Купить ГОСТ Р 8.640-2008 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее
Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"
Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.
Распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Операции поверки
4 Средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки
8 Подготовка и проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Приложение А (обязательное) Характеристики радиометров УФ-излучения
Библиография
Дата введения | 01.01.2009 |
---|---|
Добавлен в базу | 01.09.2013 |
Актуализация | 01.01.2021 |
26.03.2008 | Утвержден | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии | 60-ст |
---|---|---|---|
Разработан | ФГУП ВНИИОФИ | ||
Издан | Стандартинформ | 2008 г. |
Чтобы бесплатно скачать этот документ в формате PDF, поддержите наш сайт и нажмите кнопку:
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО |
||
НАЦИОНАЛЬНЫЙ |
ГОСТ Р |
Государственная система обеспечения
единства измерений
РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО
ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
В ФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
Москва Стандартинформ 2008 |
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»
Сведения о стандарте
1. РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)
2. ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 марта 2008 г. № 60-ст
4. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
СОДЕРЖАНИЕ
1. Область применения. 2 2. Нормативные ссылки. 2 3. Операции поверки. 3 4. Средства поверки. 3 5. Требования к квалификации поверителей. 4 6. Требования безопасности. 4 7. Условия поверки. 4 8. Подготовка и проведение поверки. 4 9. Обработка результатов измерений. 10 10. Оформление результатов поверки. 11 Приложение А. Характеристики радиометров УФ-излучения. 11 Библиография. 11 |
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ Методика поверки State system for ensuring
the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation
measurements |
Дата введения - 2009-01-01
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения - радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии (далее - радиометры УФ-излучения), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Технологические УФ-излучатели применяют для фотолитографии при создании высоких уровней УФ-освещенности в микро- и наноэлектронике. Средства измерений характеристик УФ-излучения в фотолитографии обеспечивают в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм измерения энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,1 Вт/м2, верхняя - не менее 100 Вт/м2.
Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению [1].
Межповерочный интервал - не более одного года.
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
Наименование операции |
Номер пункта настоящего стандарта |
Проведение операций при поверке |
|
первичной |
периодической |
||
Внешний осмотр |
8.1 |
+ |
+ |
Опробование |
8.2 |
+ |
+ |
Определение метрологических характеристик |
8.3 |
+ |
+ |
Определение погрешности коррекции спектральной чувствительности |
8.3.1 |
+ |
- |
Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм |
8.3.2 |
+ |
+ |
Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической освещенности |
8.3.3 |
+ |
- |
Определение погрешности угловой коррекции чувствительности |
8.3.4 |
+ |
- |
Примечание - Знак «+» означает, что выполнение операций обязательно, знак «-» - необязательно. |
При проведении поверки применяют следующие средства:
- установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,1 мкм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее - РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя источники излучения - лампы типов ДКсШ-120, КГМ-12-100, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные), монохроматоры типов МДР-23, ВМР-2, ДФС-29 (или аналогичные), светофильтр типа БС-2, фотоприемники типов ФПД-1, ФД-288К, AXUV-100 (или аналогичные). Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО) - не более 3 %;
- установку для измерений абсолютной чувствительности радиометров УФ-излучения в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя комплект источников излучения - лампы типов ДРТ-250, ДКсШ-120, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные), многоканальный радиометр УФ-излучения. Относительное суммарное СКО - не более 4 %;
- установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ-излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя набор нейтральных ослабителей, источники излучения - лампы типов ДРШ-250, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные). Относительное суммарное СКО - не более 5 %;
- установку для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров УФ-излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающую в себя гониометр типа ГС-5 (или аналогичный). Относительное суммарное СКО - не более 5 %.
Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с радиометрами и используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационные документы на средства поверки и радиометры УФ-излучения.
При поверке радиометров УФ-излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. При работе с источниками УФ-излучения необходимо использовать средства защиты персонала от УФ-излучения - защитные очки, щитки, перчатки и т.п.
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающего воздуха.................................... (20 ± 5) °C;
- относительная влажность воздуха...................................... (65 ± 15)%;
- атмосферное давление......................................................... от 84 до 104 кПа;
- напряжение питающей сети............................................... (220 ± 4) В;
- частота питающей сети....................................................... (50 ± 1) Гц.
