Стр. 1
 

16 страниц

304.00 ₽

Купить ГОСТ 8.506-84 (официальный текст в бумажном виде) с голограммой и синими печатями подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Устанавливает методику выполнения измерений локальных отклонений формы поверхности от идеальной сферы (местные ошибки поверхности), а также методику выполнения измерений радиуса кривизны с помощью голографической интерферометрии сдвига для выпуклых сферических зеркал диаметром от 100 до 500 мм в диапазоне значений радиусов кривизны 10-100 м, имеющих любые покрытия (или без них), с коэффициентом отражения не менее 0,75 на длине волны 0,63 мкм

Показать даты введения Admin

Страница 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ЗЕРКАЛА СФЕРИЧЕСКИЕ ВЫПУКЛЫЕ

МЕТОДИКА ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ РАДИУСА КРИВИЗНЫ И ЛОКАЛЬНЫХ ОТКЛОНЕНИЙ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОТ СФЕРЫ МЕТОДОМ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ СДВИГА

ГОСТ 8.506-84

Издание официальное

государственный «омиш no D1*#J|APTAM

Москва

Страница 2

РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам ИСПОЛНИТЕЛИ

В. И. Кухтеамч (руководитель темы), А. П. Голиков, М. Л. Гурарк. И. Н. Гу-ссаа. С. И. Прыткое. В. И. Санкоа, А. И. Трубников

ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам

Член Госстандарте Л. К. Исаев

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 4 апреля 1984 г. N9 1215

Редактор О. В. Абашкова Технический редактор И. М. Ильичева Корректор В. Ф. Малютина

сдано в пай 2й <М М Подп. к n»*i 21.06 М 1.0 У<я. п. л. 1.0 уел. «р.-сит. 0.W у».-я»а. я. Тир. #С»Э    tlena    5    коп.

Ордена «Знак Почт» Иматедьсгво стандартов, 12ZU0. Москва, ГСП. Ноаоинхентсжий пер , 3 Ткп. «Москс>*<хий пи*тпх>. Москва, Лвлян п«р., *. Зак 505

Страница 3

УДК «817.0*3.3.0*3: 006.354 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ Грулпа Т86 СОЮЗА ССР Государственная система обеспечения единства измерений ЗЕРКАЛА СФЕРИЧЕСКИЕ ВЫПУКЛЫЕ Методика выполнения измерении радиуса кривизны и покалоныж отклонении формы поверхностей от сферы методом топографической интерферометрии сдвига Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Convex spherical mirrors. Measurement technique of curvature radius and local departures of surfaces forms from spherScMy by holographic shear interfcrometry ОКСТУ 0008 Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 4 апреля 1984 г. № 1215 срок введения установлен с 01.07.85 Настоящий стандарт устанавливает методику выполнения измерений локальных отклонений формы поверхности от идеальной сферы (местные ошибки поверхности), а также методику выполнения измерений радиуса кривизны с помощью голографичсской интерферометрии сдвига для выпуклых сферических зеркал диаметром от 100 до 500 мм в диапазоне значений радиусов кривизны 10—100 м, имеющих любые покрытия (или без них), с коэффициентом отражения не менее 0,75 на длине волны 0,63 мкм. 1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ 1.1. При проведении измерений радиусов кривизны и местных ошибок поверхности выпуклых сферических зеркал должны быть выполнены операции, указанные ниже: проверка внешнего вида регистрирующей аппаратуры (п. 4.1). опробование регистрирующей аппаратуры (п. 4.2); юстировка оптической схемы голографического интерферометра сдвига (п. 4.3.3); получение голограмм зеркала (п. 4.3.5); получение голографических ннтерферограмм сдвига (ип. 4.3.6 • 4.3.8); получение фотоснимков голографических ннтерферограмм сдвига (п. 5.1); ГОСТ 8.506-84 Издание официальное Перепечатка воспрещена © Издательство стандартов, 1984

