Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1 

16 страниц

191.00 ₽

Купить ТУ 6-02-1107-77 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Технические условия распространяются на изопропилкарборан, применяемый для легирования полупроводниковых материалов

 Скачать PDF

Оглавление

1 Технические требования

     1.1 Основные свойства

     1.2 Упаковка

     1.3 Маркировка

2 Требования безопасности

3 Правила приемки

4 Методы испытания

5 Транспортирование и хранение

6 Гарантии изготовителя

 
Дата введения15.08.1977
Добавлен в базу01.10.2014
Завершение срока действия01.01.1990
Актуализация01.01.2021

Этот документ находится в:

Организации:

07.05.1977ПринятЦК профсоюза рабочих нефтяной и химической промышленности06-396
Стр. 1
стр. 1
Стр. 2
стр. 2
Стр. 3
стр. 3
Стр. 4
стр. 4
Стр. 5
стр. 5
Стр. 6
стр. 6
Стр. 7
стр. 7
Стр. 8
стр. 8
Стр. 9
стр. 9
Стр. 10
стр. 10
Стр. 11
стр. 11
Стр. 12
стр. 12
Стр. 13
стр. 13
Стр. 14
стр. 14
Стр. 15
стр. 15
Стр. 16
стр. 16

изсп?;пл:;а?Бс?Ай


Согласовало:


т се-091ь

Группа Л-9*


. йХлИ л z - К/г, л ^ ^ sZh

ТУ 6-G2-HC7*??

С issues ТУ 32-1-222-72)

С * ' и

да' да?? г

Срож деаегяя

.да ■ *

да 19-да г

&зрабог&ш>:


1н1. N*noB(i Iflodn. i > damn шм» нЛ ы* шЛ.Н^уВл. floBn и дата


i Эав.оххввон oxpasi груда | Ш дрофсоааа работах вефгяво! ж хашпеево! ирошшаааосга

ы » l3t/qPJ«СороШШ

! * о ? *    0    s'    1977 г


1977


- b^<w«jmnoj

я и*    1977.Г .

•ЛА ОГНЕННЫЙ . vrrEf СТАНДАРТОВ и - *« Шшжпит СССР

-ршртшт « шт&шт а ршшщ .........................

^шшеШямФй ?«г»от|мими .


Настоящие теашиешпв усдовжя распространяются на изопропил-карборан, применяемый для ттротшт нолущшвсщшжояи: материалов,

Изопрошшгврббрен нредсшвляет собой внсоюяшвдв бесцветную прозрачную жидкость.

Эшаричесяая формула %Н18В10

Молекулярная массе 186,3,

I. ТННИЧВСКИВ ТРЕЮБАНИЙ

Изопропвдкарборвя выпускают согласно технодоическому регдамен-ту, утвержденному в установленном портов, Q& должен соответствовать требованиям настоящих технических условий,

I.I* Основное свойства

По ^зико-хамичесим показателям изапрелидк8рборан должен соответствовать требованиям, указанным в таблице.

Наименование показателей    Шрвд

О

1. Внешний вид

Прозрачная беспутная жадность

э

2. Содержание механических примесей

Отсутствие

Ос,

3. Содержание изопропидкврборана,

%t не менее

98,5

«в

4. Суммарное содержвше примесей %$ не более

1,5

•МО

■ It X

5, В' том ноле:

ЭЕ

^3

я аоцроаеявдварборава,%*

не более

1,4

1

О

Е

о

т»

двметвванвлвваД, не более

0,1

з-

с

«а

о

С:

л* Л;~ s*dc**”f *!?гЗп. Jtesm

ТУ 6-Ш-/ /ОТ

*7?

е»

«:

£удз5- ~Жыл&мЫ1г1..г х «13 Тяс; _ 4» Ж

Из опропжлкарбореж Технические условия

ftSr

!—■—«-—ii__

—---—... .......................l..........