Методика поверки радиометров УФ-излучения включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке радиометров УФ-излучения необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.
8.1. Внешний осмотр
При внешнем осмотре должны быть установлены:
- соответствие комплектности радиометров УФ-излучения паспортным данным;
- отсутствие механических повреждений блоков радиометров УФ-излучения, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;
- четкость надписей на панелях радиометров УФ-излучения;
- наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров УФ-излучения);
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях радиометров УФ-излучения.
8.2. Опробование
При опробовании должны быть установлены:
- наличие показаний радиометра при освещении УФ-излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров УФ-излучения.
8.3. Определение метрологических характеристик
8.3.1. Определение погрешности коррекции спектральной чувствительности
Погрешность радиометров УФ-излучения, обусловленную неидеальной коррекцией спектральной чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее - ОСЧ) поверяемого радиометра от стандартной (приложение А). ОСЧ поверяемого радиометра УФ-излучения сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного радиометра УФ-излучения, поверенного в ранге РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,10 мкм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого радиометра УФ-излучения проводят с использованием источников УФ-излучения - ламп типов ДКсШ-120, КГМ-12-100, ЛД2(Д), ИПИ-47, а также монохроматоров типов МДР-23, ВМР-2, ДФС-29, светофильтра БС-2, фотоприемников типов ФПД-1, ФД-288К и AXUV-100, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552.
При определении погрешности измерений относительной спектральной чувствительности в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,1 мкм эталонный и поверяемый радиометры поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного I°(λ) и поверяемого I(λ) радиометра регистрируют поочередно 5 раз на каждой длине волны с шагом 5 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр типа БС-2 и регистрируют показания эталонного J°(λ) и поверяемого J(λ) радиометра, соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат i-го измерения ОСЧ поверяемого радиометра Si(λ) рассчитывают по известным значениям ОСЧ S°(λ) эталонного радиометра и отношению значений измеренных сигналов по формуле
Si(λ) = S°(λ) [Ii(λ) - Ji(λ)]/[I°i(λ) - J°i(λ)]. (1)
Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ S(λ). Оценку относительного среднего квадратического отклонения So результатов измерений для n независимых измерений определяют по формуле
(2)
Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ Θo определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке).
Относительное суммарное СКО результатов измерений ОСЧ SΣ определяют по формуле
SΣ = (So2 + Θo2/3)1/2. (3)
Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,1 мкм не должно превышать 5 %.
Погрешность спектральной коррекции радиометра Θ1, в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности S(λ) поверяемого радиометра от стандартной Sст(λ), определяют по формуле
(4)
где Е(λ) - относительная спектральная плотность энергетической освещенности контрольных источников УФ-излучения;
Ест(λ) - относительная спектральная плотность энергетической освещенности стандартного источника УФ-излучения.
Для определения возможности применения поверяемого радиометра УФ-излучения в соответствии с настоящим стандартом установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения Е(λ) и Ест(λ) приведены в таблицах 2 - 7. Значение погрешности спектральной коррекции Θ1 радиометра УФ-излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 8 %.