Страница 4

Стр. 2 ГОСТ 8.5М—«4 определение радиуса кривизны контролируемого зеркала (пп. 5.2.1—5.2.2); определение местных ошибок поверхности контролируемого зеркала (п. 5.3). 1,2. Дли выполнения измерений применяют приборы, материалы и оборудование, указанные в справочном приложении. 2. УСЛОВИЯ ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ 2.1. Метод измерений радиусов кривизны и местных ошибок выпуклых сферических зеркал основан на голографической интерферометрии и заключается в получении, наблюдении и интерпретации интерферограмм, образованных световыми волнами, из которых хотя бы одна записана и восстановлена голограммой. Для получения голографических интерферограмм с целью последующей обработки можно использовать в зависимости от специфики задачи измерения любой из методов голографической интерферометрии: метод двух экспозиций или метод реального времени. 2.2. При выполнении измерений должны быть соблюдены следующие условия: температура окружающего воздуха (20±5)°С; атмосферное давление (100±4) кПа; относительная влажность воздуха (б5±15)%; напряжение питающей сети (220±4) В; частота питающей сети 50 Гц. Предельные отклонения частоты и содержание гармоник — по ГОСТ 13109-67. Необходимо обеспечить затемнение помещения. 2.3. Операции по получению н обработке голографических интерферограмм должны выполнять лица, прошедшие специальный инструктаж. При выполнении измерений следует руководствоваться «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденными Госэнерго-надзором. Требования безопасности при подготовке и выполнении измерений должны соответствовать «Санитарным нормам и правилам устройства и эксплуатации лазеров», утвержденным Минздравом СССР. 2.4. Перед измерениями контролируют влияние окружающих условий на работу установки типа УИГ-2Г-1 в помещении, где она расположена: ударные вибрации, воздушные потоки, звуковые колебания. частота которых может совпадать с резонансной частотой одного из элементов схемы, могут вызвать смещение интерференционных полос во время экспонирования голограммы.

Страница 5

ГОСТ 8.506-84 Стр. 3 Влияние окружающих условий контролируют путем получения вспомогательной голограммы диффузора с установленным за ним любым зеркалом (п. 4.3.5) после сборки и юстировки интерферометра в помещении, предназначенном для измерений. Окружающие условия считают пригодными для работы, если наблюдается изображение, восстановленное с полученной голограммы. 3. ПОДГОТОВКА к ВЫПОЛНЕНИЮ ИЗМЕРЕНИЙ 3.1. Перед выполнением измерений должны быть проведены следующие подготовительные работы: включают лазеры типов ЛГ-38 и ЛГ-52 согласно инструкции по их эксплуатации; приготовляют проявитель и фиксаж; 'приготовляют 10%-ный раствор хлорной меди, являющийся отбеливателем; проводят контрольное измерение положения узлов сетки диффузора. На поверхности диффузора равномерно выбирают N узлов сетки (Л^8). Выбирают начало координат б центральном узле и определяют координаты остальных узлов с относительной погрешностью ±0.5%. По каждой из двух координат строят градуировоч-ные графики зависимости каждого узла от номера этого узла, где за номер принимают целое число узлов сетки, размещаемое на измеряемой координате данного узла; подготовляют х работе установку типа УИГ-2Г-1 согласно нормативно-технической документации на нее; проверяют наличие воды в водопроводной сети и сжатого воздуха в магистрали; подготовляют подъемно-транспортное оборудование для транспортирования зеркал. 4. ВЫПОЛНЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ 4.1. Внешний осмотр 4.1.1. При внешнем осмотре установки типа УИГ-2Г-1 должны быть установлены: отсутствие дефектов оптических элементов установки; наличие защитного заземления корпуса установки и элементов защитной электрической блокировки отдельных приброов; наличие свободных проходов около установки 8 зоне действия оператора; возможность временного отключении принудительной вентиляции. 4.2. Опробование регистрирующей аппаратуры 4.2.1. При опробовании должны быть проведены следующие операции:

