Сертификация: тел. +7 (495) 175-92-77
Стр. 1
 

21 страница

304.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.

Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.

Межповерочный интервал рельефной меры - один год

Введен впервые.

Издание (декабрь 2010 г.)

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Операции и средства поверки

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки и подготовка к ней

8 Проведение поверки

9 Обработка результатов измерений

10 Оформление результатов поверки

Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха

Библиография

Показать даты введения Admin

Страница 1

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ    ГОСТР

<В>

СТАНДАРТ    о ROQ_

РОССИЙСКОЙ    о.о^э

ФЕДЕРАЦИИ    2007

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

Методика поверки

Издание официальное

Москва

Стандартинформ

2011

Страница 2

ГОСТ Р 8.629-2007

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума». Федеральным государственным учреждением «Российский научный центр «Курчатовский институт». Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»

2    ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Наукоемкие технологии» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. № 97-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5    ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением Np 1. утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2—2011)

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационно системе общего пользования — на официальном сайте Федералыюго агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2007 © СТАНДАРТИНФОРМ. 2011

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

Страница 3

ГОСТ Р 8.629-2007

Содержание

1    Область применения

2    Нормативные ссылки


1

1


3    Термины и определения............................

(DCaOAAWWWW

4    Операции и средства поверки.........................

5    Требования к квалификации поверителей..................

6    Требования безопасности...........................

7    Условия поверки и подготовка к ней.....................

8    Проведение поверки..............................

9    Обработка результатов измерений......................

10    Оформление результатов поверки.....................

Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха Библиография................................................11

in

Страница 5

ГОСТ Р 8.629-2007

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification

Дата введения — 2008—02—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-* м.

Настоящий стандарт устанавпивает методику первичной и периодических поверок репьефных мер.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте испопьзованы нормативные ссыпки на спедующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф-ные нанометрового диапазона из монокристаппического кремния. Требования к геометрическим формам. линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контропируемые среды. Часть 2. Требования к контропю и мониторингу дпя подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие по-пожения

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание — При попьзовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании нестоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

(Измененная редакция. Изм. № 1).

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

Издание официальное

1

Страница 6

ГОСТ Р 8.629-2007

3    Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по РМГ 29 [1], а также следующие термины с соответствующими определениями.

3.1    рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.2    элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

3.3    элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

3.4    геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

3.5    мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в узаконенных единицах и известны с необходимой точностью (1].

3.6    рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

3.7    рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10"° м.

3.8    рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.

3.9    пиксепь: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.10    сканирование (элемента исследуомого объекта): Перемещение зонда вдоль выбранного отрезка на исследуемом объекте с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.11    изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.

3.12    видеопрофиль (информационного сигнала): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микросхопа. от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.13    масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины исследуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

3.14    Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.

(Измененная редакция. Изм. № 1).

4    Операции и средства поверки

4.1 При проведении первичной и периодических поверок рельефной меры должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

2

Страница 7

ГОСТ Р 8.629-2007

Таблица 1 — Операции и применяемые средства поверки

Наименование средства поверки и его основные технические и кетропошческис характеристики

Номер подраздела настоящего стандарта

Наименование

операции

Внешний осмотр Опробование

8.1

8.2

Определение метрологических характеристик

8.3

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400х)

Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп.

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400х).

Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения — гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения а молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3-10-'%. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу АФ между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига ЛФ — не более 0.002 рад

Атомно-силовой микроскоп.

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400х).

Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения — гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3 -10-' %. 8 комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу ДФ между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига ДФ — не более 0.002 рад.

Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями не более:

-    температуры окружающей среды — г 0,2 “С;

-    относительной влажности воздуха — ± 3 %.

-    атмосферного давления — ± 130 Па


(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.2 Допускается применять другие средства поверки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

5    Требования к квалификации поверителей

Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.

Сотрудники допжны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

6    Требования безопасности

При поверке репьефных мор необходимо соблюдать правила электробезопасности по [3]. [4], требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, (5). [6].

Рабочие места поверитепей допжны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

3

Страница 8

ГОСТ Р 8.629-2007

7 Условия поверки и подготовка к ней

7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

-    температура окружающей среды..................(20 ± 3) "С.

-    относительная влажность воздуха.................не более 80 %.