Таблица 2 - Значения Ест(λ) для стандартного источника синхротронного излучения при энергии 50 МэВ и радиусе орбиты 17 мм
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
9,8 |
231 |
70 |
601 |
250 |
36,9 |
10 |
279 |
80 |
471 |
275 |
29,1 |
13 |
680 |
90 |
375 |
300 |
23,5 |
15 |
975 |
100 |
302 |
350 |
15,9 |
18,5 |
1385 |
110 |
249 |
400 |
11,1 |
20 |
1504 |
120 |
206 |
500 |
6,38 |
25 |
1663 |
130 |
173 |
600 |
3,33 |
30 |
1622 |
140 |
146 |
700 |
2,67 |
35 |
1493 |
150 |
124 |
800 |
1,89 |
40 |
1326 |
160 |
106 |
900 |
1,38 |
45 |
1172 |
180 |
81,4 |
1000 |
1,04 |
50 |
1020 |
200 |
63,6 |
1100 |
0,82 |
60 |
7791 |
225 |
47,8 |
|
|
Таблица 3 - Значения Ест(λ) для контрольного источника - ртутной лампы среднего давления
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
Длина волны, нм |
Ест(λ) |
200 |
5,55 · 10-2 |
220 |
1,23 · 10-1 |
240 |
8,64 · 10-2 |
205 |
8,19 · 10-2 |
225 |
1,29 · 10-1 |
245 |
4,87 · 10-2 |
210 |
1,04 · 10-1 |
230 |
1,18 · 10-1 |
250 |
9,05 · 10-2 |
215 |
1,04 · 10-1 |
235 |
1,02 · 10-1 |
255 |
4,42 · 10-1 |
260 |
1,75 · 10-1 |
545 |
7,18 · 10-1 |
830 |
5,19 · 10-3 |
265 |
2,93 · 10-1 |
550 |
5,61 · 10-3 |
835 |
5,22 · 10-3 |
270 |
1,01 · 10-1 |
555 |
5,50 · 10-3 |
840 |
5,25 · 10-3 |
275 |
6,52 · 10-2 |
560 |
5,40 · 10-3 |
845 |
5,28 · 10-3 |
280 |
1,78 · 10-1 |
565 |
5,51 · 10-3 |
850 |
5,31 · 10-3 |
285 |
2,15 · 10-2 |
570 |
6,27 · 10-3 |
855 |
5,33 · 10-3 |
290 |
8,08 · 10-2 |
575 |
9,48 · 10-3 |
860 |
5,36 · 10-3 |
295 |
1,21 · 10-1 |
580 |
7,04 · 10-1 |
865 |
5,38 · 10-3 |
300 |
1,48 · 10-1 |
585 |
5,47 · 10-3 |
870 |
5,41 · 10-3 |
305 |
3,67 · 10-1 |
590 |
5,07 · 10-3 |
875 |
5,43 · 10-3 |
310 |
1,20 · 10-1 |
595 |
5,05 · 10-3 |
880 |
5,45 · 10-3 |
315 |
6,09 · 10-1 |
600 |
5,02 · 10-3 |
885 |
5,48 · 10-3 |
320 |
1,50 · 10-2 |
605 |
4,98 · 10-3 |
890 |
5,52 · 10-3 |
325 |
1,19 · 10-2 |
610 |
4,99 · 10-3 |
895 |
5,55 · 10-3 |
330 |
1,13 · 10-2 |
615 |
4,92 · 10-3 |
900 |
5,58 · 10-3 |
335 |
1,03 · 10-1 |
620 |
4,97 · 10-3 |
905 |
5,62 · 10-3 |
340 |
9,48 · 10-3 |
625 |
4,94 · 10-3 |
910 |
5,65 · 10-3 |
345 |
7,87 · 10-3 |
630 |
4,92 · 10-3 |
915 |
5,70 · 10-3 |
350 |
6,71 · 10-3 |
635 |
4,95 · 10-3 |
920 |
5,72 · 10-3 |
355 |
9,12 · 10-3 |
640 |
4,99 · 10-3 |
925 |
5,76 · 10-3 |
360 |
9,51 · 10-3 |
645 |
5,02 · 10-3 |
930 |
5,79 · 10-3 |
365 |
1,000 |
650 |
5,07 · 10-3 |
935 |
5,82 · 10-3 |
370 |
2,68 · 10-2 |
655 |
5,16 · 10-3 |
940 |
5,84 · 10-3 |
375 |
1,01 · 10-2 |
660 |
5,25 · 10-3 |
945 |
5,87 · 10-3 |
380 |
1,03 · 10-2 |
665 |
5,27 · 10-3 |
950 |
5,89 · 10-3 |
385 |