Страница 6

Стр. 4 ГОСТ 8.506-84 проверка плавности перемещения подвижных частей гологра-фического интерферометра, надежности крепления оптических элементов в котировочных приспособлениях; проверка работоспособности пульта оператора; включение и выключение затворов; визуальная проверка наличия непрерывного излучения газово-. го лазера типа ЛГ-38; проверка свободной подвески плиты стола установки типа УИГ-2Г-1. 4.3. Юстировка оптической схемы топографического интерферометра сдвига н получение г о л о г р а мм 4.3.1. Радиусы кривизны измеряют в схеме голографнческого интерферометра сдвига, реализуемого на базе установки типа УИГ-2Г-1. Голографический интерферометр сдвига собирают на амортизированной плите установки типа УИГ-2Г-1 из деталей, входящих в комплект установки. Дополнительно изготовляют диффузор и механизм сдвига. Диффузор — рассеивающий плоский экран размером не менее 600 x 600 мм. изготовляемый из любого стекла нанесением матовой поверхности на одну из его сторон, обращенной к контролируемому зеркалу. На матовую поверхность экрана наносят квадратную координатную сетку штрихов с ячейкой размером 50x50 мм. Диффузор снабжен окном диаметром 20 мм, расположенным в нижней сто части, для опорного светового потока. В произвольной точке диффузора имеется отверстие, в котором установлен мнкрообъек-тнв с фокусным расстоянием 1 мм, снабженный приспособлением для юстировки в плоскости, перпендикулярной к диффузору. Диффузор жестко крепят перпендикулярно к поверхности плиты. Механизм сдвига произвольной конструкции обеспечивает закрепление контролируемого зеркала с горизонтальным положением оптической оси на уровне центра диффузора и перемещение его при выполнении измерений. Механизм может быть снабжен сервоприводами, запускаемыми с пульта оператора. Направления необходимых перемещений зеркал указаны в таблице. Результирующее перемещение контролирует оператор как визуально по вспомогательной голограмме, так и с помощью микроскопа и автоколлиматора. входящего в оптическую схему. Установка типа УИГ-2Г-1 предназначена для получения и регистрации голографических интерферограмм сдвига при измерении радиусов кривизны одновременно двух зеркал, одно из которых является образцовым, а другое —- контролируемым, а при измерении местных ошибок — только контролируемого зеркала. В качестве образцового зеркала используют контрольное пробное стекло с радиусом кривизны, соответствующим заданному значению

Страница 7

ГОСТ 8.JM—84 Стр. 5 радиуса кривизны с отклонением не более ±10%. Образцовое зеркало устанавливают в схеме рядом с контролируемым, юстируют относительно последнего с помощью угловых перемещений и "жестко закрепляют. Образованный таким образом блок зеркал не деформируется в течение всего времени измерения радиуса кривизны. 4.3.2. Принципиальная оптическая схема голографического интерферометра сдвига для измерения радиусов кривизны и местных ошибок поверхности выпуклых сферических зеркал приведена на черт. 1. 1—Лв»ер; 2. II—а$о«ал»иые иасадхя". J. 17. X. П. -поворот*ые яркала; 4— диффузор: коятродируеыое асриадо; (—подвижкв* г.л ретив KexiHiaivta С£.аип; 1— макрла&ъехти». S—образцовое зеркало: .«-гепомотатеды-.ое >еркддй <)TfT*iMiu».e»OT после >хепсзиижи|; 10— оЗъсктк» (устйьймимюг поел« »«(сознани): II— вкбсэусгойчи а о* осномпке—плита; 11, il— »декг$>ом«хв«ическиЛ зато?; IS- узел ■крмм*сих голеграим: 14—♦оговчпараг; /J-зкрав; li- аогоколяи-varcf; 19—свегохедкгель Черг 1

Страница 8

Стр. 6 ГОСТ 8.506-84 Схема интерферометра фиксирована и пс изменяется при замене контролируемого зеркала. Габариты схемы зависят от диаметров контролируемых зеркал. Для зеркал диаметром до 500 мм схема размешается в пределах стола установки типа УИГ-2Г-1 размером 3,0Х1,2м. Угол в между опорным и объектным световыми пучками голограф нческой схемы должен удовлетворять соотношению 6 < &etx"«2arc sin ~ ; где а- длина волны излучения лазера, равная л 0.6328 мхи; ft — разрешающая способность используемого фотоматериала для голографии. Соотношение интснснвностей на выходе светоделителя для объектного и опорного световых пучков следует выбирать и диапазоне значений 0,1 < _Zii!L_ < 1. Голограммы получают одновременно на две фотопластинки, одна из которых является вспомогательной. Необходимо обеспечить полный обзор поверхности диффузора и размешенных за ним контролируемого и образцового зеркал из точек закрепления обеих фотопластинок в течение всего времени измерений. При измерении местных ошибок образцовое зеркало отсутствует. 4.3.3. Оптическую схему голографического интерферометра сдвига для измерения радиусов кривизны выпуклых сферических зеркал юстируют в следующем порядке: поворотом блока зеркал вокруг оси контролируемого зеркала устанавливают зеркала 5 и 8 в поле зрения автоколлиматора; Нйпрэмсиие пер««омс11и» Установочные перемещения Рабпчм перемкаания Д|МПЛ>1>!| Скорость поа»чи. не более Дмваэок Скорость uoaiuH. не более 0.05 ММ/С Поступательно, горизонтально, перпендикулярно к оптической оси зеркала = 300 ми 10 мм/С ±50 мм Поступательно, гориоон тально. параллельно оптической оси зеркала 600 х» 20 мм/с ±5 ми 0.005 мм/с По углу вертикальной плоскости, проходящей через оптическую ось зеркала ±10° 0,5е ±0.5" 0,17с По углу горнэоятзльлой плоскости