5


I

г:

С

I

чгН S

тш шосш »зоороавларбарава в *сябу шртатт 3,5 ш еамаоввсяого р створе втуфвшлтт жжшюгм, ор«мр1тмио дрславотироввшо! в ястбу с ретрорш стешет т 30-13 шцрт в шю воду. Отн тле

«    5    мж    I    ш    «готового    тешт    лгал*ишо шок * 12 |ш

0,Ш2 я рестварэ тошно! пежин. Ощррпмое кожь штшо вдеме-■дают * шш г жшщщрз веду ап п 30 шщт .Лтояе кодом доводят до дат** тяшшт сортом в поем мерянного первмп * ванн л сшивают вояеэаввя шп веское одотвосп подученного рествора фотогсдормиетре Ш, вшьзуясь жшетшш рабочей ляжт 1 cm ш свяа-п светофмьтрап.

Всл раствори пунше, вх отфштрошсвйнт отброс»! первые поров* Измеренве аптвчеежо! шотвоетв подученного растворе проводят ао отаовеяво « вентральной пробе со всею реектадамн без масса мзо~ , проавтрборвва.    |

По подучена»* пожеланиям mam <жтячес*ой плотное та, пользуясь | валбровочно! врио!, неходкт ссщервввп лвиетиаянлва.    I

4.4.4. Обработка результатов

Содержанве даме тале оддиаа ч12) в процентах ресслтывеют по формуле:    л

h

G


.100


щ . 10СЮ

воявчество дрметвдвнвляа, сажерпцееся в мессе взопро-

ввларборвна, иг (находя? по крио!); m - мессе вэопратларбоавв, взятая ва аспытале» мг.

За результат вспытаявя щшттт среднее 8|*|*Ю1Явеское вз двух перахдемых определен*!.

Ввохоадеяве между шшрштжтя опредедеввяш не должно пре-мать 0,05*.


где:


С

«Ъ

3




т

%Ж>т

1м*А*Зг».

Чвёп.


far й»ш~иб?«у?


5. ТРАЛСПСКШРОВАЯКЕ » ШШШ


5# I. Изопрокалжарборан транспортируют а жркшх Щ€шнш* 5.2. Изопрсйшджарборан хранят в закрытом складском помещении вдели т источников тепла. Сошестяое храненае с сшисдитшшм не допускается.


ШМ’юМ- j тт и do mg _ fwm&H0 №W№ \ПоапЯМтй


6. гарантии изготонпзвю

6.1.    Готовая продукция должна бить принята техническим контролем предЕфиятм-идготовятвля,

Изготовитель должен гарантировать соответствие выпускаемого продукта требованиям вастшишж технических условий при соблшеши потребителем условий транспортирования и хранения, установленных настоящими техническими условиям.

6.2.    Гарантийный срок хранения азодропндкарборева в таре изготовите^» в условиях указанных в п.6.2, с момента изготовления -

- 2 года.


-------■; т


1Г б-Ш-ио?-??


11 г т

{ч


С?ГАгУЗаД|1й .УД а-а4йс


УДК

Группа 1-94

Зарегистрировано в З&С '_и_ 1980г.

За Ш ___


ПЩЩАЮ


1Ш2Ц2Ш * I об изменении ТУ 6-02-1107--77 Лзопропилкарборан


Срок введения с О/ 01 ISiOf




согласовано

Главный инженер

предприятия п/я А-3562

письмом

Ы9 - SQS0 Г.Э.Корнильев 4? " дека.Вол. 19?9г.

Зам. руководителя

предприятия п/я В-2836

письмам

>14£- 40649 В.В.Лебедев

Iw.......Ш ./ ожглЕйа..........19Т9г.

Нач. ВПО f,CoD3nnacTnepepa6oT»aw

письмом


л/ ih-Q /246В В. А.Поливанов нw gktjl&ba— 1©?9г.


ГОСУ^Л L ! к ОМИ1^ с    .    О..;


■Ч


РАЗРАШШЮ it не п/я Г-4236


и*/^Г~3***ч jSkrico водителя

А* кУльми"


ML


1гМ.Лар*кв<в 19%.


лаборатории

6*1..Лаптев

iSf£2?^i979r-

Нач. сектора стандартизации ЛЫЁ*-'    И.М.Зубова

* /*“" ^    1979г.


"Давний инженер


В-8097

Селяков


предприятия п/я В

К.,

w    йл*л££*у,<тг.


