический счетчик частиц, использующий лазер в качестве источника излучения.

7.8    конденсационный счетчик частиц: Счетчик частиц, в котором для увеличения чувствительности в воздушную среду аналитической камеры вводятся пересыщенные пары вещества, которые, конденсируясь на частицах, увеличивают размер частиц.

7.9    система контроля (воздушной) среды: Система, состоящая из датчиков запыленности, температуры, относительной влажности, давления и скорости воздушного потока и аппаратуры для обработки и регистрации данных об этих параметрах, позволяющая осуществлять регулярный периодический или непрерывный контроль параметров технологического микроклимата в чистых помещениях.

7.10    контроль запыленности (воздуха) мембранным фильтром: Контроль, основанный на пропускании определенной порции воздуха через мембранный фильтр и подсчете количества и размера частиц, осевших на ней.

7.11    контроль запыленности (воздуха) контрольной пластиной: Определение запыленности воздуха путем подсчета количества и распределения по размерам частиц, осевших на зеркальную пластину, помещенную на определенное время в заданной точке.

7.12    пылеуборка: Совокупность способов и средств удаления загрязнений в чистых помещениях, в том числе осевших частиц.

П р и м с ч а и и е — Пылеуборка подразделяется на сухую, влажную и централизованную вакуумную.

7.13    ввод оборудования (в чистое помещение): Комплекс мероприятий по обеспечению миниматьного внесения загрязнений в чистое помещение при транспортировании в него технологического оборудования. вводимого в действие.

177

5

Страница 8

ГОСТ Р 50116-92

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ

Аттестация чистых помещений

7.4

Апсстаиия чистых рабочих мест

7.4

Блок обеспыливания

5.7

Блок фильтровальный

5.6

Ввод оборудования

7.13

Ввод оборудования в чистое помещение

7.13

Гермоюна

42

Гигиена вакуумная

1.1

Гигиена производственная

1.1

Гигиена технологическая

1.1

Гигиена электронная

1.1

Гигиена электронно-вакуумная

1.1

Дисциплина в чистом помещении

1.7

Загрязнение

2.1

Загря шенне технологическое

2.1

Запыленность воздуха

2J

Запыленность газа

23

Здание с чистыми помещениями производственное

4.1

Зона инженерно-технического обслуживания

4.4

Зона над чистым помещением техническая

5.4

Зона обслуживания чистого помещения

5J

Зона оператора

5 2

Зона подготовительная

4J

Зона под чистым помещением техническая

5.4

Зона рабочая

5.1

Зона сервисная

4J

Зона социально-бытового обслуживания

45

Зона чистая

42

Зона чистого помещения рабочая

5.1

Источник загрязнения

22

Камера шлюювая обдувочная

5.9

Класс чистоты помещения

1.5

Класс чистоты рабочего места

13

Комната чистая

3.4

Контроль запыленности воздуха

7 2

Контроль запыленности воздуха контрольной пластиной

7.11

Контроль запыленности воздуха мембранным фильтром

7.10

Контроль запыленности контрольной пластиной

7.11

Контроль запыленности мембранным фильтром

7.10

Контроль параметров микроклимата

7.1

Контроль параметров технологического микроклимата

7.1

Концентрация частиц

2J

Коэффициент проскока воздушного фильтра

6.12

Коэффициент проскока фильтра

6.12

Коэффициент фильтрации

6.11

Коэффициент эффективности воздушного фильтра

6.11

Коэффициент эффективности фильтра

6.11

Материал фильтрующий

6.6

Место рабочее чистое

1.4

Микроклимат

12

Микроклимат технологический

12

Оборудование пылезащитное

32

Оборудование пылезащитное термовлагоконстантнос

3J

Оборудование пылезащитное термоконстантное

33

Одежда технологическая

3.6

Отбор проб

7_3

Отбор проб при контроле запыленности воздуха

73

Перепал давлений на воздушном фильтре номинальный

6.14

Перепад давлений на фильтре

6.13

Перепад давлений на фильтре номинальный

6.14

6    178

Страница 9

ГОСТ Р 50116-92

Помещение чистое

1.3

Потолок фильтровальный

5.5

Принадлежности технологические

3.7

Производительность воздушного фильтра

6.15

Пылеемкостъ воздушного фильтра

6.16

Пылеемкостъ фильтра

6.16

11ылсуГ>орка

7.12

Пылеуловитель

6.3

Расход номинальный

6.15

Расход через во мушный фнлыр номинальный

6.15

Система контроля воиушной среды

7.9

Система контроля среды

7.9

Служба электронной гигиены

1.6

Содержание частиц

2.3

Средства обеспечения электронной гигиены

3.1

Стена фильтровальная

5.5

Счетчик частиц

7.5

Счетчик частиц конденсационный

7.8

Счетчик частиц лан'рный

7.7

Счетчик частиц оптический

7.6

Тара пылезащитная

3.5

Тара технологическая пылезащитная

3.5

Уровень запыленности

1.5

Уровень чистоты

1.5

Фальшпол

5.8

Фильтрация

6.1

Фильтр грубой очистки

6.7

Фильтр грубой очистки воздушный

6.7

Фильтр доводочный

6.10

Фильтрование

6.2

Фшыпр предварительной очистки

6.7

Фильтр промежуточной очистки

6.8

Фильтр промежуточной очистки воздушный

6.8

Фильтр тонкой очистки

6.9

Фильтр тонкой (ГЧИСТКИ воздушный

6.9

Фильтр финишный

6.10

ЧП

1.3

ЧРМ

1.4

Шлюз грузовой

5.10

Шлюз для персонала

5.9

Шлюз чистого помещения грузовой

5.10

ЭГ

1.1

Элемент фильтрующий

6.4

Элемент фильтрующий сменный

6.5

Эффективность очистки

6.11

Эффективность фильтрации

6.11

179

7

Страница 10

ГОСТ Р 50116-92

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Обозначение НТД, на коюрыи да ка ссылка

Номер пункта

ГОСТ 16887-71

6.1, 6.2

ГОСТ 25199-82

6.3

ГОСТ 26070-83

6.4. 6.6, 6.13

180

8