-    атмосферное давление.......................(100 ± 4) кПа:

-    напряжение питающей сети.....................(220 ± 22) В;

-    частота питающей сети..............,.........(50.0 х 0.4) Гц.

Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать указанных в приложении А.

7.2    Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0.5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

7.1, 7.2 (Измененная редакция, Изм. № 1).

7.3    Перед началом поверки необходимо подать напряжение питания на основные средства поверки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.

8 Проведение поверки

8.1    Внешний осмотр

8.1.1    При внешнем осмотре поверяемой репьефной меры должно быть установлено:

-    соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формупяре) на рельефную

меру;

-    отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры.

8.1.2    Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предваритепьный визуальный внешний осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью слециапьных зажимов устанавливают меру на рабочий стол ACM.

При установке рельефной меры необходимо обеспечить:

-    плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM;

-    параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочего стола) ACM. а также ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклонной стенкой.

8.1.3    С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной меры должна быть однородной, при этом на примерно 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.

8.1.2, 8.1.3 (Измененная редакция, Изм. № 1).

8.2 Опробование

8.2.1    С помощью вспомогатепьного оптического микроскопа устанавливают зонд ACM в положение, соответствующее началу сканирования поверяемого эпемента рельефной меры.

Начальное попожение определяют следующим образом: зонд ACM устанавливают на плоскость нижнего основания на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 % ширины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда ACM при сканировании.

8.2.2    На неподвижном эпементе в камере образцов ACM устанавливают зеркало лазерного интерферометра. предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе ACM — другое зеркало для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр (далее — горизонтальный лазерный интерферометр) располагают вдоль оси. совпадающей с горизонтальным направлением сканирования (далее — ось абсцисс).

Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов ACM. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного (на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера ACM в вертикаль-

4

Страница 9

ГОСТ Р 8.629-2007

ном направлении сканирования (далее — ось ординат). Второй лазерный интерферометр (далее — вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают соответственно расположению зеркал.

Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Необходимо также обеспечить для каждого интерферометра взаимную параллельность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера ACM в процессе сканирования поверяемого элемента. Допустимый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превышать 1',

Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позволяет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеопрофиля элемента и одновременно с этим регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера двумя лазерными интерферометрами.

8.2.3    В соответствии с инструкцией по эксплуатации ACM проводят пробное сканирование поверяемого элемента рельефа. При этом предварительно:

-    выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкцией по эксплуатации применяемых лазерных интерферометров;

-    путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного пуча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании эпемента рельефа;

-    в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и пазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого эпемента, при которых в электронно-фа-зометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;

-    устанавливают показания электрон но-фаэометрических систем применяемых лазерных интерферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.

8.2.2. 8.2.3 (Измененная редакция, Изм. N8 1).

8.3    Определение метрологических характеристик

8.3.1    Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выпопнение требований, указанных в 7.1.

8.3.2    В соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых ACM и лазерных интерферометров проводят сканирование выступа поверяемого элемента рельефной меры. Одновременно с помощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM и вертикального перемещения Z-сканера ACM.

Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда ACM приведены на рисунке 1.

Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, представлен на рисунке 2.

Ь„ — ширина нижнего основания выступа: 6, — ширина верхнего основания выступа; h — высота выступа, а — значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа

Рисунок 1 — Сечение поверяемого элемента рельефной меры

5

Страница 10

ГОСТ Р 8.629-2007

и — точка на видеопрофиле. соответствующая начальному положение зонда ACM при сканировании; у — точка на видеопрофи-пе. соответствующая конечному положению зонда при сканировании. Н — высота выступа, измеренная по видеопрофилю; L — разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтальною сканирования, соответствующая величине горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM вычисленная по видеолрофилю

Рисунок 2 — Вмдеопрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1 (направление сканирования — слева направо)

8.3.3    По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига дФ, в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.4    По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига дФв в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.5    Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей эпектрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.

8.3.1—8.3.5 (Измененная редакция, Изм. № 1).

8.4 Оформление протокола поверки

Результаты измерений параметров репьефной меры по 8.3.2—8.3.4. а также приведенных на рисунке 2. оформляют в виде протокола. Также в протоколе указывают данные условий поверки до начала и после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.

Форма протокола — произвопьная. Протокоп с резупьтатами поверки должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

9 Обработка результатов измерений

9.1    (Исключон, Изм. N9 1).