I


| Литера ; Номер раздела, :    Новая    редакция

) изменения цунхга


| I Титульный лист    Срок    действия    до    01*01.85.


Раздел I пЛ.2,ап1.2Л Упаковка1* дополнить:


{

i

I


Допускается заливать изопропилкарбо- * ран в герметично закрывающиеся банки из белой жести по ГОСТ 20882-75 вместимостью до ВО литров или в герметично закрывающиеся бочки вместимостью 100 - 200 литров из алюминия по ГОСТ 21029-75 или из ' стали по ГОСТ 13950 - 76.

Банки упаковывают в деревянные ящики | по ГОСТ 18573 - 73.    J


нг 'под/i|}/%$/* иЪвггну


Иеопрошикарборан

Извещение > I об

изменении


ТУ 6-02-1107-77


.....Г.....ТТг I &—


I

I


i

I


Литера"" ;    Номер раздала,Т

изменении;    пункта    :


Полая


2 Титульный лист


срок действия до 01,01,90


Заменить по таксту:

ГОСТ 5072-72 на ГОСТ ЫШ-79К ГОЛ* У147 -73 на ГОСТ 9147-ШЕ ГУСТ 10394-72 на ГОСТ 25336-Щ I’OCT 10973-75 на ГОСТ 2533в-Щ ГОСТ 5821-69 на ГОСТ 5621-78 ГОСТ 31Ш-67 на ГОСТ ЗИМ-77 1Т>СТ 5820-Ш на ГОСТ 5820-78 ГОСТ 18573-73 на ГОСТ №73-78




ИТ 1

■ —

1

V

й

ш

/Ыт\

г=;

РЖ±

2ZH

I

, ж ***««.

--1

1 %tm£

——__

Иаопронилкарборан Извещение * 2


Извещение Ш об иэыенемки


ТУ 0-02-1107


2S3S

! А) , :


1.2, Явкам»

1.2.1.    йзосрсшжжжарбореи шш в повивтилеаовые бутыли ш> ГОСТ 17000-71 с нвшнчжвахщвшся 1рнюа в прожладкаш вместимостью

До 5 д.

Таре перед заполнением должна быть сухо! в часто!.

После западнеквя бани плотно закрывают ж пломбкруют пломбой ОТК предщзкя гкя-и з готоввтедя.

1.2.2.    Каиду» постаадяему® партяю яшовровжмжарборвша сопровождают документом, удостоверяющим его качество.

Документ должен содержать:

наименование предприятия-изготовителя хлх его товарный звав;

вавменованне продукта;

номер партна в кодачествс банок в партии;

массу брутто в нетто;

номер настоящих технически условий;

*WDQ n uQQu\    I    f||    butDQ    п    ЩОц\    VQaVeflfifi

результаты проведенных испытаний ш подтверждение о соответствии качества продукта, требованиям настоящих технических условий.

1.3. Мвркяровка

1.3Л. К каждой бутылве прикрепляют ярлык ялв наносят с помощь» трафарета несмываемую водой надпись, содержащую:

наименование предприятия-!зготоввтедя или его товарный знак;

наименование продукта;

номер партии и номер места;

массу брутто и нетто;

дату изготовления;

[з1.

ТЗ 6-ffi- П07-ТТ

номер настоящих технических условий.

М^.\^иСт\Ы*Вокям iflenn. Шдапе)

2. тршвшш шшмтат

Мзопропвлкарборан является веществом умеренно токсичным, взрывобезопасным, горючим.

Предедьно-допустамая концентрация в воздухе рабочей зоны I мг/м3, утвержденная Швздравсм СССР 14,04,71 г, (письмом 267/3-71).

Предельно-допустимая концентрация определяется по штопке адяадкарборанов, утвержденной Шнвдраэом СССР 31.03.76 г,

Прв аонаданнв на кожу изодропидкарборан вызывает дерматиты.

Все работы с продуктом ведут а вытяжном шкафу при наличии приточно-вытяжной вентиляции, обеспечивающей необходимую чистоту в воздухе рабочей зоны.

