ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
Издание официальное
ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ Москва
УДК 531.715:006.354 Группа П41
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
Типы и основные параметры
Optical instruments for surface roughness parameters measuring. Basis parameters and types
ОКП 44 3160
Дата введения 01.01.81
Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее — приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров Rmax, fe и S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.
Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1—2.2.3, 2.4.1—2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования — рекомендуемыми.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1. ТИПЫ
Типы приборов устанавливаются слсд\ющие:
ПТС — прибор теневого сечения;
ПСС— прибор светового сечения;
МНИ — микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ — ми крое коп-профи л ом етр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. tfc 1).
Издание официальное Перепечатка воспрещена
(Ё) Издательство стандартов, 1979 (С"> Издательство стандартов, :993 Переиздание с изменениями
ГОСТ 9847-79 С. 2
2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов изме- |
рений, указанных в |
табл. 1. |
Таблица 1 |
Тип нркбора |
Параметр шероховатости |
Пределы измерений |
ПТС |
\RZ, m а х |
4(0—320 мкм |
5 |
0,2—1,6 мм |
ПСС |
Rz, Rmax |
0,5—40 мкм |
S |
0ДО2—0,5 мм |
ми и |
l Rz, R та x |
0,05—0,8 мкм |
S |
0,002—0,05 мм |
мпи |
iRz, R m a a' |
0,05—0,8 мкм |
|
Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1. |
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1—2.2.3.
Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.
{Таблица 2
Диапазон ишерения параметров Rz и Rmax, мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее |
Апер 1vpa объектива |
Общее 'увеличение микроскопа, крат, не более |
От 4Ю ДО 320 |
8 |
1 |
0,03 |
32 |
|
|
|
от |
32 |
От 10 до 40 |
2,5 |
4 |
ол |
во |
|
|
|
0,12 |
60 |
|
|
|
10,И5 |
60 |
С. 3 ГОСТ 9847-79
Продолжение табг. 2 |
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax> мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее |
Апертура
(объектива |
Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
От 4 до 10 |
0,8 |
10 |
Оа2 |
200 |
|
|
|
0,3 |
,160 |
От 1,6 до 4 |
0,8 |
12,5 |
0,4 |
260 |
|
|
|
0,415 |
200 |
От 0,5 до 1,6 |
0,25 |
за |
0,5 |
750 |
|
|
|
06 |
620 |
|
2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.
2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.
2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.
2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).
2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1—2.4.3.
Таблица б |
Диапазон измерения параметров Rz и Rmux, мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Апертура
объектива |
Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
От 0,1 до 0,8 |
0,25 |
0,3 |
400 |
0,5,
€>66 |
670 |
От 0,06 до 0,4 |
0,25 |
0,85,
0,95 |
112(0 |
От 0,05 до 0,1 |
0,08 |
0,95;
1,25 |
2500 |
|
2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения В направлении измерения нс должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.
2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через
1 ч после включения прибора.
2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения —
2 нм.
2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.
Пределы измерения параметров Rz и Rmaxi мкм
Апертура объектива, не менее
Линейное поле зрения, мм, не менее
Общее увеличение прибора, не менее
Обратная линейная дисперсия диспергирующей
системы для XD, нм/мм, не более
Предел разрешения диспергирующей системы для ХГ), нм, не более
Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения
Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более
2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.
2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру Rmax на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.
Таблица 7 |
Диапазон
параметра |
измерения Rmax' мкм |
Базовая длина, мм |
Предел допускав мой систематической составля ющей погрешности, %, ДЛЯ ТИПО! |
Предел дояускае-.мого среднего квадратического отклонения случайной составляю щей погрешности, %, для типов |
Предел допускаемой суммарн погрешности среднего трех измерении. % для типов |
ПТС, ПСС |
ПТС. ПСС |
ПТС, ПСС |
Св. |
160 |
до |
320 |
8 |
12,0 |
0,5 |
2,5 |
Св. |
80 |
до |
160 |
8 |
2,5 |
1,0 |
3,5 |
Св. |
40 |
до |
80 |
8 |
3,0 |
1,7 |
5,0 |
Св. |
30 |
до |
40 |
2,5 |
3,2 |
1,7 |
5J5 |
Св. |
/20 |
до |
30 |
2,5 |
3,6 |
2J0 |
6,5 |
Св |
10 |
до |
20 |
2,5 |
4,0 |
3,5 |
8,5 |
Св. |
6,3 |
до |
m |
0,8 |
5,0 |
14,5 |
10,0 |
Св. |
3,2 |
ДО |
6,3 |
0,8 |
7,0 |
6,5 |
|14;0 |
Св. |
1,6 |
ДО |
3,2 |
0,8 |
9,0 |
8,0 |
20,0 |
Св |
о
сг>
со |
до |
1,6 |
0,35 |
1I2J0 |
10,0 |
04,0 |
Св. |
0,5 |
ДО |
0,63 |
1 0,26 |
16,0 |
1J2.0 |
30,0 |
|
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру Rmax, не должны превышать значений, указанных в табл. 8.
Таблица 8 |
Тип
прибора |
Диапазон
измерения
параметров
«max’ мкм |
Базовая длина, мм |
Апертура
объектива |
Предел допускаемой систематической погрешности, % |
Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, % |
Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, % |
|
|
|
0,3 |
ею |
5 |
24 |
МИИ |
Св. 0,4 до 0,8 |
0,25 |
iOt 0,5 до 0,66 |
14 |
5 |
18 |
|
От 0,85 'до 0,95 |
10 |
5 |
15 |
МПИ |
|
|
0,5 |
14 |
5 |
18 |
МИИ |
|
|
От 0,5 до 0,65 |
30 |
40 |
40 |
Св 0,1 до 0,4 |
0,25 |
От 0,85 до 1,215 |
120 |
ДО |
30 |
МПИ |
|
|
0,5 |
18 |
НО |
30 |
МИИ |
Св 0,05 |
10,08 |
От 0,95 до 1,25 |
30 |
20 |
50 |
МПИ |
до 0,1 |
0,15 |
40 |
20 |
35 |
|
ГОСТ 9847-79 С. б
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (Исключено, Изм. № 1).
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Справочное
ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ
1, (Исключен, Изм. № 1).
2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС
и ПСС- увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.
С. 7 ГОСТ 9847-79
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. РАЗРАБОТЧИКИ:
А. Н. Кузнецов, А. А. Кучин
2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 № 3261
3. Срок проверки — 1995 г., периодичность — 5 лег
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обоыачение Н1Д. in мпорып дана ссылка
(ГОСТ /2789—73
5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 № 551
6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3—87, 7—91)
Редактор Л. Д. Курочкина Технический редактор В. //. Прусакова Корректор В. М. Смирнова
Сдано в набор. 19.01.9?. Подп в пет. 23 03 93 Уел печ. л ОД Уел кп н[ о 3.
Уч.-тд л 0.15 Тир. 100» эк t ■
Ордена «Знак Почета» Пиательсгво стандартов, 10/070. Москва Ко ■’о ie< .in и >р И. Тип «Московский печа1ник» Москва. Лялин пер., о Дан То