Страница 9

ГОСТ 8.506-84 Стр. 7 угловыми котировками узла крепления зеркала 5 добиваются совпадения бликов от зеркал 5 и 8 в поле зрения автоколлиматора. При измерении только местных ошибок данную операцию не проводят; юстируют элементы 20, 19, 5, 4, 17, 18 таким образом, чтобы добиться максимальной яркости опорного луча в плоскости голограммы, закрепленной н узле крепления голограмм, и в то же время отсутствия в этой плоскости зеркальной составляющей отраженного от зеркал 5 и 8 излучения, что контролируют по рассеивающему экрану, установленному в плоскости голограммы; юстировкой микрообъектива в отверстии диффузора добиваются минимального диаметра светового пучка на экране для последующего контроля продольных смешений зеркала; последовательными угловыми перемещениями зеркала и автоколлиматора смещают автоколлимационный блик от зеркала 5 в центр поля зрения автоколлиматора для последующего контроля угловых смещений зеркала; устанавливают расстояние между диффузором н зеркалом 5, не превышающее 20 мм. Увеличение указанного расстояния приводит к ухудшению качества получаемых иитерферограмм; перемещением зеркала 3 выравнивают оптические длины путей через элементы 19, 2. 3, 13 и через элементы 19. 18, 71, 4, 5, 4. 13. Допускаемые отклонения оптической длины путей — не более 5 см; шкалу микрометра бокового сдвига устанавливают на нуль. 4.3.4. Затемняют помещение. Допускается для освещения рабочего места использовать темно-зеленый фильтр. Заряжают две фотопластинки в узле крепления голограмм при закрытом затворе 21. На пульте устанавливают выбранное при подготовке к работе время экспонирования. Отключают вентиляцию в помещении. 4 3.5. Голограммы получают в следующем порядке: открывают затвор 12\ выжидают 15 с, во время которых обеспечивают минимум вибраций и воздушных потоков в помещении (не двигаться, не открывать двери, выключить близко расположенные станки и т. д.). Для экспонирования фотопластинок открывают затвор 21. включают программное проявляющее устройство и осуществляют химико-фотографическую обработку вспомогательной голограммы. Вторую фотопластинку не обрабатывают. Закрывают затвор 12> открывают затвор 21. 4.3.6. Получение голографическнх иитерферограмм сдвига контролируемого зеркала. После получения голограмм контролируемого и образцового зеркал в исходном положении проводят сдвиг блока зеркал, наблюдение голографической интерферограммы в реальном времени и