7,87 · 10-3 |
670 |
6,07 · 10-3 |
955 |
5,92 · 10-3 |
390 |
2,27 · 10-2 |
675 |
5,22 · 10-3 |
960 |
5,96 · 10-3 |
395 |
5,82 · 10-3 |
680 |
5,21 · 10-3 |
965 |
5,98 · 10-3 |
400 |
7,40 · 10-3 |
685 |
5,23 · 10-3 |
970 |
6,01 · 10-3 |
405 |
3,30 · 10-1 |
690 |
5,82 · 10-3 |
975 |
6,04 · 10-3 |
410 |
7,52 · 10-2 |
695 |
5,27 · 10-3 |
980 |
6,05 · 10-3 |
415 |
8,64 · 10-3 |
700 |
5,25 · 10-3 |
985 |
6,05 · 10-3 |
420 |
8,36 · 10-3 |
705 |
5,34 · 10-3 |
990 |
6,07 · 10-3 |
425 |
9,92 · 10-3 |
710 |
7,11 · 10-3 |
995 |
6,08 · 10-3 |
430 |
1,39 · 10-2 |
715 |
5,05 · 10-3 |
1000 |
6,09 · 10-3 |
435 |
6,38 · 10-1 |
720 |
5,01 · 10-3 |
1005 |
6,09 · 10-3 |
440 |
2,37 · 10-2 |
725 |
4,94 · 10-3 |
1010 |
6,23 · 10-3 |
445 |
1,20 · 10-2 |
730 |
4,89 · 10-3 |
1015 |
7,66 · 10-3 |
450 |
7,58 · 10-3 |
735 |
4,90 · 10-3 |
1020 |
6,18 · 10-3 |
455 |
6,42 · 10-3 |
740 |
4,93 · 10-3 |
1025 |
6,09 · 10-3 |
460 |
5,43 · 10-3 |
745 |
4,92 · 10-3 |
1030 |
6,08 · 10-3 |
465 |
5,19 · 10-3 |
750 |
4,94 · 10-3 |
1035 |
6,06 · 10-3 |
470 |
5,57 · 10-3 |
755 |
4,98 · 10-3 |
1040 |
6,04 · 10-3 |
475 |
5,65 · 10-3 |
760 |
4,97 · 10-3 |
1045 |
6,01 · 10-3 |
480 |
5,38 · 10-3 |
765 |
4,99 · 10-3 |
1050 |
5,96 · 10-3 |
485 |
6,13 · 10-3 |
770 |
5,01 · 10-3 |
1055 |
5,93 · 10-3 |
490 |
1,79 · 10-2 |
775 |
5,04 · 10-3 |
1060 |
5,89 · 10-3 |
495 |
7,15 · 10-3 |
780 |
5,05 · 10-3 |
1065 |
5,86 · 10-3 |
500 |
4,26 · 10-3 |
785 |
5,11 · 10-3 |
1070 |
5,82 · 10-3 |
505 |
4,49 · 10-3 |
790 |
5,09 · 10-3 |
1075 |
5,79 · 10-3 |
510 |
4,63 · 10-3 |
795 |
5,11 · 10-3 |
1080 |
5,75 · 10-3 |
515 |
4,70 · 10-3 |
800 |
5,14 · 10-3 |
1085 |
5,72 · 10-3 |
520 |
4,65 · 10-3 |
805 |
5,16 · 10-3 |
1090 |
5,69 · 10-3 |
525 |
4,69 · 10-3 |
810 |
5,16 · 10-3 |
1095 |
5,66 · 10-3 |
530 |
4,74 · 10-3 |
815 |
5,16 · 10-3 |
1100 |
5,69 · 10-3 |
535 |
9,77 · 10-3 |
820 |
5,18 · 10-3 |
|
|
540 |
6,49 · 10-3 |
825 |
5,18 · 10-3 |
|
|
Таблица 4 - Значения Е(λ) для контрольного источника - ртутной лампы с люминофором типа ЛУФ
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
|
280 |
2,07 · 10-6 |
390 |
1,14 · 10-1 |
500 |
3,31 · 10-4 |
|
285 |
1,18 · 10-5 |
395 |
6,99 · 10-2 |
505 |
3,20 · 10-4 |
|
290 |
1,58 · 10-4 |
400 |
4,26 · 10-2 |
510 |
2,94 · 10-4 |
|
295 |
8,78 · 10-4 |
405 |
3,28 · 10-1 |
515 |
3,10 · 10-4 |
|
300 |
1,81 · 10-3 |
410 |
6,31 · 10-2 |
520 |
2,50 · 10-4 |
|
305 |
6,06 · 10-3 |
415 |
9,85 · 10-3 |
525 |
2,67 · 10-4 |
|
310 |
1,86 · 10-2 |
420 |
6,38 · 10-3 |
530 |
2,36 · 10-4 |
|
315 |
6,33 · 10-2 |
425 |
4,11 · 10-3 |
535 |
2,35 · 10-4 |
|
320 |
1,09 · 10-1 |