Температурные пределы воспламенения нижний 105°0, верхний 175°С. Температура самовоспламенения 315°С.

Температура всошия 110°С.

Ы    (ТоУП'УВвЮШ........ Ьш&МёйЛ*     |    Падп    и    дата

Ддя без.паевого ведения технологического процессе получения иаопропилкарборана предусмотрены следующие мероприятия:

производственные помещенва изолированы от других помещений; упревление процессом осуществляется с пультв управления; все соединения ?рубопро£ов и оборудование герметизированы; все аппараты, работающие под давлением, снабжены предохранительными клана наш;

все рабочие помещения оборудованы приточно-вытяжной вентиляцией;

предусмотрены местные локальные отсосы над ашареташ; загрузка и выгрузка промежуточных продуктов осуществляется герметично с помощью съемного устройства, путем оередаадлваншя азотом,

В качестве индивидуальных средств защиты применяют резиновые перчатки, хлопчатобумажную спецодежду.

Средства пожаротушения: песок, ковш, пенный огнетушитель.

По от). Шэям

-JJL

Шт,Шшет№Шчт.

ТУ 6-СВ-#107'Т7

3. ЛРАЗШ. шшт

3.1.    Иршемку изопродилкарборена прсшэвсая? партиям.

Варне! счетаст кодачеотв© изшроиядкарборада да 20 яг., сопровождаемое одним документом о качестве.

3.2.    Пробу продукта отбирают из каждой ашосп (бутыххж).

3.3.    Щ» даздоввюодоевьявх результатах испытания, дан бы

по одному1 из показателей, производя? повторное испытание вновь отобранной в двойном количестве средней пробы, по тем показателям, по которым подучены неудовлетворетельные результаты.

Результата повторного испытания' являются тттттт&т. я ра спростре шдаг ся is даю шргт.

4. ТО ШШТАВШ

4Л. Отбор пробы производят стевданш пробоотборником в сухую

Г чистую банку. Масса средней сробы около 20 г.

На каждую банку наклеиваю? ярлык с обозначениями:

несера партах; наименование продукта; массы брутто а нетто; даты изготовления.

4.2. Определение внешнего вида и механических примесей Внешний вед и наличие механических примесей определяют шзуадь-но, просмотром продукта в проходящем свете в пробирке из прозрачного

бесцветного стекла диаметром 15-20 ш.

4.3. С^редедение содержания изопрошзлкарборана и нзапропениджар-

^ борева.

£    Определение    содержания    изопросилкарборева проводят методом reso

ld—надкостной хродатографии да мещнфгаровадаом хроматографе ЛХМ-8Щ.


ТУ $-0В-НО?'Т7


5 i^Jgmii^gary/w- Wain. Й


4.3.1.    Приборы, посуда » реактивы

Хроматограф 1ХМ-8Щ шля любой другое с детектором so теплопроводности.

Измеритель расхода газа; секундомер по ГОСТ 5072-72; чаша фарфоровая по ГОСТ 9147-73;

стакан киш чески й по ГОСТ 10394-72» вместимость» 100 ад; колонка хрошто1рафнчес1ае (сравнительная a рабочая), длина 2 м, диаметр 3 мы;

мякрошпрнц на 10 тж;

магний хдорнокасдыЯ безводный (анидов) со ТУ 6-09-3380-75; фосфора ошопсь оо ТУ 6-09-4173-76; паша зернением 3-5 мм; хлороформ хч ш да;

хромосорб Р 30/60 мев или хрома трон дг-А и/ , 0,20-0,25 мы;

bwoQ n uQou * ^й»Ы'9Щ    twog    n    uqqu    i/gaurffth

_ появэтмвнгликодьадвтшат по ТУ 8-Ш-Ш178-73;

гелий по ТУ 51-650-74.

