Изменение № 1 ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Утверждено и введено в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 № 468-ст

Дата введения 2011—04—01

Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: «Федеральное государственное учреждение Российский научный центр «Курчатовский институт*. Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)*;

последний абзац. После слов «на официальном сайте» исключить слово: «национального».

Раздел 1. Первый абзац. Заменить слова: «при измерении» на «для измерения»;

третий абзац исключить.

Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р И СО 14644-2—2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски — *;

дополнить сноской: «* ГОСТ Р ИСО 14644-1 —2000 отменен: с 01.04.2(ХМ действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002*.

Пункт 3.1. Термин изложить в новой редакции: «рельеф поверхности (твердого тела)*.

Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: «элемент рельефа (поверхности)».

Пункт 3.5. Термин изложить в ноной редакции: «мера (физической) величины».

Пункт 3.8. Термин изложить в новой редакции: ‘рельефная мера (нанометрового .диапазона с трапецеидальным профилем элементов)*.

Пункт 3.10. Термин изложить в новой релакиин: «сканирование (элемента исследуемого объекта)*.

Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: «вилеопрофиль (информационного сигнала)».

Пункт 3.13. Термин изложить н ноной рслакиии: «масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа)».

Пункт 3.14. Определение после слов «в процессе сканирования» изложить в новой редакции: «перемешать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемешать исследуемый обьскт под зондом) в вертикальном направлении*.

Пункт 4.1. Таблица 1. Головка таблицы. 'Заменить слово: «пункта» на «подраздела»:

графа «Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики». Исключить слова: «входяший в комплект поставки сканирующего эондового атомно-силового микроскопа»

(2 раза), «входящий в комплект поставки атомно-силовою микроскопа»;

после слов; «с относительной погрешностью нс более 3-10“⁷» дополнить знаком: % (2 раза):

для операции «Определение метрологических характеристик» заменить слово: «сканировании» на «сканирования»:

графу «Обязательность проведения операции при поверке* исключить; примечание к таблице I исключить.

Раздел 5 изложить в новой редакции:

«5 Требования к квалификации поверителей

Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.

Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее — ACM) и лвухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта».

Раздел 6 лопатит ь абзацем:

«Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства*.

Пункт 7.1. Заменить значения: 220!” В на (220 ± 22 > В. 50‘¹⁰ Гц на (50,0 ±0.4) Гц.

Пункт 7.2. Заменить слова: «размещения средств измерений для поверки рельефных мер» на »в котором размешают средства измерений для поверки рельефных мер».

Пункт 8.1.2. Исключить слова: «При лом датжно быть обеспечено плотное прилегание нижней плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM*: дополнить абзацем:

«При установке рельефной меры необходимо обеспечить:

-    плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM;

-    параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочего стола) ACM, а также ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклонной стенкой».

Пункт 8.1.3. После слов «Шаговая структура» заменить слово: «поверхности* на «на поверхности рельефной».

Пункт 8.2.2. Последний абзац. Заменить слово: «Взаимное* на «Такое взаимное».

Пункт 8.2.3. Первый абзац после слов «При этом» дополнить словом: «предварительно»;

з

второй af> I а и после слои «по эксплуатации» лопатить словом: «применяемых»;

третий абзац изложить в новой редакции, дополнить абзацами:

■>- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения ннформатипно-ш луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента рельефа;

-    в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазомегрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами гори зонтального и вертикального интерферометров;

-    устанавливают показания элсктроммо-фазимстричсских систем применяемых лазерных интерферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда испатьзусмых аналого-цифровых преобразователей в указанных элсктронно-фазометричсских системах».

Пункт 8.3.1 изложить в новой редакции:

*8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1».

Пункт 8.3.2. Первый абзац после слов «по эксплуатации* дополнить словом: «применяемых»; после слова «сканирование» долог нить словом: «выступа».

Пункты 8.3.3—8.3.5 изложить в новой редакции:

*8.3.3 По показаниям электронно-фазометричсскои системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига ДФ_; в радианах между информатииз1ым и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.4    По показаниям элсктронно-фазомстричсской системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига ДФ_й в радианах между зшформлтивиым и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.5    Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных а 7.1*.

Пункт 8.4. Заменить слова: по «8.3.2 и 8.3.3» на по «8.3.2—8.3.4»;

второй абзац дополнить словами: «Протокат с результатами поверки датжен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры».

Пункт 9.1 исключить.

Пункт 9.2. Заголовок и первый абзаи после слова «элемента» дополнить словом: *рсльсфа»;

пояснение для параметра A<P_f. Заменить слова: «вычисленный по 9.1» на «намеренный по 8.3.3».

Пункт 9.4 исключить.

Пункт 9.5. Пояснение для параметра Дфд. Заменить слова: «вычисленный но 9.4» на «измеренный по 8.3.4».

Пункт 9.6 исключить.

Пункт 9.7 изложить в новой редакции:

«9.7 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа

Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера дII. вычисленному по 9.5».

Пункт 9.10. Формулу изложить в новой редакции:

«6_р - Ь„+ 1.4142Л».

Пункт 9.11. Формулу изложить в новой редакции:

«о • 0,7071А*.

Пункт 9.12 изложить в новой редакции:

«9.12 Погрешность измерений

При соблюдении условий проведения измерений и использовании средств поверки с метрологическими характеристиками нс хуже указанных в 4.1 абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров поверяемого элемента рельефной меры приведены в таблице 2.

Таблица 2 — Абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров 6и. bf. Лид

Наименование и обозначение линейного рагмера поверяемого элемента рельефной меры Абсолютная погрешность итмерений. нм. не более Ширина верхнею основания трапецеидального выступа, Ьи ±0,8 Ширина нижнего основания трапецеидального выступа. Ьр ± 1,4 Высота трапецеидального выступа. И ±0.3 Проекция наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа, а ±0.3

Пункты 10.1. 10.2 изложить в новой редакции:

«10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.

10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки < поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и оконча-

5