Купить ГОСТ Р 8.841-2013 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее
Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"
Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.
Распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения - радиометры (дозиметры) ЭУФ излучения, используемые для измерений энергетической освещенности и экспозиционной дозы в диапазоне длин волн 1-10 нм, и устанавливает методику их поверки. Средства измерений характеристик УФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 1 - 10 нм измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10 - 7 Дж, верхняя – не менее 2•10-1 Дж и ЭО в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вт/м кв., верхняя – не менее 20 Вт/м кв. Межповерочный интервал – один год.
Переиздание. Март 2019 г.
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Операции поверки
4 Средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки
8 Подготовка и проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Дата введения | 01.02.2015 |
---|---|
Добавлен в базу | 21.05.2015 |
Актуализация | 01.01.2021 |
28.10.2013 | Утвержден | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии | 1286-ст |
---|---|---|---|
Разработан | ФГУП ВНИИОФИ | ||
Издан | Стандартинформ | 2015 г. | |
Издан | Стандартинформ | 2019 г. |
Чтобы бесплатно скачать этот документ в формате PDF, поддержите наш сайт и нажмите кнопку:
ГОСТР
8.841-
2013
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
НАЦИОНАЛЬНЫЙ
СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ЭКСПОЗИЦИОННОЙ ДОЗЫ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 1—10 нм
Методика поверки
Издание официальное
Москва
Стандартинформ
2015
Предисловие
1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 386 «Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии»
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 октября 2013 г. № 1286-ст
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты». а официальный текст изменений и поправок — в ежемесячном указателе «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru)
©Стандартинформ. 2015
Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
II
ГОСТ P 8.841—2013
Содержание
1 Область применения...................................................1
2 Нормативные ссылки..................................................1
3 Операции поверки....................................................1
4 Средства поверки.....................................................2
5 Требования к квалификации поверителей.....................................2
6 Требования безопасности...............................................2
7 Условия поверки.....................................................3
8 Подготовка и проведение поверки..........................................3
9 Обработка результатов измерений..........................................6
10 Оформление результатов поверки.........................................7
III
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ЭКСПОЗИЦИОННОЙ ДОЗЫ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ
В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 1—10 нм
Методика поверки
Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments for measurement of exposure and irradiance in the wavelength range 1 to 10 nm. Verification procedure
Дата введения — 2015—02—01
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового (далее — ЭУФ) излучения — радиометры (дозиметры) ЭУФ-излучения, используемые для измерений энергетической освещенности (далее — ЭО) и экспозиционной дозы (далее — ЭД) в диапазоне длин волн 1—10 нм, и устанавливает методику их поверки.
Средства измерений характеристик УФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 1—10 нм измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10~7 Дж, верхняя — не менее 2 • 10~' Джи ЭО в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0.01 Вт/м1. верхняя — не менее 20 Вт/м1.
Межповерочный интервал — один год.
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0.03 до 0.40 мкм
ГОСТ Р 8.736-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячным информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным)стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затра!иаающей эту ссылку.
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Издание официальное
Таблица 1 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||
Примечание — Знак «+» означает, что выполнение операций обязательно. |
При проведении поверки применяются средства, представленные в таблице 2.
Таблица 2 | ||||||||||
|
Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с радиометрами (дозиметрами) и используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и радиометры (дозиметры) ЭУФ-излучения.
При поверке радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. 1
7 Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды.............(20 ± 5) °С;
- относительная влажность воздуха............(65 г 15) %;
- атмосферное давление................... 84—104 кЛа;
- напряжение питающей сети................(220 =4) В;
- частота питающей сети...................(50 * 1) Гц.
8 Подготовка и проведение поверки
8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре должно быть установлено:
- соответствие комплектности радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения паспортным данным:
- отсутствие механических повреждений блоков радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения. сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов:
- четкость надписей на панели радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения;
- наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения):
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях радиометров (дозиметров) ЭУФ-излучения.
8.2 Опробование
При опробовании должно быть установлено:
- наличие показаний радиометра при освещении ЭУФ-излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности
Погрешность радиометра (дозиметра) ЭУФ-излучения. вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее — ОСЧ) поверяемого радиометра (дозиметра) от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального диапазона 1—10 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого радиометра сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника ЭУФ-излучения, поверенного в ранге рабочего эталона (далее — РЭ) по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 1 до 10 нм. Измерения ОСЧ поверяемого радиометра (дозиметра) ЭУФ-излучения проводят с использованием источника синхротронного излучения, монохроматора скользящего падения, комплекта многослойных светофильтров, фотоприемников типов AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений относительной спектральной чувствительности в диапазоне длин волн от 1 до 10 нм эталонный приемник излучения и поверяемый радиометр поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного приемника излучения Г(>.) и поверяемого радиометра ЭУФ-излучения /(/.) регистрируют поочередно пять раз на каждой длине волны с шагом 1 нм в диапазоне 1—10 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр, и регистрируют показания эталонного приемника излучения и поверяемого радиометра J(/.), соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат /-го измерения ОСЧ поверяемого радиометра БД/.) рассчитывают по известным значениям ОСЧ S*(>.) эталонного приемника излучения по формуле
<£[W-S/(X)fJ
ЗД(п(л-1)]''г
(2)
So =
Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ S(>.). Оценку относительного CKO S0 результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле
Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ 0О определяется погрешностью эталонного приемника по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке).