430 |
2,84 · 10-3 |
540 |
1,92 · 10-4 |
|
325 |
2,23 · 10-1 |
435 |
1,55 · 10-1 |
545 |
3,74 · 10-4 |
|
330 |
3,85 · 10-1 |
440 |
1,83 · 10-3 |
550 |
5,27 · 10-4 |
|
335 |
5,83 · 10-1 |
445 |
1,17 · 10-3 |
555 |
1,51 · 10-4 |
|
340 |
7,57 · 10-1 |
450 |
9,48 · 10-4 |
560 |
1,47 · 10-4 |
|
345 |
9,19 · 10-1 |
455 |
7,95 · 10-4 |
565 |
1,23 · 10-4 |
|
350 |
1,000 |
460 |
6,36 · 10-4 |
570 |
1,13 · 10-4 |
|
355 |
9,75 · 10-1 |
465 |
5,53 · 10-4 |
575 |
9,95 · 10-4 |
|
360 |
8,63 · 10-1 |
470 |
5,09 · 10-4 |
580 |
3,52 · 10-1 |
|
365 |
8,74 · 10-1 |
475 |
4,63 · 10-4 |
585 |
1,49 · 10-4 |
|
370 |
5,58 · 10-1 |
480 |
4,24 · 10-4 |
590 |
8,67 · 10-5 |
|
375 |
3,98 · 10-1 |
485 |
3,92 · 10-4 |
595 |
7,24 · 10-6 |
|
380 |
2,70 · 10-1 |
490 |
2,67 · 10-3 |
600 |
6,96 · 10-6 |
|
385 |
1,78 · 10-1 |
495 |
3,61 · 10-4 |
|
|
|
Таблица 5 - Значения Е(λ) для контрольного источника - ксеноновой лазерной плазмы
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
9 |
1,00 |
60 |
0,14 |
11 |
1,44 |
80 |
0,074 |
13 |
5,62 |
100 |
0,035 |
13,5 |
6,40 |
200 |
1,60 · 10-2 |
14 |
5,84 |
300 |
1,03 · 10-2 |
15 |
3,80 |
400 |
5,90 · 10-3 |
16 |
2,61 |
500 |
3,48 · 10-3 |
18 |
1,32 |
600 |
2,64 · 10-3 |
20 |
1,02 |
800 |
6,05 · 10-3 |
30 |
0,87 |
1000 |
2,02 · 10-3 |
40 |
0,59 |
1100 |
3,23 · 10-4 |
50 |
0,21 |
|
|
Таблица 6 - Значения Е(λ) для контрольного источника - ксеноновой лампы высокого давления
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
200 |
8,03 · 10-4 |
270 |
2,98 · 10-1 |
340 |
6,74 · 10-1 |
205 |
6,22 · 10-3 |
275 |
3,16 · 10-1 |
345 |
7,01 · 10-1 |
210 |
2,30 · 10-2 |
280 |
3,35 · 10-1 |
350 |
7,30 · 10-1 |
215 |
4,15 · 10-2 |
285 |
3,59 · 10-1 |
355 |
7,63 · 10-1 |
220 |
9,01 · 10-2 |
290 |
3,78 · 10-1 |
360 |
7,98 · 10-1 |
225 |
1,20 · 10-1 |
295 |
3,99 · 10-1 |
365 |
8,33 · 10-1 |
230 |
1,68 · 10-1 |
300 |
4,13 · 10-1 |
370 |
8,70 · 10-1 |
235 |
1,75 · 10-1 |
305 |
4,49 · 10-1 |
375 |
8,76 · 10-1 |
240 |
1,83 · 10-1 |
310 |
4,88 · 10-1 |
380 |
8,82 · 10-1 |
245 |
1,99 · 10-1 |
315 |
5,22 · 10-1 |
385 |
9,07 · 10-1 |
250 |
2,17 · 10-1 |
320 |
5,59 · 10-1 |
390 |
9,32 · 10-1 |
255 |
2,38 · 10-1 |
325 |
5,86 · 10-1 |
395 |
1,000 |
260 |
2,61 · 10-1 |
330 |
6,15 · 10-1 |
400 |
8,08 · 10-1 |
265 |
2,79 · 10-1 |
335 |
6,44 · 10-1 |
|
|
Таблица 7 - Значения Е(λ) для контрольного источника типа А
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
Длина волны, нм |
Е(λ) |
270 |
7,83 · 10-4 |
550 |
3,46 · 10-1 |
830 |
9,45 · 10-1 |
275 |
1,03 · 10-3 |
555 |
3,59 · 10-1 |
835 |
9,50 · 10-1 |
280 |
1,33 · 10-3 |
560 |