4.3.2.    Подготовка я испытанию

Для осуши шза-воситвдя* установленные перед входом в jqpo-ютограф осушительные колонка заполняет одну ангадроиом, другу» пя-тиедисш фосфоре» нанесенной на кусочки пемзы. Для этого в сухую банку вместимость» I ж вносят ревнив по объему количества пемзы и пятиокисв фосфора я встряхивают до однородной мясом,

а) Приготовление сорбента

В форфоровоА чаше взвешивают 20 г носителя - хромосорба Р -или хрома трона н -к W , о погрешностью не более 0,01 г, В хаадчае-ком стакане вместимость» 100 мл взвешивают 3,5 г полиэтиленгликоль-адипината, используемого в качестве аеподанш! фаяв,растворяют в хлороформе» который берут в количестве необходимом для полного емв-_чявашя носителя. Подученный раствор выливают в фарфоровую чату

ТУ 6-Ш- //07'77

=7=4--L-j

'ten.    v m    ШоВп.

ТЫ| до 6СРс а всшряит хлороформ.

проаздсдят в штшшж

фу, соблюдая прежде вроткэоеожареой безопасвосп.

б)    Шашаеяие .хрштетрафмчшюв ммню

Зшвоашевяе .юс арошзизда? so шстружщя» ш^шжтттЛ я щабору.

в)    (Мтвош шш« с сорбевтш

Зжаявепме сорбентом xpoweтографаческае колонки вставляют ш термостат хроматографе а продуваю? сухам газом-носаталем со скоро-стью 100 мя/жж со стутювчатда оовшеат тешературы: пре 100°С -- I час* при ЗОЯ0 - 2 ш, щи 220°С - 3 часе.

4.3,3. Проведение непуганая

Хроматограф* согласно иссушив» ирвсдат в рабочее состоя-ше, В дозатор вставая»? трубочку ляпов 50 ш» яяепяв диметр 1*5 мм, внутренний - 1*0. мя* чтобы не dluo сопршкосномввя продукта с метал-да ческой поверхностью дозатора: в проверяют герметичность прибора, Ус-танавдварт скорость геэе-воевтедя - реашя 70 ш/жж§ тешеретур^ ко-*$ ловок 220°С, температуру дозатора 300°С, ток детектора 120 мА.

^ одновременно включают секундомер в записывают время выхода изопропвл-


После выхода щибора вв реши, о ты саадетедьотвует уетойча-вея аудевая жнея на ленте патентометра, частым откалиброванным

Д.._честве анализов, примере© I раз в две неделя. Показателем смены



f


с


?•


ж,

1

f


O'

I

£


ггровзводят ii0 времени их выхода

нзоародеяиджарборсяа *v 4 иш 10 о

■зоярапшшрборана 5 ш* 30 в

б)    Джопвдь ш»8 < Ж } ж квадратных сантиметрах изопродилкарбо» рввв я изопропешшшрборааа вычисляют со формуле:

5= Л .а, ще: h -высота пика, см;

а -ширина пике, замеренная на середине его высоты» см»

в)    Содержание я зопрошишарборвва (1) в процентах вычисляют

по формуле:    п


n -S, + S*.


J0Q-


гае:


S, -площадь пив азопропидкерборавв, см2;

$1-щющадь mi нзоородеяилварборвяв» см2; п -шала, на которой записывают содержание изонропилкарборана. г) Содержание примеси нзоорооевшврборвна CXj) в процентах

вычисляют воформуле:

*1-


$> лоо


ще:


5t-площадь пива взопропеш1лкарборвва, см2;

$( -площадь ns изоарошмхарборана, см2;

h - ввела, на которой- записывают содержание 1зовропи.ада.рдор.на. Ы результат испытания пришла*» среднюю арифметическую величину из трех параллельных определении.

Расхождение между параллельными одрододеншяш не доджа© превышать 0,1%.

4.4. Определение содержания дшетиланилиш Определение содержания днметиданилина в изопропилкарбораже ос-"ковано ва реажши взаимоде§стжя дшметилваждиш с дназооульфопсло-


~!