9.2    Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM при сканировании поверяемого элемента рельефа

Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола Д L, нм, от начального до конечного положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле

где — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;

ДФ, — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;

п — показатель препомления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, впажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют по формуле


где aL — перемещение подвижной части рабочего стопа ACM при горизонтальном сканировании, вычисленное по 9.2, нм;


6

Страница 11

ГОСТ Р 8.629-2007

L — разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM. вычисленная по видеолрофилю (см. рисунок 2). пиксель.

9.4    (Исключен, Изм. № 1).

9.5    Вычисление вертикального перемещения г*сканера ACM при сканировании поверяемого элемента

Вертикальное перемещение Z-сканера ACM дН, нм. при сканировании поверяемого элемента вычисляют по формуле

ДН = -^-ДФа,

4лп

где а2 — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм:

ДФ„ — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4, рад:

п — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А. (Измененная редакция, Изм. № 1).

9.6    (Исключен, Изм. № 1),

9.7    Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа

Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера ДН, вычисленному по 9.5.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

9.8    Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основания выступа поверяемого элемента рельефа

При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа используют вспомогательную величину, для вычисления которой:

- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на рисунке 2. результат такого вычисления приведен на рисунке 3;

х — ось абсцисс по 8.2.2; а, 1 — начальная и конечная точки положения зонда ACM при сканировании поверяемого элемента,

dl

расположенные по 6.2.1; — — ось ординат по значению производной величины видеосигнала по координате х.

dx

Рисунок 3 — Графическое изображение первой производной видеопрофиля по координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола ACM

- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисляют вспомогательную величину 8„. пиксель, которая равна разности соответствующих абсцисс точек, как показано на рисунке 3.

9.9 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа Ширину верхнего основания выступа нм. вычисляют по формуле

Ьи = т8и.

где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

8и — вспомогательная величина, вычисленная по 9.8. пиксель.

Страница 12

ГОСТ Р 8.629-2007

9.10    Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа

Ширину нижнего основания трапецеидального выступа Ьр, нм. вычисляют по формуле

ЬР = ЬИ + 1,4142/1,

где Ьи — ширина верхнего основания поверяемого выступа, вычисленная по 9.9. нм; h — высота поверяемого выступа, вычисленная по 9.7. нм.

9.11    Вычисление проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа

Проекцию наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа а, нм. вычисляют по формуле

а = 0.7071Л.

где h — высота выступа, вычисленная по 9.7, нм.

9.12    Погрешность измерений

При соблюдении условий проведения измерений и использовании средств поверки с метрологическими характеристиками не хуже указанных в 4.1 абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров поверяемого элемента рельефной меры приведены в таблице 2.

Таблица 2 — Абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров й„. 0„, Л и а

Наименование и обозначение линейного размера поверяемого элемента рельефной меры

Абсолютная погрешность измерений, ни. не более

Ширина верхнего основания трапецеидального выступа. £>и

± 0.8

Ширина нижнего основания трапецеидапьного выступа. йр

± 1.4

Высота трапецеидапьного выступа, h

± 0.3

Проекция наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа, а

± 0,3

9.10—9.12 (Измененная редакция, Изм. № 1).

10 Оформление результатов поверки

10.1    Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.

10.2    На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формупяре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений. приведенные в подразделе 9.12 настоящего стандарта.

10.1, 10.2 (Измененная редакция, Изм. N9 1).

8

Страница 13

ГОСТ Р 8.629-2007

Приложение А (справочное)

Вычисление показателя преломления воздуха А.1 Исходные данные

При вычислении показателя преломления воздуха л исходными данными являются следующие параметры окружающей среды.

-    температура г. ‘С;

-    атмосферное давление р. Па;

-    относительная влажность р. %.

Параметры окружающей среды измеряют до начала и после окончания измерений, при этом разность показаний должна быть не болев:

-    температуры окружающей среды — s 1 вС.

-    атмосферного давпения — а 300 Па;

-    относительной влажности воздуха — г 10 %.

А.2 Константы для вычисления показателя преломления воздуха

При вычислениях используют константы, приведенные в таблице А.1.