3,72 · 10-1 |
840 |
9,54 · 10-1 |
285 |
1,68 · 10-3 |
565 |
3,86 · 10-1 |
845 |
9,59 · 10-1 |
290 |
2,09 · 10-3 |
570 |
3,99 · 10-1 |
850 |
9,63 · 10-1 |
295 |
2,57 · 10-3 |
575 |
4,12 · 10-1 |
855 |
9,67 · 10-1 |
300 |
3,13 · 10-3 |
580 |
4,26 · 10-1 |
860 |
9,70 · 10-1 |
305 |
3,75 · 10-3 |
585 |
4,39 · 10-1 |
865 |
9,74 · 10-1 |
310 |
4,49 · 10-3 |
590 |
4,52 · 10-1 |
870 |
9,77 · 10-1 |
315 |
5,37 · 10-3 |
595 |
4,66 · 10-1 |
875 |
9,80 · 10-1 |
320 |
6,38 · 10-3 |
600 |
4,79 · 10-1 |
880 |
9,82 · 10-1 |
325 |
7,55 · 10-3 |
605 |
4,93 · 10-1 |
885 |
9,85 · 10-1 |
330 |
8,94 · 10-3 |
610 |
5,07 · 10-1 |
890 |
9,87 · 10-1 |
335 |
1,04 · 10-2 |
615 |
5,21 · 10-1 |
895 |
9,89 · 10-1 |
340 |
1,21 · 10-2 |
620 |
5,34 · 10-1 |
900 |
9,91 · 10-1 |
345 |
1,42 · 10-2 |
625 |
5,48 · 10-1 |
905 |
9,93 · 10-1 |
350 |
1,62 · 10-2 |
630 |
5,61 · 10-1 |
910 |
9,95 · 10-1 |
355 |
1,85 · 10-2 |
635 |
5,75 · 10-1 |
915 |
9,96 · 10-1 |
360 |
2,12 · 10-2 |
640 |
5,88 · 10-1 |
920 |
9,97 · 10-1 |
365 |
2,39 · 10-2 |
645 |
6,01 · 10-1 |
925 |
9,98 · 10-1 |
370 |
2,70 · 10-2 |
650 |
6,14 · 10-1 |
930 |
9,98 · 10-1 |
375 |
3,05 · 10-2 |
655 |
6,27 · 10-1 |
935 |
9,99 · 10-1 |
380 |
3,44 · 10-2 |
660 |
6,39 · 10-1 |
940 |
9,99 · 10-1 |
385 |
3,84 · 10-2 |
665 |
6,52 · 10-1 |
945 |
1,000 |
390 |
4,27 · 10-2 |
670 |
6,64 · 10-1 |
950 |
1,000 |
395 |
4,72 · 10-2 |
675 |
6,76 · 10-1 |
955 |
1,000 |
400 |
5,21 10-2 |
680 |
6,88 · 10-1 |
960 |
9,99 · 10-1 |
405 |
5,74 · 10-2 |
685 |
7,00 · 10-1 |
965 |
9,99 · 10-1 |
410 |
6,33 · 10-2 |
690 |
7,12 · 10-1 |
970 |
9,98 · 10-1 |
415 |
6,90 · 10-2 |
695 |
7,24 · 10-1 |
975 |
9,98 · 10-1 |
420 |
7,56 · 10-2 |
700 |
7,35 · 10-1 |
980 |
9,97 · 10-1 |
425 |
8,20 · 10-2 |
705 |
7,46 · 10-1 |
985 |
9,96 · 10-1 |
430 |
8,90 · 10-2 |
710 |
7,57 · 10-1 |
990 |
9,96 · 10-1 |
435 |
9,68 · 10-2 |
715 |
7,68 · 10-1 |
995 |
9,95 · 10-1 |
440 |
1,05 · 10-1 |
720 |
7,78 · 10-1 |
1000 |
9,94 · 10-1 |
445 |
1,13 · 10-1 |
725 |
7,88 · 10-1 |
1005 |
9,93 · 10-1 |
450 |
1,21 · 10-1 |
730 |
7,98 · 10-1 |
1010 |
9,91 · 10-1 |
455 |
1,30 · 10-1 |
735 |
8,07 · 10-1 |
1015 |
9,89 · 10-1 |
460 |
1,39 · 10-1 |
740 |
8,16 · 10-1 |
1020 |
9,88 · 10-1 |
465 |
1,48 · 10-1 |
745 |
8,25 · 10-1 |
1025 |
9,86 · 10-1 |
470 |
1,58 · 10-1 |
750 |
8,34 · 10-1 |
1030 |
9,83 · 10-1 |
475 |
1,68 · 10-1 |
755 |
8,42 · 10-1 |
1035 |
9,81 · 10-1 |
480 |
1,78 · 10-1 |
760 |
8,51 · 10-1 |
1040 |
9,79 · 10-1 |
485 |
1,88 · 10-1 |
765 |
8,59 · 10-1 |
1045 |
9,77 · 10-1 |
490 |
1,99 · 10-1 |
770 |
8,67 · 10-1 |
1050 |
9,74 · 10-1 |
495 |
2,10 · 10-1 |
775 |
