ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
ОБЩИЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
Издание официальное
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ
Москва
УДК 621.52:621.38.002.5 :006.354 Группа Э71
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ГОСТ
25196—82
(СТ СЭВ 2760—80)
ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
Общие технические требования
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirement
ОКП 62 7335
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта
1982 г. № 1383 срок действия установлен
с 01.07 1983 г. до 01.07 1988 г.
Несоблюдение стандарта преследуется по закону
1. Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее — установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,660 57*10~27 до 217,534 67-10~27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6-10~15 до 1,6-10-13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760—80.
2. Технические требования к установкам — по ГОСТ 24686-81.
3. Установки должны обеспечивать один из режимов обработки изделий:
поштучный;
групповой;
комбинированный.
4. Число пластин, обрабатываемых за один цикл на установке, должно быть кратным 25.
Перепечатка воспрещена
★
Издательство стандартов, 1982
Стр. 2 ГОСТ 25196-82
5. Предельное остаточное давление в установке должно быть не более 1,3-10~4 Па.
6. Минимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,01 -0,1; 1; 10; 100; 500; 1000 мкА.
7. Максимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,03; 0,1; 0,5; 1; 2; 5; 10 мА.
8. Неравномерность дозы имплантации следует выбирать из ряда: 0,5; 1; 2; 4%.
9. Показатели надежности установок следует определять наработкой на отказ, средним временем восстановления и средним ресурсом в соответствии с ГОСТ 24786-81.
Наработку на отказ следует выбирать из ряда: 100, 125, 160, 200, 250, 400, 500, 630, 800, 1000 ч.
Среднее время восстановления должно быть не более 4 ч.
Средний ресурс следует выбирать из ряда: 5000, 5600, 6300, 7100, 8000, 9000, 10000 ч.
Редактор Е. И. Глазкова Технический редактор Б. Н. Малькова Корректор Г. М. Фролова
Сдано в наб 13 04 82 Подп. к печ. 04 05 82 0,25 п. л. 0,11 уч-изд. л. Тир. 10000 Цена 3 коп.
Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123557, Москва, Новопресненский пер., 3 Тип. «Московский печатник». Москва, Лялин пер., 6. Зак. 517