| ГОСТ 26239.5-84: | Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
|---|
| ГОСТ 26239.7-84: | Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота |
|---|
| ГОСТ 26239.3-84: | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора |
|---|
| ГОСТ 4.64-80: | Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей |
|---|
| ГОСТ 19014.3-73: | Кремний кристаллический. Методы определения кальция |
|---|
| ГОСТ 19014.1-73: | Кремний кристаллический. Методы определения алюминия |
|---|
| ГОСТ 2169-69: | Кремний технический. Технические условия |
|---|
| ГОСТ 26239.2-84: | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора |
|---|
| ГОСТ 26239.0-84: | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа |
|---|
| ГОСТ 26239.8-84: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
|---|
| ГОСТ 19658-81: | Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия |
|---|
| ГОСТ 19014.4-73: | Кремний кристаллический. Методы определения титана |
|---|
| ГОСТ 19014.0-73: | Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа |
|---|
| ГОСТ 26239.1-84: | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
|---|
| ГОСТ 26239.6-84: | Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана |
|---|
| ГОСТ 22622-77: | Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров |
|---|
| ГОСТ 22265-76: | Материалы проводниковые. Термины и определения |
|---|
| ГОСТ 19014.2-73: | Кремний кристаллический. Методы определения железа |
|---|