Страница 10

Стр. 8 ГОСТ 8.506-84 получение двухэкс пози пион ной голографической нитерферограммы. Весь процесс проводят дистанционно с пульта управления при непрерывном визуальном контроле через автоколлиматор и вспомогательную голограмму. 4.3.7. Выполняют боковое перемещение каретки механизма сдвига с закрепленными на ней контролируемым 5 и образцовым 8 зеркалами на '/го диаметра зеркала 5; перемещением каретки вдоль оптической оси и угловыми перемещениями добиваются изображении автоколлимационного блика в центре поля зрения автоколлнматора и минимального диаметра пятна от объектива на экране; при открытом затноре 21 и закрытом затворе 12 визуально наблюдают через вспомогательную голограмму топографическую ин-терферограмму сдвига в реальном времени в полосах конечной ширины, создаваемых наклоном блока зеркал и поверхности стола; регулированием угла наклона блока зеркал к поверхности стола добиваются появления интерференционных полос с периодом 2—5 см в плоскости диффузора; угловым перемещением блока зеркал относительно вертикальной оси ориентируют интерференционные полосы на контролируемом зеркале 5 параллельно горизонтальному штриху сетки, нанесенной на диффузор; при измерениях только радиуса кривизны при изгибе интерференционных полос, превышающем 0,2 периода полос, повторяют операции, перечисленные в настоящем пункте, уменьшив значение поступательного сдвига; определяют, в каком порядке достигается горизонтальность полос на зеркалах 5 н 8: на 5-м раньше чем на 5-м, или наоборот. В первом случае разность Д/? беру г со знаком «плюс»; во втором — со знаком «минус»; закрывают затвор 21\ снимают показания микрометра бокового сдвига каретки механизма сдвига голографнческого интерферометра. 4.3.8. Для регистрации голографической интерферограммы сдвига методом двух экспозиций: открывают затвор 12; выдерживают паузу 15 с, обеспечив минимум вибраций и воздушных потоков; открывают затвор 21 и экспонируют повторно непроявленную фотопластинку в течение такого же времени, что и при первой экспозиции; закрывают затвор 21\ вынимают фотопластинку из держателя узла крепления и осуществляют химико-фотографическую обработку; обрабатывают фотопластинку в отбеливающем растворе хлор-

Страница 11

ГОСТ 8.506-84 Стр. 9 ной меди до исчезновения темной окраски в фотослое, вызванной металлическим серебром; высушивают голограмму в этиловом спирте. $. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ 5.1. Получение фотоснимков голографических иитерферограмм сдвига 5.1.1. Голографнческую интсрферограмму сдвига выпуклых сферических зеркал регистрируют в восстановленном с дважды экспонированной голограммы мнимом (изображении диффузора, для чего необходимо: установить дважды экспонированную, полиостью обработанную, отбеленную и высушенную голограмму в держателе узла крепления на месте экспонирования; установить на поверхности стола зеркало 9 и объектив; поворотом зеркала 20 направить луч лазера через элементы 9 и 10 на голограмму в узле крепления; установить на поверхности стола фотоаппарат; провести фотографирование восстановленного изображения на фотопленку при 4—9 различных экспозициях; провести химико-фотографическую обработку фотопленки в соответствии с инструкцией по обработке; получить 4—9 экземпляров увеличенных фотографий голографических иитерферограмм в масштабе 10: 1—3: 1; провести контроль размера масштабных искажений, вносимых о процессе фотографирования, на увеличенном изображении голографических иитерферограмм. Для этого на фотоизображении сетки узлов, нанесенной на диффузор согласно п. 3.1, измерить расстояния из центрального до каждого из узлов вдоль штрихов сетки с относительной погрешностью ±0,5%. Для каждой координатной оси построить график зависимости координат узлов от номера узла. Сравнить полученный график с учетом различия масштабов с аналогичным графиком, полученным при измерениях на диффузоре по п. 3.1. При различии координат, соответствующих одинаковым точкам, не превышающем 1—2%, масштабными искажениями пренебрегают. 5.2. Определение радиуса кривизны 5.2.1. Голографическан интерферограмма сдвига выпуклых сферических зеркал в полосах конечной ширины при отсутствии местных ошибок поверхности представляет собой систему эквидистантных прямолинейных полос, период которых определяется настройкой схемы, а ориентация в плоскости интерферограммы есть функция значения поступательных и угловых перемещений и радиуса кривизны.