8,75 · 10-1 |
1055 |
9,71 · 10-1 |
500 |
2,22 · 10-1 |
780 |
8,83 · 10-1 |
1060 |
9,68 · 10-1 |
505 |
2,33 · 10-1 |
785 |
8,90 · 10-1 |
1065 |
9,65 · 10-1 |
510 |
2,45 · 10-1 |
790 |
8,97 · 10-1 |
1070 |
9,62 · 10-1 |
515 |
2,57 · 10-1 |
795 |
9,04 · 10-1 |
1075 |
9,59 · 10-1 |
520 |
2,69 · 10-1 |
800 |
9,11 · 10-1 |
1080 |
9,56 · 10-1 |
525 |
2,81 · 10-1 |
805 |
9,18 · 10-1 |
1085 |
9,53 · 10-1 |
530 |
2,94 · 10-1 |
810 |
9,24 · 10-1 |
1090 |
9,50 · 10-1 |
535 |
3,07 · 10-1 |
815 |
9,30 · 10-1 |
1095 |
9,47 · 10-1 |
540 |
3,20 · 10-1 |
820 |
9,35 · 10-1 |
1100 |
9,43 · 10-1 |
545 |
3,33 · 10-1 |
825 |
9,40 · 10-1 |
|
|
8.3.2. Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров УФ-излучения в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм проводят с использованием излучателей типов ЛД2(Д), ИПИ-47. Эталонный и поверяемый радиометры УФ-излучения поочередно устанавливают на расстоянии 1 м от излучателя и юстируют по углу для достижения максимального сигнала. Показания эталонного радиометра I° и поверяемого радиометра I регистрируют пять раз для каждого контрольного источника. Значение абсолютной чувствительности поверяемого радиометра УФ-излучения S рассчитывают по формуле
S = S°I/P, (5)
где S° - значение абсолютной чувствительности эталонного радиометра УФ-излучения
Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого радиометра, суммарное СКО результатов измерений с учетом погрешности эталонного радиометра по формулам 1 - 3. Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности Θ2 не должна превышать 10 %.
8.3.3. Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической освещенности
Измерение коэффициента линейности радиометра УФ-излучения проводят для определения границ диапазона измерений ЭО. Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности радиометра от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Устанавливают два источника УФ-излучения - лампы типов ЛД2(Д), ИПИ-47 на таком расстоянии от повторяемого радиометра, чтобы показания радиометра соответствовали нижней границе диапазона измерений ЭО, указанной в его паспорте и составляющей не более 0,1 Вт/м2. Регистрируют показания поверяемого радиометра от каждого из двух излучателей I1 и I2 и суммарный сигнал IΣ от двух излучателей. Измерения проводят 5 раз с использованием экранирующих заслонок. Определяют средние значения измеренных сигналов, СКО So, суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности K, равный IΣ/(I1 + I2), и погрешность радиометра Θ3, вызванную отклонением чувствительности радиометра, равную 100|K - 1|.
