Настоящий документ устанавливает процедуру калибровки, применимую к изображениям, зарегистрированным в большом диапазоне увеличений в просвечивающем электронном микроскопе (ПЭМ). Стандартные образцы, используемые для калибровки, обладают периодической структурой, как например, реплика дифракционной решетки, структура кристаллической решетки полупроводника или изображение кристаллической решетки углерода, золота или кремния. Настоящий документ применим к увеличению изображения ПЭМ, зарегистрированного на фотопленке или рентгенографической пластине, либо полученного с помощью датчика изображения, встроенного в цифровую камеру. Настоящий документ также относится к калибровке масштабной линейки. Настоящий документ не применим к специализированному измерению критического размера методом ПЭМ (CD-TEM) и к сканирующей просвечивающей микроскопии (СПЭМ).