Страница 12

Стр. 10 ГОСТ 1.10*-«4 Если радиусы кривизны контролируемого и образцового зеркал одинаковы, ориентации интерференционных полос для обоих зеркал тоже одинаковы. Если радиусы кривизны различны, то по углу между направлениями полос судят о разности значений радиусов кривизны контролируемого и образцового зеркал. 5.2 2. Радиус кривизны контролируемого зеркала определяют сравнением с радиусом образцового зеркала. Модуль разности радиусов кривизны определяют по формуле где /?0 — радиус кривизны образцового зеркала, указанный в паспорте; 1. — значение бокового сдвига, отсчитываемое по микрометру механизма перемещений установки типа УИГ-2Г-1 и определяемое согласно п. 4.3.7; Л — период интерференционных полос голографической нитерферограммы контролируемого зеркала; а — угол наклона между полосами на голографической ни-терферограмме контролируемого и образцового зеркал. Для измерения б и и на интерфе'рограмму наносят сетку прямолинейных параллельных линий, проходящих по центрам темных полос нитерферограммы. На интерферограмму контролируемого зеркала наносят в любых точках четыре линии, перпендикулярные к полосам нитерферограммы (черт. 2). Проводят серию из п (л^ 10) единичных наблюдений б|. Среднее значение периода интерференционных полос б определяют по формуле и принимают его за результат измерений. Проводят серию из N (Л'^Ю) единичных наблюдений и,-. Среднее значение угла наклона между полосами контролируемого и образцового зеркал а определяют по формуле - . у « = ТГ 2- «I. Л * = | где N - число полос на интерферограмме образцового зеркала, принимаемое за результат измерений. Для определения знака разности пользуются следующим правилом, используя прием, изложенный в п. 4.3.7. Если в процессе перемещения блока зеркал отмечено, что го-

Страница 13

ГОСТ 1.50*—М Стр. 11 г з I- координатная сетка. нанесенная их диффузоре; У—яитерферо-грамма когтренируеиого зеркал«; Л—иитерферограчма с>Лол.нового зеркала: «у —угол между иигерфесч-нциохныии полосами вв образцовом н контролируемом зеркалах; ^ —период кнтер ферсиционмы! полос Черт. 2 рнзонтальное положение вначале принимают полосы на интерферо-грамме контролируемого зеркала, а затем образцового, то разность Д/? берут со знаком «плюс». Если сначала горизонтальными становятся интерференционные полосы на ннтерфсрограмме образцового зеркала, то разность Д/? берут со знаком «минус». Значение радиуса кривизны контролируемого зеркала /? определяют по формуле где Не, — радиус кривизны образцового зеркала, указанный в паспорте; Д/? — измеренная разность радиусов кривизны образцового и контролируемого зеркал, определенная по п. 5.2.2. 5.2.3. Погрешность измерений. Расчет погрешности измерений разности радиусов кривизны — по ГОСТ 8.20/ —76. Основная относительная погрешность измерений разности радиусов кривизны при доверительной вероятности Р=0,95 не превышает Ю-4 где /?„ — радиус кривизны образцового зеркала, м. 5.3. Наличие местных ошибок поверхности зеркал вызывает деформацию интерференционных полос сдвига. За средний радиус

Страница 14

Стр. 12 ГОСТ 1.506—«4 кривизны зеркала принимают радиус кривизны идеальной опорной сферы, аппроксимирующей реальную поверхность так, что прямые полосы нитерферограммы опорной сферы, наложенные на соответствующие деформированные полосы нитерферограммы поверхности контролируемого зеркала, обеспечивают минимум суммы квадратов смешений точек искривленной полосы от точек соответствующей прямой. Интерферограмма бокового сдвига дает возожность построить профиль нормальных отклонений поверхности контролируемого зеркала от опорной сферы в произвольном сечении поверхности плоскостью, параллельной направлению сдвига, в том числе в диаметрально противоположной плоскости. При обработке изображений ннтерферограмм для построения профиля указанного сечения необходимо провести следующие операции: нахождение линий центров интерференционных полос; введение системы реперных точек в заданном сечении поверхности; расчет нитерферограммы опорной сферы; определение по ннтерферограмме порядка интерференции в реперных точках; расчет функции местных ошибок поверхности контролируемого зеркала. Аналогично проводят обработку увеличенных изображений го-лографнческнх ннтерферограмм, полученных по п. 6.1.1. 5.3.1. Линии центров интерференционных полос находят графически на увеличенном изображении голографической интерферо-граммы сдвига контролируемого зеркала. Для этого проводят штрих толщиной не более '/»о расстояния между полосами по центральной линии каждой темной полосы нитерферограммы. 5.3.2. На горизонтальном диаметре интерферограммы зеркала наносят систему эквидистантных реперных точек. Для этого проводят диаметр, параллельный горизонтальному штриху сетки диффузора: измеряют длину D стороны квадрата сетки диффузора; вычисляют коэффициент увеличения нитерферограммы по формуле вычисляют длину Л репорного отрезка по формуле А-=а-К, где а — значение бокового сдвига зеркала, определенное по п. 4.3.7; наносят на горизонтальный диаметр, начиная от центра, в обе стороны систему 2М реперных точек с абсциссами хт=±т-А (т= 0, 1, 2, ..., м);