При определении границ диапазона измерений ЭО поверяемого радиометра расстояние между ним и источниками излучения уменьшают таким образом, чтобы значение энергетической освещенности от каждого источника излучения увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов I1, I2, IΣ и рассчитывают соответствующее значение погрешности Θ3. Измерения повторяют каждый раз с увеличением значения ЭО на порядок до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого радиометра и составляющей не менее 100 Вт/м2. По результатам измерений определяют границы диапазона ЭО поверяемого радиометра, в пределах которого значение погрешности Θ3 должно быть не более 6 %.
8.3.4. Определение погрешности угловой коррекции чувствительности
При определении погрешности угловой коррекции чувствительности радиометров УФ-излучения, обусловленной неидеальной коррекцией угловой зависимости чувствительности от угла падения потока излучения, поверяемый радиометр устанавливают на неподвижное плечо гониометра типа ГС-5, на подвижное плечо гониометра устанавливают источник излучения - лампу типа ЛД2(Д). Регистрируют показания I(j) поверяемого радиометра УФ-излучения в зависимости от угла падения потока излучения j в пределах от 0° до 85° с шагом 5°. Показания радиометра I(j) для угла j нормируют на показания радиометра I(j0) при нормальном угле падения j0 потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость f(j) отклонения относительной чувствительности радиометра от функции cosj по формуле
f(j) = 100{I(j)/[I(j0)cosj] - 1}. (6)
Косинусную погрешность радиометра Θ4, в процентах, рассчитывают по формуле
(7)
Значение Θ4 должно быть не более 7 %.
При превышении приведенного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения радиометра УФ-излучения с указанием в паспорте радиометра значения угла зрения и поправочных коэффициентов, учитывающих угловые размеры излучателя.
Обработку результатов измерений характеристик радиометров УФ-излучения и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.
9.1. Оценку относительного среднего квадратического отклонения So результатов измерений для n независимых измерений проводят по формуле (1).
СКО So определяют по результатам измерений в соответствии с 8.3.3 в динамическом диапазоне от 0,1 до 100 Вт/м2.
9.2. Границу относительной неисключенной систематической погрешности Θo определяют по формуле
(8)
где Θj - составляющие неисключенной систематической погрешности:
Θ1 - погрешность спектральной коррекции (Θ1 £ 8 % - по 8.3.1);
Θ2 - погрешность определения абсолютной чувствительности (Θ2 £ 10 % - по 8.3.2);
Θ3 - погрешность линейности (Θ3 £ 6 % - по 8.3.3);
Θ4 - погрешность угловой коррекции (Θ4 £ 7 % - по 8.3.4).
Граница относительной неисключенной систематической погрешности радиометров УФ-излучения не должна превышать 16 %.
9.3. Предел допускаемой основной относительной погрешности результатов измерений ЭО Do рассчитывают по формуле
(9)
где K - коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической погрешностей.
Так как для радиометра УФ-излучения Θo > 8So, то случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают Dо = Θo.
9.4. Результаты поверки радиометров УФ-излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 20 %.
10.1. При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и радиометр допускают к применению в качестве средств измерений характеристик УФ-излучения в фотолитографии.
10.2. При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности.
Радиометры УФ-излучения используют в фотолитографии для измерений энергетической освещенности в ваттах на квадратный метр (Вт/м2) в диапазоне длин волн [λ1 - λ2] в соответствии с ГОСТ 8.552. Значение энергетической освещенности Eэ определяют по формуле
(А.1)
где A - безразмерный коэффициент;
λ - длина волны, мкм;
Е(λ) - спектральная плотность энергетической освещенности.
Спектральная чувствительность S(λ) радиометров УФ-излучения в фотолитографии в соответствии с формулой (1) должна быть постоянной в диапазоне длин волн [λ1 - λ2] и равной нулю вне диапазона, так что показания радиометра пропорциональны измеряемому значению энергетической освещенности.
[1] |
CIE N53 |
Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. - 1982. - 24 p. |
Ключевые слова: энергетическая освещенность, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, радиометр, фотолитография |