3
Относительное суммарное CKO результатов измерения ОСЧ З^определяют по формуле
Sfc«(s|+e§/3)ia. О)
Погрешность спектральной коррекции поверяемого радиометра ЭУФ-излучения 0, в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности S(>.) от стандартной S^X). определяют по формуле
ю ю
I £(>.) S().)d/.\ Е*(>.) Sст(>.)d>.
0i=-b-Jw--1Ю0. (4)
\E(X)SCT(X)dX- JF^X) S(X)dX
i i
где Е(>.) — относительная спектральная плотность энергетической освещенности контрольных источников;
£"(>.) — относительная спектральная плотность энергетической освещенности стандартного источника.
Для оценки погрешности спектральной коррекции поверяемого радиометра в таблицах 3—7 приведены и значения Е(Х) и &'('/.) контрольных и стандартных источников излучения.
Таблица 3 — Значения Е^Х) для стандартного источника синхро трон ног о излучения при энер1ии 450 МэВ и радиусе орбиты 1.0 м | ||||||||||||||||||||||||||||
|
Таблица 4 — Значения Е(Х) для контрольного источника синхротронного излучения при энергии 2500 МэВ и радиусе орбиты 6.0 м | ||||||||||||||||||||||||||
|
4
ГОСТ P 8.841—2013
Таблица 5 — Значения £(>.) для контрольного источника — плазмы типа I | ||||||||||||||||||||
|
Таблица 6 — Значения £(>.) для контрольного источника — плазмы типа II | ||||||||||||||||||||||||||
|
Таблица 7 — Значения £(>.) для контрольного источника — лазерной плазмы типа IV | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
8.3.2 Определение погрешности абсолютной чувствительности
Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров ЭУФ-излучения в диапазоне длин волн 1—10 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонный и поверяемый радиометры поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юсти- 2
руют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного радиометра Г и поверяемого радиометра / регистрируют поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого радиометра рассчитывают по формуле
S = S°lir, (5)
где S0 — значение абсолютной чувствительности эталонного радиометра.
Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого радиометра, СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного радиометра по формулам (1НЗ).
Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности поверяемого радиометра 0г не должна превышать 8 %.
8.3.3 Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической освещенности и энергетической экспозиции
Измерение коэффициента линейности радиометра ЭУФ-излучения проводят для определения границ диапазона измерений энергетической освещенности и энергетической экспозиции. Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности радиометра от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения, соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической освещенности и экспозиционной дозы, указанных в паспорте поверяемого радиометра и составляющих соответственно не более 0,01 Вт/м2 и не более 10~3 Дж. Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого радиометра /2. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов. CKO S0, СКО результатов измерений по формулам (1)—(3) и рассчитывают коэффициент линейности по формуле
К = |1 + /2//,|. (6)
Погрешность поверяемого радиометра Bj, вызванную нелинейностью чувствительности радиометра рассчитывают по формуле
0з = 100 |К- 1|. (7)
При определении границ диапазона измерений энергетической освещенности и экспозиционной дозы поверяемого радиометра ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической освещенности (экспозиционной дозы) увеличилось на один порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности 0^. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого радиометра и составляющей не менее 20 Вт/м2 для энергетической освещенности и не менее 2 10-1 Дж для экспозиционной дозы.
8.3.4 Определение погрешности угловой коррекции чувствительности
Поверяемый радиометр устанавливают на поворотный столик с микрометрическим винтом таким образом, чтобы обеспечить нормальное падение потока излучения на приемник излучения Регистрируют показания /(«р) поверяемого радиометра в зависимости от угла падения ц» потока излучения в пределах от 0° до 85° с шагом 5е. Показания радиометра для угла ф нормируют на показание радиометра при нормальном падении потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость %) отклонения относительной чувствительности поверяемого радиометра от функции cos ф по формуле
/(Ф) = 100 {/(ФУ(/(ф0)cos ф) - 1}. (8)
Косинусную погрешность радиометра 04 рассчитывают по формуле
85’
0< = ||Дф)|зт2фс1ф. (9)
о»
Определение предела основной относительной допускаемой погрешности радиометра ЭУФ-излу-чения проводят в соответствии с ГОСТ 8.736.
СКО S0 определяется по результатам измерений в соответствии с 8.3.3. Оценку относительного СКО S0 результатов измерений для л независимых измерений проводят по формуле (2). 4
ГОСТ P 8.841—2013
Границу относительной неисключенной систематической погрешности 0оолределяют по формуле
(Ю)
где (-)у — составляющие неисключенной систематической погрешности:
0, — погрешность спектральной коррекции:
02 — погрешность определения абсолютной чувствительности;
03 — погрешность, возникающая из-за отклонения коэффициента линейности от единицы:
04 — погрешность, возникающая из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствитель
ности.
Предел основной относительной допускаемой погрешности радиометра ЭУФ-излучения для измерений экспозиционной дозы и энергетической освещенности \ рассчитывают по формуле
(11)
где К — коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической погрешностей.
Если (% > 8S0, то случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают Aq = 00-
Результаты поверки радиометров ЭУФ-излучения считаются положительными, если предел основной относительной допускаемой погрешности радиометра ЭУФ-излучения для измерений энергетической освещенности (экспозиционной дозы) не превышает 10 %.
10.1 При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке и радиометр допускают к применению в качестве средства измерений энергетической освещенности (экслози-ционнойдозы) ЭУФ-излучения.
10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности. 3
1
2
3
4