Страница 15

ГОСТ в.$0*~«4 стр. 1* через каждую реперную точку проводят прямую, перпендикулярную к горизонтальному диаметру. В произвольном сечении ннтерферогрзммы зеркала, параллельном горизонтальному диаметру, образуется система реперных точек на пересечениях этого сечения со всеми вертикальными прямыми. 5.3.3. Расчет интерферограммы опорной сферы проводят в следующем порядке: вводят систему координат с началом в центре зеркала и осям» х н у, направленными соответственно горизонтально по направлению сдвига зеркал и вертикально; измеряют координаты Утп точек пересечения каждой вертикальной прямой с линиями центров интерференционных полос, проведенных по п. 5.3.1. При этом абсциссу реперной точки хт вычисляют по формуле хт=т-А, где |/я|<0;'2а — номер реперной точки, а — значение сдвига. О — диаметр зеркала, л — номер полосы; |л | < N>'2, Л' — число интерференционных полос; находят систему эквидистантных прямых полос интерферограммы опорной сферы, удовлетворяющих уравнениям у= 7х+пЪ,\п ] < Л72, где Т и б находят в результате решения системы уравнений МП .V,« X 2 гп!у„я-тТА-пЬ!=0; я = -.«Л2 я=—.4« я 4 Лг.2 V X п!Уя„ — тГА-пг!~0. я*—МЛ л г-,У/2 Примечание. При измерении радиуса кривизны зеркала в случае искрив ленных полос интерферограммы по п. 5.2.2 следует в качестве отсчетов значения угла «| брать результаты единичных измерений угла между направлениями интерференционных полос образцового зеркала и направлением полос, соответствующих опорной сфере, вычисленным по п. 5.3.3. 5 3.4. Определения по иитерферограмме порядка интерференции в реперных точках проводят в следующем порядке: проводят задапное сечение поверхности, параллельное направлению сдвига зеркала: находят на следе заданного сечения реперные точки по п. 5 3.2; выделяют л-ную интерференционную полосу, ближайшую к заданному сечению; в каждой реперной точке сечения вычисляют значение <ртп порядка интерференции по формуле ?тп = -^{Утл -тТА-пЪ]. 5.3.5. Функции местных ошибок поверхности контролируемого зеркала рассчитывают в порядке:

Страница 16

Op. 14 ГОСТ e.$(X—84 местные ошибки в каждой реперной точке находяг из системы разностных уравнений ru=. 0, ± I ... ±D{2a, где в правых частях записаны значения порядка интерференции в соответствующих реперных точках (5.3.4); по значениям в реперных точках строят график функции 5.3.6. Повторяют операции, предусмотренные 8 пп. 5.3.1—5.3.5, для каждого нз экземпляров изображений голографических ннтер-ферограмм сдвига, полученных по п. 5.1. В качестве искомого зна- л чения функции местных ошибок *fmn для каждой реперной точки принимают среднее арифметическое по всем экземплярам изображений значений tj>nui, рассчитанных по п. 5.3.5. 5.3.7. Погрешность измерений. Расчет погрешности измерений местных ошибок — но ГОСТ S.207—76. Основная абсолютная погрешность измерений местных ошибок при доверительной вероятности Я=0.95 не превышает 0,1А. ПРИЛОЖЕНИЕ Справочное ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА, ОБОРУДОВАНИЕ И МАТЕРИАЛЫ. ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ПРИ ИЗМЕРЕНИИ РАДИУСА КРИВИЗНЫ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСНИХ ЗЕРКАЛ На верительная голографнческая установка типа УИГ-2Г1, /,=0,6328 «км. Измерительна« металлическая линейка по ГОСТ 427-75 Пробные стекла для про&ерки радиусов сферических поверхностей оптнче ских деталей но ГОСТ 2785-82 Фотоаппарат «Зеииг-Е* по ГОСТ 5.909-71. Фотопластинки «Мпкраг ВР-Л». А-0.6328 мкк Этиловый ректифицированный технический спирт по ГОСТ 18300-72 Хлорная мадь по ГОСТ 4167-74. Для измерений допускается применять другие средства измерений с аналогичными или лучшими характеристиками