[Ж    |поЗп.1Дя«ж


f 8


той с общтттт аэоврасвтеив желт<

Образующаяся оараем наиболее тОшяыт apt pH раствора ровного 5, интенсивность оврасжн аровщракжипюа конпентрешга ди ветла ни дина в адавдарушой пробе»

Интенсивность окраска раствора измерите т фотоишорштре i3iWL 4*4.1, Приборы, носу 8, реактивы фотокодориметр ЯбК-М, с набором кювет и светофильтров; колбы верные во ГОСТ 1770-74, жеспмрсты) 10,25 а ЮОм; мнкробвретка со ГОСТ 20292-74, шесшюстьш 10 т; пипетка градуированная по ГОСТ 1770-64, вместимостью 5 мх; бгоетка по ГОСТ 20292-74, вместимость» 50 ш; кристаллизатор по ГОСТ 10973-54;

кислота сульфаявдовая со ШСТ 5821-69, ЦС-вый раствор в 0,1 н

растворе соляной кислоты, диа вотированная;

диавотирование производя? следующим образом: в верный цилиндр _вместимостью 100 мл берут из расчета на 10 ш ljt-вого солявонвоого ре створа сульфениловой кислоты, I мл I н растворе азотнстонвслого натрия и все тщательно перевешивают. Раствор должен быть свекеприготовленным (пользоваться этим растворов не более б дней).

кислота соляная но ГОСТ 3118-67, концентрированная, 0,1 н раствор; 0,012 н раствор и 3$ спиртовой раствор;

натрий азотвстокислый по ГОСТ 4197-74, 0,1 н раствор (подьзо-_ввться этим раствором не более 5 дней);

спирт этиловый ректификованный по ГОСТ 5913-6?;

кади! уксуснокислый по ГОСТ 5820-68, 0,1 н и спиртовой раствор;

бумага йсдкрахмальная по ТУ 6-09-3409-73,

CJ!

I

л

4,4,2. Построение калибровочной кривой Построение калибровочной кривой производят по стандартному раствору диметиланилияа.

Для приготовления стандартного растворе берут навеску диметид-

т:


р::

ТУ 6-С2- N07*77


tm. poBn. Щвшо)


анилина в количестве 0,12-0,14 г с погрешностью не более 0,0002 г* в растворяет в 1 ки концентрированной соляной полоты в нервов колбе на 250 мд» доводя? объем колбы до метки дистиллированной водой ■ тщательно перемешивают. 50 т полученного раствора переносят в другую мерную колбу на 250 мл, доводят двсталированной водой до метки и тютельно перемешивают. Этим раствором пользуются как етащартнш.

т

f

с

вса

О

с:

В мерные колбы вместимостью 50 мл помещают соответственно 0,5; 1,0; 1,5; 2,0; 2,5; 3,0; 3,5 я т.д. до 6 ил стандартного раствора днметвдавадвяа. Затем в кащую колбу прибавляют 0,012 н раствор соляной кислоты в таком количестве, чтобы весь объем составлял 12 мл и туда те прибавляют 10 мл спиртового раствора соляной кислоты. После этого » кащую колбу вносят по 3,5 мл солянокислого раствора судьфе-ниловой «слоты, предварительно продаозоткровенной и помещают колбы в кристаллизатор с холодной водой на 10-15 «нут* Затем в колбы вносят1 но 5 in I н спиртового раствора уксуснокислого калия и по 12 т 0,012 и раствора соляной кислоты, содеримое колб тщательно перемешивают в оставляют стоять еще 30 мнут в холодной воде. По истечении 30 мнут объем в колбах доводят до метки этиловым спиртам и после энергичного перемешивания снимают показания оптической плотности полученного .раствора на фотоколорнметре ФЭК-М, пользуясь кюветами с рабочей длиной в I см и синим светофильтрами.

•Jt

«Of

Отсчет оптической плотности производят не левом барабане.

ti

I-

?

Й

а:

j:

По полученным показаниям оптической плотноетн строят калибровочную кривую, откладывая: на оси абцисс концентрацию стандартного раствора в мг, на оси ординат - здачеше оптической плотности хокоримет-рируешх растворов*

4.4.3, Проведение испытания.

В сухую, чистую мерную колбу, вместимостью 50 мл взвешивают 0,05-0,30 г иэопроткарбррана с погрешностью не более 0,0002 г и приливают 10 мл спиртового растворе соляной кислоты. После растворе-

г t:5

1 * !

—о.


,1^:?


м ШабП.ЬшаЗ


1Мз-