Таблица А.1 — Константы для вычисления показателя преломления воздуха

Обозначение константы

Числовое значение

Обозначение константы

Числовое значение

А

8342.54

Е

0.601

В

2406147

F

0.00972

С

15998

G

0.003661

D

96095.43

А.З Вычисление вспомогательной величины S

Вспомогательную величину S вычисляют по формуле

4-10*

где >... ).2 — значения длин волн излучения в вакууме гелий-неоновых лазеров по 9.2 и 9.5. нм. соответственно. А.4 Вычисление вспомогательной величины л.

Вспомогательную величину л> вычисляют по формуле

л = 1 * Ю'а(л +•—  +—£-1

^    130-S    38J9-S;

где А. В.С — константы по А.2;

S — вспомогательная величина, вычисленная по А.З.

А.5 Вычисление вспомогательной величины X Вспомогательную величину X вычисляют по формуле

„_1-Ю *(£-FQP 1 + ОГ    '

где Е, F, G — константы no А.2.

I — температура окружающей среды. 'С; р — атмосферное давление. Па.

А.6 Вычисление вспомогательной величины п,

Вспомогательную величину л, вычисляют по формуле

р(л,-1)Х

1 + .

где р — атмосферное давление. Па;

л, — вспомогательная величина, вычисленная no А.4. X — вспомогательная величина, вычисленная no А.5; D — константа no А.2.

9

Страница 14

ГОСТ Р 8.629-2007

А.7 Вычисление парциального давления паров воды

Парциальное давление паров воды pw, Па. вычисляют по формуле

р- ■

где р — относительная влажность воздуха. %;

Pfffffty — давление насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды г. вычисленное по А 8 — А.14. Па.

А.8 Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

Для вычисления давления насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды t. *С, используют константы, приведенные в таблице А.2.

Таблица А.2 — Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

Обозначение константы

Значение

Обозначение константы

Значение

к,

1167.05214528

14.9151086135

Kj

-724213.167032

-4823.26573616

**

-17.0738469401

405113.405421

12020.8247025

К.

-23.8555575678

-3232555.03223

*.о

650.175348448

А.9 Вычисление вспомогательной величины 11

Вспомогатепьную величину П вычисляют по формуле

К

ft- 273.15 - K1U

где t — температура окружающей среды. ‘С.

К7. К,u — константы по А.6.

А.10 Вычисление вспомогательной величины М

Вспомогатепьную величину М вычисляют по формуле

M*Q2 ♦ К, И ♦ К2.

где О — вспомогательная величина, вычисленная по А.9;

К,, К2 — константы по А.8.

А.11 Вычисление вспомогательной величины N

Вспомогательную величину N вычисляют по формуле

N = KjQ2 ♦ КАП ♦ Кь,

где К.г К4. Ка — константы по А.8.

П — вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.12 Вычисление вспомогательной величины R

Вспомогатепьную вепичину R вычисляют по формуле

R в КЙП2 ♦ КГП + КЬ,

где Кв. К,. Ка — константы по А.8.

П — вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.13 Вычисление вспомогательной величины W

Вспомогатепьную величину W вычисляют по формуле

W = -N ♦ VW1 -<ШЯ,

где N — вспомогательная величина, вычисленная по А.11;

М — вспомогательная величина, вычисленная по А.10;

R — вспомогательная величина, вычисленная по А.12.

Страница 15


А.14 Вычисление давления насыщенного водяного пара

Давление насыщенного водяного пара    Па. вычисляют по формуле



где R— вспомогательная величина, вычисленная по А.12;

IV — вспомогательная величина, вычисленная по А.13.

А.15 Вычисление показателя преломления воздуха Показатель преломления воздуха п вычисляют по формуле


292.75<3.7345 -Oj0401S)p„ t + 273.15


где п, — вспомогательная величина, вычисленная по А.6;

S — вспомогательная величина, вычисленная по А.З; ря — парциальное давление паров воды, вычисленное по А.7, Па. I— температура окружающей среды. аС.

(Измененная редакция. Изм. № 1).


Библиография


11J РМГ 29—99


Государственная система обеспечения единства измерений Метрология. Основные термины и определения


(2) (Исключен. Изм. № 1).

J3J Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. № 6. зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г.. per. №з 4145)


(4) ПОТ РМ-016— 2001 РД 153.34.0-03.150—00


Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок

Электромагнитные поля в производственных условиях


(5J Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанЛиН 2.2.4.1191—03


[6] Санитарно-эпидемиологические

правила и нормативы


Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы


СанЛиН 2.2.2/2.4.1340—03 J7] (Исключен. Изм. № 1).


11